专利名称：多重曝光装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及多重曝光装置，特别是涉及进行用以将DMD(数字微型 反射镜组件，digital micromirror device)等的二次元显示组件驱动的曝光 数据的转送的装置。
背景技术：
习知使用DMD等的二次元显示组件的多重曝光装置被提案(例如， 专利文献1)。
专利文献1:日本特开2006-53325号公报
在使用专利文献1的装置等DMD等的二次元显示组件的多重曝光 装置中，曝光数据从驱动二次元显示组件用的位图(bitmap)型式的曝光数 据被作成(被绘制数据处理)的控制部、被转送至基于曝光数据驱动二次元 显示组件的装置头部。
位图型式的曝光数据由于数据尺寸大，有关从控制部朝装置头部的 转送，LVDS(低电压差分讯号，Low Voltage Differential Signaling)等的高
速转送方式被复数段使用。因此，数据转送的电路规模扩大。
发明内容
因此，本发明的目的提供不使数据转送的规模扩大而进行从控制部 朝装置头部的数据转送的装置。
有关本发明的多重曝光装置包括控制部，在作为基于作为在连续 而被复数进行的曝光用中被使用的向量(vector)数据的绘制数据而被作成 的网格(raster)数据的复数的曝光数据中，基于前后曝光数据间的差异而 作成差异数据；以及曝光头部，具有在曝光用中被使用的DMD、以及基 于差异数据驱动DMD的组件控制部。
较佳的是控制部将曝光数据中的对应于最初的曝光的第一曝光数 据、和差异数据转送至曝光头部，组件控制部在最初的曝光中，基于第
一曝光数据，驱动DMD，从次一曝光起，基于差异数据驱动DMD。
又，较佳的是差异数据基于前后的曝光数据的排他性逻辑而被求出。 发明的效果
如上述般，根据本发明，可提供不使数据转送的规模扩大而进行从 控制部朝装置头部的数据转送的装置。
第1图为表示本实施例中的多重曝光装置的立体图； 第2图为多重曝光装置的构成图； 第3图为表示基于第n曝光数据的第n画像的图示； 第4图为表示基于第(n-l)曝光数据的第(n-l)画像的图示；以及 第5图为表示基于作为第n画像和第(n-l)画像的差异的第n差异数 据的第n差异画像的图示。 符号说明 1:多重曝光装置；
10:控制部；
11:曝光数据产生部；
13:内存；
15:判别部；
30:装置头部；
31:组件控制部；
33: DMD。
具体实施例方式
以下利用图示说明有关本实施例。本实施例中的多重曝光装置1包 括控制部10、以及装置头部30(参考第1图)。控制部IO基于在连续而被 复数进行的曝光用中被使用的绘制数据(向量数据、CAD数据)，进行制
作复数的曝光数据(网格数据)的绘制数据处理。装置头部30具有DMD 33 以及驱动DMD 33的组件控制部31。
控制部10具有曝光数据产生部11、内存13、以及判别部15(参考第 2图)。曝光数据产生部11基于绘制数据依序制作第1 第N曝光数据 Di DN。 N为1以上的整数。第1曝光数据Di为在绘制面上的最初曝光 领域(第1曝光领域fO曝光用而被制作的曝光数据，第n曝光数据Dn为 从绘制面上的第1曝光领域&在以(n-l)x每次的移动量在x方向或y方向 被移动的曝光领域(第n曝光领域fj曝光用而被制作的曝光数据。n为2 以上N以下的整数。每次的移动量包含DMD 33的装置头部30对于搭载 绘制面的绘制桌(或绘制桌对于DMD 33)相对的移动量，在一次的移动， 使其被移动在绘制面上的邻接的曝光领域。
