专利名称：：感光性树脂组合物的制作方法
技术领域：
：0001本发明涉及感光性树脂组合物。
背景技术：
：10002在构成液晶显示元件的彩色滤光片基板和阵列基板之间，为了将两基板的间隔保持一定设有间隔物，该两基板间充满液晶，作为液晶显示元件起作用。该间隔物以往使用玻璃珠、塑料珠等球形粒子。0003但是，使用这种球形粒子时，在两基板间无序地散布而配置，因此球形粒子若配置于形成于阵列基板或彩色滤光片基板的TFT元件或电极等位置，则与TFT元件或电极等相接触而引起损伤，或者若配置于透过像素部之内，则入射光由于球形粒子而散射，液晶显示元件的对比度有时会降低。0004于是，有人提出了使用感光性树脂组合物来形成间隔物。根据该方法，由于可以在阵列基板或彩色滤光片基板的任意地方形成间隔物，因此可解决前述问题。0005J作为间隔物形成用的感光性树脂组合物，已知一种间隔物形成用感光性树脂组合物，其含有含有苯乙烯和甲基丙烯酸和曱基丙烯酸缩水甘油酯的共聚物的树脂、3官能以上的(曱基)丙烯酸酯、作为聚合引发剂的2-千基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、和溶剂(例如，参照专利文献l。)。00061另外，作为间隔物形成用组合物，已知一种间隔物形成用感光性树脂组合物，其含有使将曱基丙烯酸苄酯、丙烯酸、曱基丙烯酸羟乙酯和乙氧基丙酸乙酯共聚而获得的共聚物与六亚甲基二异氰酸酯的丙烯酸羟乙酯的单加成物反应而获得的树脂，二季戊四醇五丙烯酸酯/二季戊四醇六丙烯酸酯混合物，作为聚合引发剂的2，4-三氯曱基(胡椒基)-6-三溱，表面活性剂，和溶剂(例如，参照专利文献2。)。0007J可形成间隔物的感光性树脂组合物还可用于为了控制LCD的液晶分子的取向在阵列基板或彩色滤光片基板的任意场所设置的突起的形成、LCD用保护层(绝缘膜)的形成、LCD用的防护涂层(overcoat)的形成、LCD用的接触孔的形成。E0008[专利文献1]特开平11-133600号公报[专利文献2]特开2002-20442号公报
发明内容0009人们期待进一步提高液晶分子取向控制用突起形成用或间隔物形成用感光性树脂组合物的性能，特別是需求赋予形状良好、且表面平滑性良好的图案的组合物。0010本发明的目的在于，提供赋予形状良好、且表面平滑性良好的图案的液晶分子取向控制用突起形成用或间隔物形成用感光性树脂组合物。0011本发明人对于能够解决上述技术问题的组合物进行了深入的研究，结果发现含有某种树脂的感光性树脂组合物可赋予形状良好、且表面平滑性良好的图案。10012即，本发明提供以下[l]~[13]个方面。.感光性树脂组合物，其为含有粘合剂树脂(A)、重氮醌化合物(B)和溶剂(C)的感光性树脂组合物，粘合剂树脂(A)为由下述(l)、(2)、(3)和(4)构成的树脂，或由下述(1)、(2)、(5)和(6)构成的树脂。(1):(Al)由来的结构单元。(2):(A2)由来的结构单元。(3):使(A4)的环氧基的部位与(A3)反应而获得的反应物由来的结构单元。(4):使(A4)与通过(A3)的反应生成的羟基的部位与(A5)反应而获得的反应物由来的结构单元。(5):(A3)由来的结构单元。(6):(A4)由来的结构单元。(Al):—分子中具有选自三环癸烷骨架和二环戊二烯骨架中的至少一种骨架、和不饱和键的化合物(A2):可与(Al)和(A4)共聚且具有不饱和键的化合物(A3):具有不饱和键基的羧酸(A4):—分子中具有不饱和键和环氧基的化合物(A5):酸酐(其中，(Al)~(A5)分别各不相同。)0013.