专利名称：曝光装置的制作方法
技术领域：
本发明有关于曝光装置，特别是有关于将根据DMD(数字微型反射 镜组件，digital micromirror device)等的二次元显示组件的反射光在曝光 区域成像的成像光学系统。
背景技术：
习知使用DMD等的二次元显示组件的曝光装置被提案。 专利文献1揭露具有以将微型反射镜的排列方向对于绘制面中的主 扫描方向倾斜的状态下配置的DMD的曝光装置。 专利文献1日本特开2004-12899号公报发明内容发明所欲解决之问题然而，在专利文献1的装置中的绘制领域为和DMD的微型反射镜 的排列相同的形状。因此，为了提高分辨率，有必要縮小DMD的单元尺 寸(cell size,微型反射镜的大小)，但縮小单元尺寸的话，基于在单元尺 寸乘上单元数(微型反射镜的单一方向的排列数)的值的副扫描方向的带 (band)宽变窄。带宽变窄的话，有必要使曝光次数(带数)变多。曝光次数 多的话，在绘制时产生时间差，时间差恐怕会使绘制线的粗细(不一致) 发生。另一方面，增加单元数的话，可提高分辨率，使带宽变宽，但有 必要换成单元数多的DMD，所以设计自由度不高。又，在专利文献l的 装置中的绘制用的曝光数据演算中，由于有必要考虑对于主扫描方向倾 斜量，演算处理变复杂。因此，本发明的目的为提供不会降低绘制分辨率而扩大带宽的曝光 装置，或提供不会使曝光资料演算处理复杂化而在绘制分辨率高的状态
下进行曝光的曝光装置。解决问题之技术手段有关本发明的曝光装置包括DMD、成像光学系统、以及绘制部， 其中成像光学系统具有投影部，其包括将从在DMD中的开启状态的微型 反射镜反射的光所构成的中间投影像聚集在对于主扫描方向形成一定倾 斜角度的第一方向上的第一方向圆筒状镜片、以及在和第一方向垂直的 第二方向之间形成一定倾斜角度的副扫描方向上分割及聚集光的副扫描 方向圆筒状镜片群或在第二方向上分割及聚集光的第二方向圆筒状镜片群。绘制部在曝光时，由DMD经由成像光学系统、投影像被投影，在主 扫描方向移动。较佳的是主扫描方向为中间投影像的排列方向的一方，副扫描方向 为中间投影像的排列方向的另一方，成像光学系统的投影部具有第一方 向圆筒状镜片以及副扫描方向圆筒状镜片群。又，较佳的是一定的倾斜角度被设定为在从构成DMD的微型反射 镜的开启状态的绘制部的绘制面上的投影像中，通过被排列在第一方向 的特定列中的第一方向的一方的端部、与主扫描方向平行的线，以通过 对于特定列被排列在与副扫描方向邻接的第一方向的列的第一方向的另 一方的任一个或另一方的端部附近的位置关系。又，较佳的是副扫描方向圆筒状镜片群具有的圆筒状镜片，和在构 成DMD的微型反射镜的副扫描方向上被排列的数目相同的数目以上，在 副扫描方向上被排列。又，较佳的是第一方向为中间投影像的排列方向的一方，第二方向 为中间投影像的排列方向的另一方，成像光学系统的投影部具有第一方 向圆筒状镜片和第二方向圆筒状镜片群。又，较佳的是一定的倾斜角度，被设定为在从构成DMD的微型反 射镜的开启状态的绘制部的绘制面上的投影像中，通过被排列在第一方 向的特定列中的第一方向的一方的端部、与主扫描方向平行的线，以通 过对于特定列在与第二方向邻接的第一方向被排列的列的第一方向的另 一方的任一个或另一方的端部附近的位置关系。
