专利名称：狭缝式涂敷装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种狭缝式涂敷装置，特别是涉及一种适用于通过狭 缝涂敷方式在平板显示器用基板上涂敷照相平版印刷术用光致抗蚀剂 等感光液的涂敷作业，并且易于调整喷嘴切口间隙，从而提高涂敷质 量的狭缝式涂敷装置。
背景技术：
通常，平板显示器用基板的制造工艺中，在基板表面形成预定图 案的工序，主要以照相平版印刷方式来进行。所述照相平版印刷方式，包括在基板表面涂覆一定厚度的光致抗 蚀剂等感光物质、以及对涂敷面进行的曝光、显影、蚀刻等一系列工序。尤其是，上述涂敷工序广泛使用具有狭缝式吐出口的涂敷装置， 而所述涂敷装置安装有可调整喷嘴吐出口间隙的间隙调整装置。这种 间隙调整装置， 一般采用通过螺栓的松紧力来调整吐出间隙的螺杆调 整方式，以及利用流体压力来调整吐出间隙的油压调整方式等。而上述采用油压调整方式的调整装置，虽然易于调整吐出间隙， 但是其价格昂贵，而且经过一段时间以后，流体压力容易发生变化， 因此需要随时调整流体压力，无法获得令人满意的操作稳定性。另外，上述采用螺杆调整方式的调整装置，在喷嘴的一侧，沿着 吐出口切开方向的至少一处位置上安装贯通吐出间隙的螺栓，并通过
旋拧螺栓以螺栓的螺距来调整间隙，因此所述结构很难对几十微米Um)以下的间隙进行微调。并且，调整间隙之后，在涂敷装置的作业过程中，由于受震动和 压力的影响，螺栓的拧固状态容易发生变化，会出现间隙调整误差。 因此，这种利用螺栓的螺距来直接调整间隙的方式无法获得令人满意 的可操作性和操作稳定性。特别是，这两种调整方式所具有的上述问题，将会成为产生过多 不良产品而降低工作效率和生产效率的主要原因。发明内容本发明考虑到上述问题而提出，其目的在于提供一种狭缝式涂敷 装置，该装置通过以面接触压力传达动力的方式来调整吐出口间隙， 从而改进可操作性及操作稳定性。为实现上述目的，本发明提供一种狭缝式涂敷装置，其包括工 作台，其工作台面上进行对基板涂敷感光液的涂敷作业；喷嘴本体， 其具有狭缝式吐出口，且固定在所述工作台面的一侧；加压块，其被 夹入导槽内侧，而所述导槽形成在所述喷嘴本体吐出口的一侧；面接 触部，其形成于加压块的一侧表面，并且在与所述导槽内表面的一侧 倾斜接触的状态下，通过移动加压块在所述导槽内产生上下方向的接 触压力；调整部，其与所述加压块螺接，并通过使所述加压块沿所述 面接触部的倾斜方向前进或后退，在所述面接触部产生压力，从而使 所述吐出口的一侧部弯曲变形并向另 一侧靠近或向其反方向移动。采用本发明，在进行用于制造平板显示器基板的照相平版印刷工 艺时，能够简单地调整喷嘴的吐出间隙。
尤其是，在调整吐出口间隙时，本发明可采用间接动力传递方式 来进行调整。即，通过螺栓等调整部来移动加压块时，通过加压块与易于操作，而且能够微调间隙，还能防止由于震动和沖击等原因而造 成间隙调整状态的变化，从而可进一步提高可操作性和操作稳定性等。
图l是本发明的狭缝式涂敷装置的整体结构示意图。图2是图1所示喷嘴本体的结构示意图。图3是图2所示加压块及导槽的结构示意图。图4是图3所示加压块与导槽的结合状态示意图。图5是用以说明图2所示面接触部作用的示意图。图6是用以说明本发明狭缝式涂敷装置的吐出间隙调整方式的示附图标识 2:喷嘴本体 6:导槽 10:调整部 G:基板 N:吐出口具体实施方式
4:加压块 8:倾斜面 12:托架 W:感光液
下面，参照