感光性树脂组合物，其为含有粘合剂树脂(A)、重氮醌化合物(B)和溶剂(C)的感光性树脂组合物，其特征在于，粘合剂树脂(A)含有使将下述Ul)~(A3)共聚而获得的共聚物3进一步与(A4)反应而获得的共聚物；或使下述(A1)、(A2)和(A4)共聚而获得共聚物1,使获得的共聚物1与(A3)在共聚物1的(A4)由来的环氧基的部位反应而获得共聚物2，进而使获得的共聚物2和(A5)与通过共聚物1的(A4)和(A3)反应而生成的羟基的部位反应而获得的共聚物中的至少一种。(Al):—分子中具有选自三环癸烷骨架和二环戊二烯骨架中的至少一种骨架、和不饱和键的化合物(A2):可与(Al)和(A4)共聚且具有不饱和键的化合物(A3):具有不饱和键基的羧酸U4):—分子中具有不饱和键和环氧基的化合物(A5):酸酐(其中，(Al)~(A5)分别各不相同。)[3].[1]或[2]中记载的感光性树脂组合物，其中，(Al)为选自(曱基)丙烯酸二环戊酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯酯、(甲基)丙烯酸二环戊氧基乙酯和(甲基)丙烯酸二环戊烯氧基乙酯中的至少一种的化合物。.[1]~[3]任一项中记载的感光性树脂组合物，其中，(A2)为选自苯乙烯、oc-曱基苯乙烯、(曱基)丙烯酸爷酯、N-取代马来酰亚胺化合物中的至少一种的化合物。.[1]~[4]任一项中记载的感光性树脂组合物，其中，(A3)为选自丙烯酸和曱基丙烯酸中的至少一种的化合物。.[1]~[5]任一项中记载的感光性树脂组合物，其中，(A4)为选自丙烯酸缩水甘油酯和甲基丙烯酸缩水甘油酯中的至少一种的化合物。.化合物[1]~[6]任一项中记载的感光性树脂组合物，其中，(A5)选自马来酸酐、琥珀酸肝、衣康酸酐、邻苯二甲酸肝、四氲邻苯二曱酸酐、六氬邻苯二甲酸酐、曱基内亚曱基四氲邻苯二甲酸酐、甲基四氢邻苯二甲酸酐和苯偏三酸酐中的至少一种。.使用[1]~[7]任一项中记载的感光性树脂组合物形成的固化树脂图案。.[8]中记载的固化树脂图案，其中，固化树脂图案为间隔物。.[8]中记载的固化树脂图案，其中，固化树脂图案为垂直取向型液晶显示元件用的突起。.[ll].[8]中记载的固化树脂图案，其中，固化树脂图案为绝缘膜。.[8]中记载的固化树脂图案，其中，固化树脂图案为防护涂层。.含有固化树脂图案而成的彩色滤光片，其中，所述固化树脂图案选自使用[1]~[7]任一项中记载的感光性树脂组合物形成的间隔物、绝缘膜、防护涂层和液晶取向控制用的突起中的至少一种。具体实施方式0014下面详细说明本发明。本发明的感光性树脂组合物为含有粘合剂树脂(A)、重氮醌化合物(B)和溶剂(C)的感光性树脂组合物，粘合剂树脂(A)为由下述(1)、(2)、(3)和(4)构成的树脂，或由下述(1)、(2)、(5)和(6)构成的树脂。(1):(Al)由来的结构单元。(2):(A2)由来的结构单元。(3):使(A4)的环氧基的部位与(A3)反应而获得的反应物由来的结构单元。(4):使(A4)与通过(A3)的反应生成的羟基的部位与(A5)反应而获得的反应物由来的结构单元。(5):(A3)由来的结构单元。(6):(A4)由来的结构单元。(Al):—分子中具有选自三环癸烷骨架和二环戊二烯骨架中的至少一种骨架、和不饱和键的化合物(A2):可与(Al)和(A4)共聚且具有不饱和键的化合物(A3):具有不饱和键基的羧酸(A4):—分子中具有不饱和键和环氧基的化合物(A5):酸酐(其中，(Al)~(A5)分别各不相同。)另外，本发明的感光性树脂组合物，为含有粘合剂树脂(A)、重氮醌化合物(B)和溶剂(C)的感光性树脂组合物，其特征在于，粘合剂树脂U)含有使将下述(Al)~(A3)共聚而获得的共聚物3进一步与U4)反应而获得的共聚物；或使下述(Al)、(A2)和(AO共聚而获得共聚物1,使获得的共聚物1与(A3)在共聚物1的(A4)由来的环氧基的部位反应而获得共聚物2,进而使获得的共聚物2和(A5)与通过共聚物1的(A4)和(A3)反应而生成的羟基的部位反应而获得的共聚物中的至少一种。