又，较佳的是第二方向圆筒状镜片群具有的圆筒状镜片，和在构成 DMD的微型反射镜的第二方向上被排列的数目相同的数目以上，在第二 方向上被排列。又，较佳的是DMD在副扫描方向被复数个排列。又，较佳的是藉由在曝光中的一次的投影，从DMD经由成像光学 系统、被投影的绘制部的绘制面上的投影像的副扫描方向的带宽，以和 DMD曝光的领域的副扫描方向的宽相同般，成像光学系统的倍率或形状 被设定。有关本发明的曝光装置包括DMD、成像光学系统、以及绘制部， 其中成像光学系统具有投影部，其包括将从在DMD中的开启状态的微型 反射镜反射的光所构成的中间投影像聚集在对于作为来自DMD的中间 投影像的排列方向的一方的主扫描方向形成一定倾斜角度的第一方向上 的第一方向圆筒状镜片、以及在来自DMD的中间投影像的排列方向的另 一方且与第一方向垂直的第二方向之间形成一定倾斜角度的副扫描方向 上聚集光的副扫描方向圆筒状镜片。绘制部在曝光时，由DMD经由成像 光学系统、投影像被投影，在主扫描方向移动。有关本发明的曝光装置包括DMD、成像光学系统、以及绘制部， 其中成像光学系统具有分割縮小投影部，其包括将从在DMD中的开启状 态的微型反射镜反射的光所构成的中间投影像在作为来自DMD的中间 投影像的排列方向的一方的第一方向上分割縮小的第一方向圆筒状镜片 群、以及在来自DMD的中间投影像的排列方向的另一方且与第一方向垂 直的第二方向上分割縮小的第二方向圆筒状镜片群或在副扫描方向上分 割縮小的副扫描方向圆筒状镜片群。绘制部在曝光时，由DMD经由成像 光学系统、投影像被投影，在和第一方向之间形成一定倾斜角度的主扫 描方向上移动。在第一方向圆筒状镜片群中的分割縮小以及在第二方向 圆筒状镜片群中的分割縮小的縮小比率不同。发明的效果如上述般，根据本发明，提供不会降低绘制分辨率而扩大带宽的曝 光装置，或提供不会使曝光资料演算处理复杂化而在绘制分辨率高的状 态下进行曝光的曝光装置。
图l为表示第一、第二实施例中的曝光装置的立体图；图2为表示第一实施例中的曝光部、成像光学系统、以及绘制部的立体图；图3为表示第一实施例中的成像光学系统的分割縮小投影部、以及 绘制部的构成的立体图；图4为表示第一实施例中的曝光部、以及成像光学系统的构成的侧面图；图5为表示第二实施例中的曝光部、成像光学系统、以及绘制部的 立体图；图6为表示第二实施例中的成像光学系统的分割縮小投影部、以及 绘制部的构成的立体图；以及图7为表示第二实施例中的曝光部、以及成像光学系统的构成的侧 面图。符号说明1 曝光装置； 10 控制部； 30 曝光部； 50 成像光学系统； 51 扩大投影部； 52 反射器； 53 分割缩小投影部； 53a 开口；60 光吸收板； 70 绘制部；53cl、 53c2 第一、第二圆筒状镜片； 53bl、 53b2 第一、第二圆筒状镜片群。
具体实施方式
以下利用图1 图4说明有关第一实施例。第一实施例中的曝光装 置1包括控制部10、曝光部30、成像光学系统50、光吸收板60、以及 绘制部70(参考图1、 2)。
又，为了说明方向，在曝光装置l中，将曝光用的绘制部70的移动方向作为主扫描方向xx，将以和主扫描方向xx垂直且复数DMD被排列 的方向作为副扫描方向yy，将在绘制部70被绘制的像的排列方向的一方、 与主扫描方向xx形成倾斜角度e的方向作为第一方向x，将和第一方向 x垂直的方向作为第二方向y，以及将在第一方向x、第二方向y、以及 在绘制面垂直的方向作为第三方向z说明。控制部IO基于在用以曝光而被使用的绘制资料(向量资料、CAD资 料)，进行制作对应于曝光部30的DMD的曝光数据(网格数据)的绘制数 据处理。