内存13将被制作的曝光数据的一个暂时纪录。具体而言，第(n-l) 曝光数据D^在内存13被暂时纪录的状态下，在将第n曝光数据Dn在 内存13暂时纪录时，第(n-l)曝光数据D^被消去。
第1曝光数据Di被转送至装置头部30。第2 第N曝光数据D2 Dn不被特送。
判别部15将在内存13被暂时纪录的第(n-l)曝光数据D^、和在曝 光数据产生部11新的被制作的第n曝光数据Dn间的差异(求出排他性逻 辑[exclusive disjunction])比较，制作第n差异数据In。
第3图为表示基于第n曝光数据Dj勺第n画像IMn。第4图为表示 基于第(n-l)曝光数据的第(n-l)画像IM^。以涂黑的四方形表示的领 域为将被曝光的领域，以虚线的四方形表示的领域为不将被曝光的领域。
第5图为表示基于作为第n画像IMn和第(n-l)画像IM^的差异的第 n差异数据In的第n差异画像DIMn的图示。第n画像IMn和第(n-l)画像 IM^相比，表示只在左侧划斜线的四方形(x2个)表示的领域作为开启状 态的微型反射镜被增加，只在右侧划横线的四方形(x4个)表示的领域作 为关闭状态的微型反射镜被增加的状态。
内存13将被制作的差异数据的一个暂时纪录。具体而言，第(n-l) 差异数据I"在内存13被暂时纪录的状态下，在将第n差异数据1 在内
存13暂时纪录时，第(n-l)差异数据In.,被消去。
第2 第N差异数据12 Iw被转送至装置头部30。 组件控制部31基于第1曝光数据D,、第2 第N差异数据I2 IN 驱动DMD 33，使DMD 33曝光曝光领域。组件控制部31具有内存(未图 标)，纪录基于第1曝光数据D^以及第2 第N差异数据l2 lN将被产 生的第2 第N曝光数据D2 DN。
在最初的曝光(第1曝光)中，绘制面被设定在第1曝光领域fi将被曝 光的状态下，第1曝光领域f,的曝光通过基于第1曝光数据Dt被驱动的 DMD33而被进行。
在下一曝光(第2曝光)中，绘制面被设定于只被移动一次的移动量的 第2曝光领域f2将被曝光的状态下，第2曝光领域f2的曝光通过基于藉 由第1曝光数据Dp以及第2差异数据12产生的第2曝光数据D2而被驱 动的DMD33而被进行。具体而言，在设置于组件控制部31的内存被纪 录的第1曝光数据Dp将第2差异数据12的内容加上(在第1曝光数据 Di中，使对应于第2差异数据12表示的画素的位置的曝光数据的位反转) 的演算被进行，第2曝光数据D2被产生。第2曝光领域f2的曝光通过基 于第2曝光数据D2被驱动的DMD 33而被进行。
基于第2差异数据12，在从第1曝光的状态朝第2曝光的状态移行 时有需要使其变化(从开启状态到关闭状态、或从关闭状态到开启状态) 的DMD 33的微型反射镜，以和第1曝光状态时不同的状态下被驱动。 在从第1曝光的状态朝第2曝光的状态移行时不需使其变化的DMD 33 的微型反射镜，以和第l曝光状态时相同的状态下被驱动。
在下一次的曝光(第3曝光)中，绘制面被设定于只使其移动2x每次 的移动量的第3曝光领域f3被曝光的状态下，第3曝光领域f3的曝光通 过基于藉由第l曝光数据Di、以及第2、第3差异数据12、 13产生的第3 曝光数据D3被驱动的DMD33而被进行。具体而言，在设置于组件控制 部31的内存被纪录的第2曝光数据D2，将第3差异数据13的内容加上(在 第2曝光数据D2中，使对应于第3差异数据13表示的画素的位置的曝光 数据的位反转)的演算被进行，第3曝光数据D3被产生。第3曝光领域f3的曝光通过基于第3曝光数据D3被驱动的DMD 33而被进行。