(Al):—分子中具有选自三环癸烷骨架和二环戊二烯骨架中的至少一种骨架、和不饱和键的化合物(A2):可与(Al)和(AO共聚且具有不饱和键的化合物(A3):具有不饱和键基的羧酸(A4):—分子中具有不饱和键和环氧基的化合物(A5):酸酐(其中，(Al)~(A5)分别各不相同。)0015作为一分子中具有不饱和键、选自三环癸烷骨架和二环戊二烯骨架中的至少一种骨架、和不饱和键的化合物(Al),具体可列举出，(曱基)丙烯酸二环戊酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯酯、(甲基)丙烯酸二环戊氧基乙酯、(曱基)丙烯酸二环戊烯氧基乙酯。它们可分别单独使用，或组合二者使用。在此，本说明书中的(曱基)丙烯酸酯的记载表示丙烯酸酯和/或曱基丙歸酸酯。0016作为具有可与(Al)和(A4)共聚的不饱和键的化合物(A2),具体可列举出，(曱基)丙烯酸曱酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(曱基)丙烯酸丁酯、(曱基)丙烯酸2-羟乙酯和(甲基)丙烯酸氨基乙酯等不饱和羧酸的未取代或取代烷基酯；(曱基)丙烯酸环戊酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(曱基)丙烯酸甲基环己酯、(甲基)丙烯酸环庚酯、(甲基)丙烯酸环辛酯、(甲基)丙烯酸菡酯、(甲基)丙烯酸环戊烯酯、(甲基)丙烯酸环己烯酯、(曱基)丙烯酸环庚烯酯、(曱基)丙烯酸环辛烯酯、(曱基)丙烯酸蓋二烯酯、(曱基)丙烯酸异水片酯、(甲基)丙烯酸蒗酯、(曱基)丙烯酸金刚烷酯、(甲基)丙烯酸降水片烯酯、(曱基)丙烯酸匕。才二^酯等含有不饱和羧酸的脂环式基的酯化合物；(甲基)丙烯酸低聚乙二醇单烷基酯等二醇类的单饱和羧酸酯化合物；(甲基)丙烯酸千酯、(曱基)丙烯酸苯氧酯酯等含有不饱和羧酸的芳香环的酯化合物；苯乙烯、oc-曱基苯乙烯、oc-苯基苯乙烯和乙烯基曱苯等芳香族乙烯基化合物；酢酸乙烯酯和丙酸乙烯酯等羧酸乙烯酯；(甲基)丙烯腈和ct-氯丙烯腈等氰化乙烯基化合物；N-环己基马来酰亚胺或N-苯基马来酰亚胺、N-千基马来酰亚胺等N-取代马来酰亚胺化合物等。它们可分别单独使用，或组合使用。0017其中，(A2)优选选自苯乙烯、a-曱基苯乙烯、(曱基)丙烯酸千酯、N-取代马来酰亚胺化合物中的至少一种的化合物。0018作为具有不饱和键基的羧酸(A3),具体可列举出，丙烯酸、曱基丙烯酸、巴豆酸、衣康酸、马来酸、富马酸、a-(羟基曱基)丙烯酸等、同一分子中含有羟基和羧基的具有不饱和键基的羧酸。其中，优选丙烯酸和甲基丙烯酸，丙烯酸和甲基丙烯酸可分别单独4吏用或组合二者4吏用。4吏用巴豆酸、衣康酸、马来酸、富马酸、a-(羟基曱基)丙烯酸时，不单独使用，而优选组合丙烯酸和/或曱基丙烯酸来使用。0019J一分子中具有不饱和键和环氧基的化合物U4),具体可列举出，(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(曱基)丙烯酸-P-甲基缩水甘油酯、(曱基)丙烯酸-P_乙基缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸-P-丙基缩水甘油酯、a-乙基丙烯酸-p-甲基缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸-3-曱基-3,4-环氧基丁酯、(甲基)丙烯酸-3-乙基-3,4-环氧基丁酯、(曱基)丙烯酸-4-甲基-4,5-环氧基戊酯、(曱基)丙烯酸-5-甲基-5，6_环氧基己酯、缩水甘油基乙烯基醚等。其中，(A4)优选(曱基)丙烯酸缩水甘油酯。