曝光部30具有复数的DMD。在第一实施例中，复数DMD分别作 为5 x 5个(在主扫描方向xx为五个，在副扫描方向yy为五个)的正方形 状微型反射镜的排列和构成而说明，但DMD具有的微型反射镜的排列数 或形状并不限于此(例如，768 x 1024个排列)。基于曝光资料，作为开启 状态的DMD的微型反射镜将朝曝光部30的入射光反射，经由成像光学 系统50，在绘制部70的绘制区域进行曝光。倾斜角度e被设定在从构成DMD的微型反射镜的开启状态的绘制 面上的投影像中，通过被排列在第一方向x的特定列中的第一方向x的 一方的端部、与主扫描方向xx平行的线，以通过对于特定列被排列在与 第二方向y邻接的第一方向x的列的第一方向x的另一方的任一个或另 一方的端部附近的位置关系。在第一实施例中，倾斜角度e被设定为在从构成DMD的微型反射 镜的幵启状态的绘制面上的投影像中，通过被排列在第一方向x的特定 列中的第一方向x的一方的端部、与主扫描方向xx平行的线(参考图3 的虚线)，以通过对于特定列被排列在与第二方向y邻接的第一方向x的 列的第一方向x的另一方的端部的位置关系。成像光学系统50包括扩大投影部51，具有将来自在开启状态的 DMD的微型反射镜的反射光扩大投影的凸透镜；反射器52，将扩大投影 的像(扩大投影像、中间投影像)向绘制面反射；以及分割縮小投影部53， 将扩大投影像分割縮小投影。中间投影像具有在主扫描方向xx仅为五个、在副扫描方向yy仅为五个的正方形被排列的正方形形状(参考图4)。有关分割縮小投影部53的详细如后面叙述。光吸收板60吸收来自在关闭状态的DMD的微型反射镜的反射光。 绘制部70具有绘制面，曝光中藉由曝光部30的DMD作为开启状态，微型反射镜的反射光以在绘制面的绘制区域投影(照射)的方式的位置关被配置。在曝光时，绘制部70和曝光部30的相对位置变化般，在主扫描方 向xx，使绘制部70被移动，又，在副扫描方向yy，使绘制部70被移动。又，在本实施例中，虽然说明使绘制部70在副扫描方向yy移动的 型态，但使曝光部30的DMD在副扫描方向yy移动的型态也可。说明有关分割縮小投影部53的详细(参考图3、图4)。分割縮小投影 部53具有开口(aperture)53a、作为副扫描方向圆筒状镜片群的第一、第 二圆筒状镜片群53bl、 53b2、以及作为第一方向圆筒状镜片的第一、第 二圆筒状镜片53cl、 53c2。分割缩小投影部53的各部从反射器52侧朝向绘制部70的绘制区域 侧，以开口 53a、第一圆筒状镜片群53bl、第一圆筒状镜片53cl、第二 圆筒状镜片53c2、第二圆筒状镜片群53b2的顺序被排列。开口 53a以复数的孔被构成，来自反射器52的光通过复数的孔，被 入射至第一圆筒状镜片群53bl。开口 53a具有来自邻接的镜片的光不进 入的效果(防止发生双重图像[ghost]的效果)。第一圆筒状镜片群53bl具有复数的圆筒状镜片在副扫描方向yy被 排列的构成。圆筒状镜片具有藉由从副扫描方向yy看为矩形形状、从主 扫描方向xx看开口 53a侧为圆弧部份、第一圆筒状镜片53cl侧为弦部 份的弓形形状，形成圆柱的一部份的形状。亦即，构成第一圆筒状镜片 群53bl的圆筒状镜片的镜片棱线为和DMD的微型反射镜的排列方向的 一方(主扫描方向xx)平行。圆筒状镜片在副扫描方向yy被排列的数目被 设定在和构成DMD的微型反射镜的副扫描方向yy被排列的数目相同或 其以上。第一圆筒状镜片53cl为一个圆筒状镜片，具有藉由从第一方向x看