本发明的优选实施例，并在所属领域的技术 人员能够实施本发明实施例的范围内进行说明。由于本发明的实施例 能够以多种形式实施，因此本发明的权利要求范围并不限于下述实施例。图1是本发明狭缝式涂敷装置的整体结构示意图，图中符号2表 示喷嘴本体。喷嘴本体2呈长方体，以适于进行常规的狭缝涂敷，且如图l所 示固定在设置于输送装置M—侧的支撑台Ml上，以便在通过所述输 送装置M输送平板显示器用基板G(以下简称为"基板")的过程中进 行光致抗蚀剂等感光液W的涂敷作业。出口 N,其使用耐久性及耐腐蚀性优异的金属材料制成。所述吐出口 N从连接在所述喷嘴本体2 —侧的供应管L接收感光 液W。而且，所述供应管L与储存有感光液W的储存槽T相连接，以 便从所述储存槽T获得感光液W。如图2所示，所述吐出口 N的端部形成有吐出间隙Nl,而且为了 能够均匀吐出感光液W，整个狭缝状吐出口 N的间隙宽度均等。所述喷嘴本体2通过调整所述吐出间隙Nl的宽度来调节感光液W 的吐出量。所述吐出间隙Nl可通过精细加工即蚀刻加工或者激光加工等方法来形成。
另外，在所述喷嘴本体2上设有用来调整所述吐出间隙Nl宽度的 加压块4，所述加压块4夹在形成于喷嘴本体2 —侧的导槽6内。如图3所示，所述加压块4呈块状，且夹在所述导槽6内，并且 在沿所述吐出间隙Nl切开方向的多个位置上可安装至少一个加压块。 所述加压块由耐久性及耐磨性优异的金属材料制成。如图2所示，可在吐出间隙Nl的一侧，沿所述吐出口的切开方向 隔开形成一个或两个以上导槽6。所述导槽6的大小适于夹住加压块4, 且其一侧向外开口。另外，所述加压块4的一侧形成有面接触部，所述面接触部具有 间隙Nl。为此，如图2所示，本实施例在所述加压块4上面形成倾斜面8， 而所述倾斜面8倾斜地与所述导槽6的上表面F面接触，当所述加压 块4移动时，通过所述倾斜面8传递面接触压力，以调整所述吐出间 隙Nl。如图4所示，当所述加压块4在所述倾斜面8与所述导槽6的上 部表面F相接的状态下，朝着所述导槽6的开口部移动时产生面接触 压力，而向反方向移动时不产生4妄触压力。而且，如图5所示，由所述倾斜面8的面接触压力而产生的调整 压力Q向所述导槽6的上下方向传递。即，所产生的调整压力Q使所述喷嘴本体2—侧弯曲变形，从而 使所述吐出间隙N1的 一侧向另 一侧靠近或者向其反方向移动。
在所述喷嘴本体2上设有调整部10,其在所述导槽6内部调整所 述加压块4的面接触位置。所述调整部IO通过螺栓的结合力来改变所 述加压块4的位置。为此，在本实施例中，如图2所示，所述调整部l(H吏用由螺杆部 Bl和螺帽B2构成的常规螺栓，而所述螺杆部B1与所述加压块4按图 示方式螺接，并通过旋拧所述螺帽B2使加压块4沿着所述螺杆部Bl 的轴线移动，从而改变所述加压块4的位置。所述调整部10可使用耐磨性优异的金属螺栓，而所述螺杆部Bl 的外柱面形成有右螺紋或左螺紋。而且，所述调整部10可使用六角型或四角型的螺帽B2,或者是 多角型内凹槽状的普通螺栓，以便用扳钳或螺丝刀等各种工具旋柠。如图2所示，所述调整部10固定设置在托架12上，并且被所述 托架12托挂在喷嘴本体2上。如图所示，所述托架12具有水平部VI 和竖直部V2。所述水平部VI插入于所述导槽6内并用螺栓固定，其 适于支撑所述加压块4的底面。所述竖直部V2与所述喷嘴本体2的一 侧相接触，且遮盖所述导槽6的开口部，而所述调整部10的螺杆部 Bl贯穿所述竖直部V2后，所述螺帽B2则托挂在托架12的外侧，如 图所示。托架12使用耐久性及耐磨性优异的金属材料制成。