0020酸酐(A5)为分子中具有1个酸酐基的化合物，具体可列举出，马来酸肝、琥珀酸酐、衣康酸酐、邻苯二曱酸酐、四氢邻苯二甲酸酐、六氩邻苯二甲酸酐、曱基内亚甲基四氩邻苯二曱酸酐、曱基四氢邻苯二甲酸酐、苯偏三酸酐等，优选四氢邻苯二甲酸酐。0021本发明所使用的粘合剂树脂(A)为由上述(1):(Al)由来的结构单元、(2):U2)由来的结构单元、(3):使(A4)的环氧基的部位与(A3)反应而获得的反应物由来的结构单元和(4):使(A4)与通过(A3)的反应生成的羟基的部位与(A5)反应而获得的反应物由来的结构单元构成的树脂，或者为由上述(l):(Al)由来的结构单元、(2):(A2)由来的结构单元、(5):(A3)由来的结构单元和(6):(A4)由来的结构单元构成的树脂。本发明所使用的粘合剂树脂(A)含有使将上述(Al)~(A3)共聚而获得的共聚物3进一步与(A4)反应而获得的共聚物；或使(A1)、(A2)和(A4)共聚而获得共聚物1,使获得的共聚物1与(A3)反应而获得共聚物2，进而使获得的共聚物2与(A5)反应而获得的共聚物。0022首先，对于使本发明的(Al)~(A3)共聚而获得的共聚物3，由(Al)~(A3)各自衍生的构成成分的比例，相对于构成前述共聚物的构成成分的总摩尔数，以摩尔分率计，优选为以下的范围。(Al)衍生的结构单元；2~30摩尔％(A2)衍生的结构单元；2~95摩尔％(A"衍生的结构单元；2~70摩尔％另外，前述构成成分的比例更优选为以下范围。(Al)衍生的结构单元；5~25摩尔％(AU衍生的结构单元；5~80摩尔％(八3)衍生的结构单元；5~60摩尔％前述构成比例若为上述范围，则作为非像素部分的曝光部分的分离性(抜(t性)良好、可挠性和耐热性的平衡良好，可获得优选的主干聚合物(幹聚合物)。0023J接着，使(A4)与前述共聚物加成反应，制成本发明的感光性树脂组合物中使用的一个粘合剂树脂。通过使(4)与前述共聚物3反应，可赋予共聚物光/热固化性。0024作为前述一分子中具有不饱和键和环氧基的化合物U4),具体可列举出，(曱基)丙烯酸缩水甘油酯、(曱基)丙烯酸3，4-环氧基环己酯、(曱基)丙烯酸3，4-环氧基环己基甲酯、(甲基)丙烯酸曱基缩水甘油酯。优选(曱基)丙烯酸缩水甘油酯。它们可分别单独使用，或组合两种以上使用。0025(A4)的加成量，相对于使(Al)~(A3)聚合而获得的共聚物3中的羧基((A3)成分由来)，为5~90摩尔％,优选为10~80摩尔%。(A4)的組成比若在上述范围内，则可获得充分的光固化性、热固化性，兼顾敏感度和铅笔硬度，可靠性优异。因此优选。0026本发明的着色感光性树脂组合物所使用的粘合剂树脂(A)，相对于着色感光性树脂组合物中的总固体成分，含量通常为5~90质量％,优选为10~70质量％。粘合剂树脂(A)的含量以前述基准计，如果为5~90质量％，则非像素部分的基板上难于发生显影残渣，或者显影时难于产生未曝光部的像素部分的膜变薄，作为非像素部分的曝光部分的分离性有良好的倾向，因此优选。0027J上述为了获得共聚物1,使(Al)、(A2)和(A4)共聚。该共聚时，在通常的条件下进行。例如，在装有搅拌器、温度计、回流冷却管、滴液漏斗和氮导入管的烧瓶中，相对于(A1)、(A2)和(A4)的总量，以质量基准计，导入O.520倍量的溶剂，将烧瓶内气氛由空气置换为氮。之后，将溶剂升温至40~14(TC后，将添加有规定量的(Al)、(A2)和(A4),相对于(Al)、(A2)和(A4)的总量以质量基准计为0~20倍量的溶剂，和相对于(A1)、(A2)和(A4)的总摩尔数为0.1~10摩尔％的偶氮双异丁腈或过氧化苯甲酰等的聚合§1发剂的溶液(室温或加热下搅拌溶解)，由滴液漏斗经0.1-8小时滴加于前述烧瓶，进而在40~14(TC搅拌1~10小时。0028应说明的是，在上述工序中，可以将聚合引发剂的一部分或全部加入到烧瓶中，也可以将(Al)、(A2)和(A4)的一部分或全部加入到烧瓶中。