为矩形形状、从第二方向y看第一圆筒状镜片群53bl侧为圆弧部份、第 二圆筒状镜片53c2侧为弦部份的弓形形状，形成圆柱的一部份的形状。第二圆筒状镜片53c2为一个圆筒状镜片，具有藉由从第一方向x看 为矩形形状、从第二方向y看第一圆筒状镜片53cl侧为弦部份、第二圆 筒状镜片群53b2侧为圆弧部份的弓形形状，形成圆柱的一部份的形状。第二圆筒状镜片群53b2具有复数的圆筒状镜片在副扫描方向yy被 排列的构成。圆筒状镜片具有藉由从副扫描方向yy看为矩形形状、从主 扫描方向xx看第二圆筒状镜片53c2侧为弦部份、绘制面侧为圆弧部份 的弓形形状，形成圆柱的一部份的形状。亦即，构成第二圆筒状镜片群 53b2的圆筒状镜片的镜片棱线为和DMD的微型反射镜的排列方向的一 方(主扫描方向xx)平行。圆筒状镜片在副扫描方向yy被排列的数目被设 定在和构成DMD的微型反射镜的副扫描方向yy被排列的数目相同或其 以上。在构成第一、第二圆筒状镜片群53bl、 53b2的圆筒状镜片的任一个 中，来自DMD中的开启状态的反射镜的反射光、通过开口 53a的光，在 副扫描方向yy被分割以及聚集光(在第一方向x不被聚集)。在第一、第二圆筒状镜片53cl、 53c2的任一个中，来自DMD中的 开启状态的反射镜的反射光、通过开口 53a的光，在第一方向x被聚集(在 第二方向y不被聚集)。藉由分割縮小投影部53，在曝光部30被照射的像(照射像)藉由扩大 投影部51被扩大的中间像在第一方向x被縮小，在副扫描方向yy被分 割縮小，在绘制部70的绘制区域中的投影像将在五个菱形相接在第一方 向x的状态下被排列的平行四边形五个在副扫描方向yy以一定间隔被排 列的像形成。五个菱形具有在第一方向x、副扫描方向yy的任一个平行 的边。投影像菱形连接的状态下的排列方向(第一方向x)对于主扫描方向 xx形成倾斜角度e。菱形排列的平行四边形的排列方向和副扫描方向yy 平行。在第一实施例，构成投影像的菱形(菱形在第一方向x被排列的平行 四边形)由于在扩大间隔的状态下在副扫描方向yy被排列，与菱形(菱形 在第一方向x被排列的平行四边形)在不扩大间隔的状态下仅以相同数目 在副扫描方向yy上被排列的情形相比，可使投影像的副扫描方向yy的 大小(带宽)变大。藉由使带宽变广，可使曝光的次数(带数xDMD的排列 数)减少。带数多的话，绘制的时间差会发生，藉此绘制线的粗细(粗细的 不一致、线宽差)恐怕会发生，但带数变少的话，可减少此类的问题。又，构成投影像的菱形(菱形在第一方向x被排列的平行四边形)由于 在扩大间隔的状态下在副扫描方向yy被排列，由于主扫描方向xx对于 构成投影像的菱形的排列方向的一方(第一方向x)形成倾斜角度e的关 系，在扩大带宽的状态下，且可提高绘制分辨率。又，由于构成投影像的菱形的排列方向的一方(在菱形连接的状态下 被排列的平行四边形的排列方向)和副扫描方向yy平行，与不和副扫描方 向yy平行的情形相比，作成曝光资料的演算可简单化，具有可使处理速 度变快的优点。又，由于构成投影像的菱形在不扩大间隔的状态下在第一方向x被 排列，投影像的大小与在扩大间隔的状态下在第一方向x被排列的情形 相比小。因此，对应于投影像的曝光资料量与在扩大间隔的状态下在第 一方向x被排列的情形相比小，有可使处理速度变快的优点。