所述托架12 托住调整部10,以使其在所述喷嘴本体2上能够稳定地操作。所述调整部10,可通过向某一方向或其反方向旋柠所述螺帽B2， 来改变加压块4在所述导槽6内的位置，因此，能够适当地调整所述 倾斜面8所产生的调整压力Q。 如上所述，本发明实施例所涉及的狭缝式涂敷装置，如图6所示，通过旋拧所述调整部10，来改变所述加压块4的位置，并通过这种操 作，使上述吐出口 N的某一侧弯曲变形。本发明通过这种间接调整方 式，能够简单地调整喷嘴的切口间隙N1。如上所述，这种利用加压块4的间接调整方式，与以往利用螺栓 的螺距，通过松紧螺栓而使吐出间隙变窄或变宽的直接调整方式相比， 能够容易控制用于调整间隙的压力，并且能够对间隙进行微调，从而 进一步提高可操作性及操作稳定性。另外，在吐出间隙N1被调整的状态下，加压块4的上表面和底面 受挤压而产生欲将所述加压块4沿倾斜面8向解除接触力的方向移动 的力，并在该力的作用下拉紧所述调整部10。即，这种结构在调整吐 出间隙Nl之后，能够最大限度地防止所述调整部10受震动或冲击等 原因而向某一方向旋转，以维持吐出间隙N1的调整状态。因此，如图l所示，对基板G涂敷感光液W时，可根据涂敷要求 而利用所述调整部IO，适当调整吐出间隙N1。
权利要求
1、 一种狭缝式涂敷装置，其特征在于，包括工作台，其工作台面上进行对基板的感光液涂敷作业；喷嘴本体，其具有狭缝式吐出口，且固定在所述工作台面的一侧；加压块，其被夹入导槽内侧，所述导槽形成在所述喷嘴本体吐出 口的一侧；面接触部，其形成于加压块的一侧表面，并且在与所述导槽内表 面的 一侧倾斜接触的状态下，通过移动加压块在所述导槽内产生上下 方向的^^触压力；调整部，其与所述加压块螺接，并通过使所述加压块沿所述面接 触部的倾斜方向前进或后退，在所述面接触部产生压力，从而使所述 吐出口的 一 侧弯曲变形并向另 一 侧靠近或者向其反方向移动。
2、 根据权利要求1所述的狭缝式涂敷装置，其特征在于所述面接触部倾斜地形成在所述加压块的上面或下面，或者上下两面。
3、 根据权利要求1所述的狭缝式涂敷装置，其特征在于在沿所述吐出口切开方向的至少一个位置上设置一个加压块或者 隔开设置至少两个加压块。
4、 根据权利要求1所述的狭缝式涂敷装置，其特征在于 所述涂敷装置进一步包括用于衬托调整部的托架，在前后移动加 压块时，所述托架托住并固定调整部，使其在所述喷嘴本体中一个特 定方向上维持悬挂状态。
5、根据权利要求1所述的狭缝式涂敷装置，其特征在于 所述导槽形成在沿吐出口切开方向的至少一处位置上。
全文摘要
本发明公开一种狭缝式涂敷装置，其适于通过狭缝涂敷方式对平板显示器用基板进行用于照相平版印刷工艺的光致抗蚀剂等感光液的涂敷作业，大幅改善喷嘴的切口间隙调整性能，包括工作台，其工作台面上进行对基板的感光液涂敷作业；喷嘴本体，其具有狭缝式吐出口，且固定在工作台面的一侧；加压块，其夹设于形成在喷嘴本体吐出口一侧的导槽内；面接触部，其形成于加压块的一侧表面，且在与该导槽内表面的一侧倾斜接触的状态下，通过移动加压块在该导槽内产生上下方向的接触压力；调整部，其与加压块螺接，并通过使加压块沿该面接触部的倾斜方向前进或后退，在面接触部产生压力，从而使吐出口的一侧弯曲变形并向另一侧靠近或者向其反方向移动。
文档编号G03F7/16GK101122747SQ20071009760
公开日2008年2月13日 申请日期2007年4月20日 优先权日2006年8月9日
发明者吴相泽, 李宰一, 金健佑 申请人:显示器生产服务株式会社