另外，为了控制分子量或分子量分布，也可以将cx-曱基苯乙烯二聚物或巯基化合物作为链转移剂使用。a-曱基苯乙烯二聚物或巯基化合物的使用量，相对于(Al)~(A3)的总量，以质量基准计，为0.005-5%。应说明的是，上述聚合条件也可以考虑制造设备或聚合产生的发热量等适当调整加入方法或反应温度。0029作为由它们衍生的构成成分的比例，相对于构成前述共聚物1的构成成分的总摩尔数，以摩尔分率计，优选为以下范围。0030(Al)衍生的结构单元；2~40摩尔％U2)衍生的结构单元；2~95摩尔％(A4)衍生的结构单元；3~65摩尔％0031另外，更优选前述构成成分的比例为以下范围。0032(Al)衍生的结构单元；5~35摩尔％(AU衍生的结构单元；5~80摩尔％(A4)衍生的结构单元；15~60摩尔％0033前述构成比例为上述范围时，可挠性和耐热性的平衡良好，可获得优选的主干聚合物。0034接着，在前述共聚物1中加成(A3)赋予粘合剂树脂(A)光/热固化性。0035共聚物1与(A3)的反应，例如可在特开2001-89533号公报中记载的条件进行。具体可列举出，将烧瓶内气氛由氮取代为空気，在烧瓶内力口入相对于前述共聚物1的U4)衍生的结构单元以摩尔分率计的5~100摩尔％的(A3);作为羧基和环氧基的反应催化剂，例如相对于(Al)~(A4)的总量，以质量基准计为0.01~5%的三(二曱基氨基甲基)苯酚；和作为阻聚剂，例如，相对于(Al)~(A4)的总量，以质量基准计为0.001~5%的氬醌；在60~130。C下反应1~10小时，由此可使前述共聚物l与U3)反应。应说明的是，与聚合条件一样，可以根据制造设备或聚合产生的发热量等，适当调整加入方法或反应温度。0036(A3)的加成量，相对于使(Al)、(A2)和(A4)共聚而获得的树脂中的环氧基(A4成分由来)为5~100摩尔％,优选为10-100摩尔％。(A4)的組成比如果在上述范围内，则可获得充分的光固化性、热固化性，可靠性优异，因此优选。0037接着，使前述共聚物2与(A5)反应来赋予粘合剂树脂(A)碱溶解性。0038J共聚物2与(A5)的反应，例如可在特开2001-89533号公报中记载的条件下进行。具体可列举出，在烧瓶中加入相对于前述共聚物2的(A3)衍生的结构单元，以摩尔分率计为5~100摩尔％的(A5);作为反应催化剂，例如，相对于(Al)~(A4)的总量，以质量基准计为0.01~5%的三乙基胺；在60~130。C下反应1~10小时反应，由此可以使前述共聚物2与(A5)反应。应说明的是，与聚合条件一样，可以根据制造设备或聚合产生的发热量等，适当调整加入方法或反应温度。0039(A5)的加成量，相对于共聚物2的醇性羟基的摩尔数(A3成分由来)为5~100摩尔％,优选为10~95摩尔％。0040前述粘合剂树脂(A)的聚苯乙烯换算的重均分子量优选为3，000-100，000,更优选为5，000~50，000,进一步优选为5，000~30,000。粘合剂树脂(A)的重均分子量为前述范围时，涂布性良好，另外显影时难于发生膜变薄，进而有作为非像素部分的曝光部分的分离性良好的倾向，因而优选。0041粘合剂树脂U)的分子量分布[重均分子量(Mw)/数均分子量(Mn)]优选为1.5-6.0,更优选为1.8-4.0。分子量分布在前述范围时，有作为非像素部分的曝光部分的分离性良好的倾向，因而优选。0042本发明的感光树脂组合物所使用的粘合剂树脂(A)的含量，相对于感光性树脂组合物的固体成分，以质量分率计，通常为5~90质量％,优选为10~70质量％。粘合剂树脂(A)的含量为前述范围时，显影液中的溶解性充分，曝光部分的基板上难于发生显影残渣，显影时难于发生未曝光部的膜变薄，有曝光部分的分离性良好的倾向，是优选的。