又，作为投影投影像用的成像光学系统，由于使用圆筒状镜片的构 成，与将微型镜片在二次元方向排列的构成相比，由于位置调整在一个 方向完成而有简单化的优点。又，构成投影像的菱形(菱形在第一方向x被排列的平行四边形)扩大 在副扫描方向yy被排列的间隔，投影像的副扫描方向yy的带宽成为和 一个DMD曝光的领域的副扫描方向yy的宽度相同的方式，藉由设定成 像光学系统(特别是第一、第二圆筒状镜片群53bl、 53b2)的倍率或形状， 不会使绘制部70在副扫描方向yy移动，而可进行曝光。又，第一、第二圆筒状镜片群53bl、 53b2分别为一个圆筒状镜片也 可。此情形投影像的副扫描方向yy的带宽不变大，由于构成投影像的菱 形的排列方向的一方(在菱形连接的状态下被排列的平行四边形的排列方
向)和副扫描方向yy平行，与不和副扫描方向yy平行的情形相比，作成 曝光资料的演算可简单化，具有可使处理速度变快的优点。又，有关第一、第二圆筒状镜片53cl、 53c2也作为以复数圆筒状镜 片构成的圆筒状镜片群，在第一方向x被排列的菱形，以在扩大间隔的 状态下被排列般分割縮小(圆筒状镜片单体的情形只有縮小)的型态也可。 此情形，藉由以代替第一、第二圆筒状镜片53cl、 53c2的复数的圆筒状 镜片构成的圆筒状镜片群在第一方向x被分割缩小的縮小比率，和藉由 第一、第二圆筒状镜片群53bl、 53b2在第二方向y被分割缩小的縮小比 率成为不同值的方式设定形状或倍率。其次，有关第二实施例，利用图l、图5 7说明。在第二实施例中 的曝光装置1包括控制部10、曝光部30、成像光学系统50、光吸收板 60、以及绘制部70(参考图1、 5)。控制部10的构成和第一实施例相同。曝光部30具有复数的DMD。在第二实施例中，复数DMD分别作 为5 x 5个(在第一方向x为五个，在第二方向y为五个)的正方形状微型 反射镜的排列和构成来说明，但DMD具有的微型反射镜的排列数或形状 并不限于此(例如，768 x 1024个排列)。基于曝光资料，作为开启状态的 DMD的微型反射镜将朝曝光部30的入射光反射，经由成像光学系统50， 在绘制部70的绘制区域进行曝光。倾斜角度e被设定为在从构成DMD的微型反射镜的开启状态的绘 制面上的投影像中，通过在第一方向x被排列的特定列中的第一方向x 的一方的端部、与主扫描方向xx平行的线，以通过对于特定列在与第二 方向y邻接的第一方向x被排列的列的第一方向x的另一方的任一个或 另一方的端部附近的位置关系。在第二实施例中，倾斜角度e被设定为在从构成DMD的微型反射 镜的开启状态的绘制面上的投影像中，通过在第一方向x被排列的特定 列中的第一方向x的一方的端部、与主扫描方向xx平行的线(参考图6 的虚线)，以通过对于特定列在与第二方向y邻接的第一方向x被排列的 列的第一方向x的另一方的端部的位置关系。成像光学系统50包括:扩大投影部51 ，具有将来自开启状态的DMD的微型反射镜的反射光扩大投影的凸透镜；反射器52，将扩大投影的像 (扩大投影像、中间像)朝向绘制面反射；以及分割縮小投影部53，将扩 大投影像分割缩小投影。中间投影像具有在第一方向x仅为五个、在第 二方向y仅为五个的正方形被排列的正方形形状(参考图7)。有关分割縮 小投影部53的详细如后面叙述。光吸收板60、绘制部70的构成和第一实施例相同。 说明有关分割縮小投影部53的详细(参考图6、图7)。分割縮小投影 部53具有开口53a、作为第二方向圆筒状镜片群的第一、第二圆筒状镜 片群53bl、 53b2、以及作为第一方向圆筒状镜片的第一、第二圆筒状镜 片53cl、 53c2。