基于第3差异数据13，在从第2曝光的状态朝第3曝光的状态移行 时有需要使其变化(从开启状态到关闭状态、或从关闭状态到开启状态) 的DMD 33的微型反射镜，以和第2曝光状态时不同的状态下被驱动。 在从第2曝光的状态朝第3曝光的状态移行时不需使其变化的DMD 33 的微型反射镜，以和第2曝光状态时相同的状态下被驱动。
在第n曝光中，绘制面被设定于只使其移动(n-l)x每次的移动量的第 n曝光领域fn被曝光的状态下，第n曝光领域fn的曝光通过基于藉由第1 曝光数据Dp以及第2 第n差异数据12 Ij皮产生的第n曝光数据Dn 被驱动的DMD33而被进行。具体而言，在设置于组件控制部31的内存 被纪录的第(n-l)曝光数据D^，将第n差异数据In的内容加上(在第(n-l) 曝光数据中，使对应于第n差异数据In所表示的画素的位置的曝光 数据的位反转)的演算被进行，第n曝光数据D。被产生。第n曝光领域f。 的曝光通过基于第n曝光数据Dn被驱动的DMD 33而被进行。
基于第n差异数据In，在从第(n-l)曝光的状态朝第n曝光的状态移 行时有需要使其变化(从开启状态到关闭状态、或从关闭状态到开启状态) 的DMD33的微型反射镜，以和第(n-l)曝光状态时不同的状态下被驱动。 在从第(n-l)曝光的状态朝第n曝光的状态移行时不需使其变化的DMD 33的微型反射镜，以和第(n-l)曝光状态时相同的状态下被驱动。
在本实施例的多重曝光中，因为一边将绘制面沿移动方向稍微一点 点移动而重复曝光，藉由和前一个的曝光数据所不同的部份只有一些， 曝光数据的大部份不会变化。因此，差异数据的情报量与曝光数据相比 大幅减少。
DMD33的显示组件的数目为1024x768，幅(frame)频率为10kHz的 情形，对应1画面的曝光数据的转送速度(rate)需要为 1024bitx768xl0kHz —8Gbps。为了确保此转送速度，必需准备复数段 LVDS等的高速转送方式，但在本实施例中，与曝光数据相比，由于利用 情报量少的差异数据来驱动DMD 33，不用将数据转送用的电路规模扩 大。
权利要求
1.一种多重曝光装置，包括控制部，在作为基于作为在连续而被复数进行的曝光用中被使用的向量数据的绘制数据而被作成的网格数据的上述复数曝光数据中，基于前后曝光数据间的差异而作成差异数据；以及曝光头部，具有在上述曝光用中被使用的DMD、以及基于上述差异数据驱动上述DMD的组件控制部。
2. 如权利要求1所述的多重曝光装置，其中上述控制部将上述曝光 数据中的对应于最初的曝光的第一曝光数据和上述差异数据转送至上述 曝光头部，上述组件控制部在上述最初的曝光中，基于上述第一曝光数据，驱 动上述DMD，从次一曝光起，基于上述差异数据驱动上述DMD。
3. 如权利要求1所述的多重曝光装置，其中上述差异数据基于上述 前后的曝光数据的排他性逻辑而被求出。
全文摘要
本发明提供以不使数据转送的规模扩大而进行从控制部朝装置头部的数据转送的装置。多重曝光装置(1)具备在作为基于作为在连续而被复数进行的曝光用中被使用的向量数据的绘制数据而被作成的网格数据的复数的曝光数据中、基于前后曝光数据间的差异而作成差异数据的曝光数据产生部(11)。具备具有在曝光用中被使用的DMD(33)、以及基于差异数据驱动DMD的组件控制部(31)的装置头部(30)。
文档编号G03F7/20GK101183221SQ20071016954
公开日2008年5月21日 申请日期2007年11月9日 优先权日2006年11月14日
发明者奥山隆志 申请人:株式会社Orc制作所