0043J本发明所使用的重氮醌化合物(B)，例如，可列举出，1，2-重氮苯醌磺酸酯类、1，2-重氮萘醌磺酸酯类、1，2-重氮苯醌磺酸酰胺类或1,2-重氮萘醌磺酸酰胺类等。其中，优选1,2-重氮萘醌磺酸酯类。0044作为可用作本发明所使用的重氮醌化合物(B)的1,2-重氮萘醌磺酸酯类，具体可列举出下列物质。即，4-[1，，2，，3，，4，，4a，，9a，-六氢-66羟基螺[环己烷-1,9，-咕吨]-4a，-基]间苯二酚-6-重氮-5-氧代-5,6-二氩-l-萘磺酸(单~三)酯；2，3,4-三羟基二苯曱酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、2，3，4-三羟基二苯甲酮-1,2-重氮萘醌-5-磺酸酯、2，4，6-三羟基二苯曱酮-1,2-重氮萘醌-4-磺酸酯或2，4，6-三羟基二苯曱酮-1，2-重氮萘极-5-磺酸酯等三羟基二苯甲酮类的1,2-重氮萘醌磺酸酯类；2，2，，4，4'-四羟基二苯曱酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、2,2，，4,4，-四羟基二苯曱酮-1,2-重氮萘醌-5-石黄酸酯、2,2，，4，3，-四羟基二苯曱酮-l，2-重氮萘醌-4-石黄酸酯、2，2，，4,3，-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、2，3，4，4，-四羟基二苯曱酮-1,2-重氮萘醌-4-石黄酸酯、2，3，4，4，-四羟基二苯曱酮-1,2-重氮萘醌-5-磺酸酯、2，3，4，2，-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酉旨、2，3，4，2，-四羟基二苯曱酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、2，3，4,4'-四羟基-3，-甲氧基二苯甲酮-1,2-重氮萘醌-4-磺酸酯或2，3,4，4，-四羟基-3，-曱氧基二苯甲酮-1,2-重氮萘醌-5-磺酸酯等四羟基二苯曱酮类的1,2-重氮萘醌磺酸酯类；2，3，4,2，，6，-五羟基二苯曱酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯或2，3,4，2，，6，-五羟基二苯甲酮-l,2-重氮萘醌-5-磺酸酯等五羟基二苯甲酮类的1，2-重氮萘醌磺酸酯类；2,4，6，3，，4，，5，-六羟基二苯曱酮-1,2-重氮萘醌-4-磺酸酯、2,4,6,3，，4，，5，-六羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、3,4，5，3，，4，，5，-六羟基二苯曱酮-1,2-重氮萘醌-4-磺酸酯或3，4，5，3'，4，，5，-六羟基二苯甲酮-1,2-重氮萘醌-5-石黄酸酯等六羟基二苯曱酮类的1，2-重氮萘醌磺酸酯类；4,4，-亚甲基双[6-2(幾基-5-曱基苯基)曱基]-2,5-二曱基苯基-萘醌-1，2-重氮-5-磺酸(单~四)酯、双(2，4-二羟基苯基)曱烷-1,2-重氮萘醌-4-磺酸酯、双(2，4-二羟基苯基)曱烷-1,2-重氮萘醌-5-磺酸酯、双(对羟基苯基)甲烷-1,2-重氮萘醌-4-磺酸酯、双(对羟基苯基)甲烷-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、1，1，1-三(对羟基苯基)乙烷-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、1，1,1-三(对羟基苯基)乙烷-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、双(2，3，4-三羟基苯基)曱烷-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