分割縮小投影部53的各部从反射器52侧朝向绘制部70的绘制区域 侧，以开口53a、第一圆筒状镜片群53bl、第一圆筒状镜片53cl、第二 圆筒状镜片53c2、第二圆筒状镜片群53b2的顺序排列。开口 53a以复数的孔被构成，来自反射器52的光通过复数的孔，被 入射至第一圆筒状镜片群53bl。开口 53a具有来自邻接的镜片的光不进 入的效果(防止发生双重图像的效果)。第一圆筒状镜片群53bl具有复数的圆筒状镜片在第二方向y被排列 的构成。圆筒状镜片具有藉由从第二方向y看为矩形形状、从第一方向x 看开口 53a侧为圆弧部份、第一圆筒状镜片53cl侧为弦部份的弓形形状， 形成圆柱的一部份的形状。亦即，构成第一圆筒状镜片群53bl的圆筒状 镜片的镜片棱线为和DMD的微型反射镜的排列方向的一方(第一方向x) 平行。圆筒状镜片在第二方向y被排列的数目被设定在和构成DMD的微 型反射镜的第二方向y排列的数目相同或其以上。第一圆筒状镜片53cl为一个圆筒状镜片，具有藉由从第一方向x看 为矩形形状、从第二方向y看第一圆筒状镜片群53bl侧为圆弧部份、第 二圆筒状镜片53c2侧为弦部份的弓形形状，形成圆柱的一部份的形状。第二圆筒状镜片53c2为一个圆筒状镜片，具有藉由从第一方向x看 为矩形形状、从第二方向y看第一圆筒状镜片53cl侧为弦部份、第二圆
筒状镜片群53b2侧为圆弧部份的弓形形状，形成圆柱的一部份的形状。第二圆筒状镜片群53b2具有复数的圆筒状镜斤在第二方向y被排列 的构成。圆筒状镜片具有藉由从第二方向y看为矩形形状、从第一方向x 看第二圆筒状镜片53c2侧为弦部份、绘制面侧为圆弧部份的弓形形状， 形成圆柱的一部份的形状。亦即，构成第二圆筒状镜片群53b2的圆筒状 镜片的镜片棱线为和DMD的微型反射镜的排列方向的一方(第一方向x) 平行。圆筒状镜片在第二方向y被排列的数目被设定在和构成DMD的微 型反射镜的第二方向y被排列的数目相同或其以上。在构成第一、第二圆筒状镜片群53bl、 53b2的圆筒状镜片的任一个 中，来自DMD中的开启状态的反射镜的反射光、通过开口 53a的光在第 二方向y被分割以及聚集光(在第一方向x不被聚集)。在第一、第二圆筒状镜片53cl、 53c2的任一个中，来自DMD中的 开启状态的反射镜的反射光、通过开口 53a的光在第一方向x被聚集(在 第二方向y不被聚集)。藉由分割縮小投影部53，在曝光部30被照射的像(照射像)藉由扩大 投影部51被扩大的中间像在第一方向x被縮小，在第二方向y被分割縮 小，在绘制部70的绘制区域中的投影像将在五个正方形相接在第一方向 x的状态下被排列的矩形五个在第二方向y以一定间隔被排列的像形成。投影像正方形连接的状态下的排列方向(第一方向x)对于主扫描方 向xx形成倾斜角度e。正方形被排列的矩形的排列方向(第二方向y)对于 副扫描方向yy形成倾斜角度e。在第二实施例，构成投影像的正方形(正方形在第一方向x被排列的 矩形)由于在扩大间隔的状态下在第二方向y被排列，与正方形(正方形在 第一方向x被排列的矩形)在不扩大间隔的状态下仅以相同数目在第二方 向y上被排列的情形相比，可使投影像的第二方向y的大小(带宽)扩大。 藉由将带宽变广，可使曝光的次数(带数xDMD的排列数)减少。带数多 的话，绘制的时间差会发生，藉此绘制线的粗细(粗细的不一致、线宽差) 恐怕会发生，但带数少的话，可减少此类的问题。又，构成投影像的正方形(正方形在第一方向x被排列的矩形)由于在 扩大间隔的状态下在第二方向y被排列，由于主扫描方向XX、以及副扫描方向yy对于构成投影像的正方形的排列方向(第一方向x、以及第二方 向y)形成倾斜角度e的关系，在扩大带宽的状态下，且可提高绘制分辨 率。又，由于构成投影像的正方形在不扩大间隔的状态下在第一方向x 被排列，投影像的大小与在扩大间隔的状态下在第一方向x被排列的情 形相比小。因此，对应于投影像的曝光资料量与在扩大间隔的状态下在第一方向x被排列的情形相比小，有可使处理速度变快的优点。又，作为投影投影像用的成像光学系统，由于使用圆筒状镜片的构 成，与将微型镜片在二次元方向排列的构成相比，由于位置调整在一个 方向完成而有简单化的优点。又，构成投影像的正方形(正方形在第一方向x被排列的矩形)扩大在第二方向y被排列的间隔，投影像的副扫描方向yy的带宽成为和一个 DMD曝光的领域的副扫描方向yy的宽度相同的方式，藉由设定成像光 学系统50(特别是第一、第二圆筒状镜片群53bl、 53b2)的倍率或形状， 可不使绘制部70在副扫描方向yy移动，以可进行曝光。又，有关第一、第二圆筒状镜片53cl、 53c2也作为以复数圆筒状镜 片被构成的圆筒状镜片群，在第一方向x被排列的正方形，以在扩大间 隔的状态下被排列般分割縮小(圆筒状镜片单体的情形只有縮小)的型态 也可。此情形，藉由以代替第一、第二圆筒状镜片53cl、 53c2的复数的 圆筒状镜片构成的圆筒状镜片群在第一方向x被分割縮小的縮小比率， 和藉由第一、第二圆筒状镜片群53bl、 53b2在第二方向y被分割縮小的 縮小比率成为不同值的方式设定形状或倍率。
权利要求
1. 一种曝光装置，该曝光装置包括 DMD;成像光学系统，具有投影部，其中上述投影部具有将从在上述DMD 中的开启状态的微型反射镜反射的光所构成的中间投影像聚集在对于主 扫描方向形成一定倾斜角度的第一方向上的第一方向圆筒状镜片、以及 在和上述第一方向垂直的第二方向之间形成上述一定倾斜角度的副扫描 方向上分割及聚集光的副扫描方向圆筒状镜片群或在上述第二方向上分 割及聚集光的第二方向圆筒状镜片群；绘制部，在曝光时，由上述DMD经由上述成像光学系统、投影像 被投影，在上述主扫描方向移动。
2. 如权利要求1所述的曝光装置，其中上述主扫描方向为上述中间 投影像的排列方向的一方，上述副扫描方向为上述中间投影像的排列方向的另一方， 上述成像光学系统的投影部具有上述第一方向圆筒状镜片以及上述 副扫描方向圆筒状镜片群。
3. 如权利要求2所述的曝光装置，其中上述一定的倾斜角度被设定 为在从构成上述DMD的微型反射镜的开启状态的上述绘制部的绘制面 上的投影像中，通过在上述第一方向被排列的特定列中的上述第一方向 的一方的端部、与上述主扫描方向平行的线，以通过对于上述特定列在 与上述副扫描方向邻接的上述第一方向被排列的列的上述第一方向的另 一方的任一个或另一方的端部附近的位置关系。
4. 如权利要求2所述的曝光装置，其中上述副扫描方向圆筒状镜片 群具有的圆筒状镜片，和在构成上述DMD的微型反射镜的上述副扫描方 向上被排列的数目相同的数目以上，在上述副扫描方向上被排列。
5. 如权利要求1所述的曝光装置，其中上述第一方向为上述中间投 影像的排列方向的一方，上述第二方向为上述中间投影像的排列方向的另一方，上述成像光学系统的投影部具有上述第一方向圆筒状镜片和上述第 二方向圆筒状镜片群。
6. 如权利要求5所述的曝光装置，其中上述一定的倾斜角度被设定为，在从构成上述DMD的微型反射镜的开启状态的上述绘制部的绘制面上的投影像中，通过在上述第一方向被排列的特定列中的上述第一方向 的一方的端部、与上述主扫描方向平行的线，以通过对于上述特定列在 与上述第二方向邻接的上述第一方向被排列的列的上述第一方向的另一 方的任一个或另一方的端部附近的位置关系。
7. 如权利要求5所述的曝光装置，其中上述第二方向圆筒状镜片群 具有的圆筒状镜片，和在构成上述DMD的微型反射镜的上述第二方向上 被排列的数目相同的数目以上，在上述第二方向上被排列。
8. 如权利要求1所述的曝光装置，其中上述DMD在上述副扫描方向 上被复数个排列。
9. 如权利要求8所述的曝光装置，其中藉由在上述曝光中的一次的 投影，从上述DMD经由上述成像光学系统被投影的上述绘制部的绘制面 上的投影像的上述副扫描方向的带宽，以和上述DMD曝光的领域的上述 副扫描方向的宽相同般，上述成像光学系统的倍率或形状被设定。
10. —种曝光装置，该曝光装置包括 DMD;成像光学系统，具有投影部，其中上述投影部具有将从在上述DMD 中的开启状态的微型反射镜反射的光所构成的中间投影像聚集在对于作 为来自上述DMD的中间投影像的排列方向的一方的主扫描方向形成一 定倾斜角度的第一方向上的第一方向圆筒状镜片、以及在来自上述DMD 的中间投影像的排列方向的另一方、且和上述第一方向垂直的第二方向 之间形成上述一定倾斜角度的副扫描方向上聚集光的副扫描方向圆筒状 镜片；以及绘制部，在曝光时，由上述DMD经由上述成像光学系统、投影像 被投影，在上述主扫描方向移动。
11. 一种曝光装置，该曝光装置包括DMD;成像光学系统，具有分割縮小投影部，其中上述分割縮小投影部具有将从在上述DMD中的开启状态的微型反射镜反射的光所构成的中间 投影像在作为来自上述DMD的中间投影像的排列方向的一方的第一方 向上分割縮小的第一方向圆筒状镜片群、以及在来自上述DMD的中间投 影像的排列方向的另一方、且与上述第一方向垂直的第二方向上分割缩 小的第二方向圆筒状镜片群或在副扫描方向上分割縮小的副扫描方向圆 筒状镜片群；以及绘制部，在曝光时，由上述DMD经由上述成像光学系统、投影像 被投影，在和上述第一方向之间形成一定倾斜角度的主扫描方向上移动；其中在上述第一方向圆筒状镜片群中的分割缩小以及在上述第二方 向圆筒状镜片群中的分割縮小縮小比率不同。
全文摘要
本发明提供以不降低绘制分辨率而扩大带宽的曝光装置，或不会使曝光资料演算处理复杂化而在绘制分辨率高的状态下进行曝光的曝光装置。曝光装置包括DMD、成像光学系统以及绘制部，其中成像光学系统具有投影部，其包括将从在DMD中的开启状态的微型反射镜反射的光所构成的中间投影像聚集在对于主扫描方向xx形成一定倾斜角度θ的第一方向x上的第一方向圆筒状镜片、以及在和第一方向x垂直的第二方向y之间形成一定倾斜角度的副扫描方向yy上分割及聚集光的副扫描方向圆筒状镜片群或在第二方向y上分割及聚集光的第二方向圆筒状镜片群。绘制部在曝光时，由DMD经由成像光学系统、投影像被投影，在主扫描方向xx移动。
文档编号G03F7/20GK101144984SQ20071014928
公开日2008年3月19日 申请日期2007年9月11日 优先权日2006年9月15日
发明者小林义则 申请人:株式会社Orc制作所