、双(2,3,4-三羟基苯基)曱烷-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、2,2，-双(2，3，4-三羟基苯基)丙烷-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、2，2，-双(2,3,4-三羟基苯基)丙烷-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、1，1，3-三(2，5-二曱基-4-羟基苯基)-3-苯基丙烷-1,2-重氮萘醌-4-磺酸酯、1，1，3-三(2,5-二甲基-4-羟基苯基)-3-苯基丙烷-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、4,4，-[1-[4-[1-[4-羟基苯基]-l-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酴-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、4，4，-[1-[4-[1-[4-羟基苯基]-1-曱基乙基]苯基]亚乙基]双酚-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、双(2，5-二甲基-4-羟基苯基)-2-羟基苯基曱烷-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、双(2,5-二甲基-4-羟基苯基)-2-羟基苯基甲烷-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、3，3,3，，3，-四曱基-1,1，-螺双茚-5，6，7，5，，6，，7，-己醇-1,2-重氮萘醌-4-磺酸酯、3,3,3,,3，-四曱基-l，l，-螺双茚-5，6，7，5，，6，，7，-己醇-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、2,2,4-三甲基-7,2，，4，-三羟基黄烷-1,2-重氮萘醌-4-磺酸酯或2,2,4-三曱基-7，2，，4，-三羟基黄烷_1,2-重氮萘醌-5-磺酸酯等(多羟基苯基)烷烃类的1，2-重氮萘醌磺酸酯类等。0045其中，优选下式(1)表示的「4-[1，，2，，3，，4，，4a，，9a，-六氲-66羟基螺[环己烷-1、9，-咕吨]-4a，-基]间苯二酚-6-重氮-5-氧代-5,6-二氬-1-萘磺酸(单~三)酉旨、下式(2)表示的4，4，-亚曱基双[6-2(羟基-5-甲基苯基)曱基]-2，5-二曱基苯(其中，式(1)的左式的三个Q4中的至少一个为式(1)的右式表示的基团，其余(T为氲原子。)(其中，式(2)的左式的P1~P4中的至少一个为式(2)的右式表示的基团，其余P1-P4为氢原子。)0046前述重氮醌化合物(B)可分别单独使用，或组合2种以上使用。本发明的重氮醌化合物(B)的含量，相对于感光性树脂组合物的固体成分，优选为2~50质量％,更优选为5~40质量％。重氮醌化合物的含量在前述范围时，由于未曝光部和曝光部的溶解速度差增加，有可较高保持显影时的残膜率的倾向，因而优选。0047也可以将粘合剂树脂(A)、重氮醌(B)、任意的其他阳离子聚合引发剂(D)溶解或分散于溶剂(C)而构成本发明的感光性树脂组合物。0048阳离子聚合引发剂(D)可列举出作为阳离子聚合引发剂的镜盐。該櫞盐可使用由櫞阳离子和路易斯酸由来的阴离子构成者。前述嗡阳离子的具体例可列举出，二苯基碘镜、双(对曱苯基)碘镜、双(对叔丁基苯基)碘嗡、双(对辛基苯基)碘镜、双(对十八烷基苯基)碘镜、双(对辛氧基苯基)碘镥、双(对十八烷基氧基苯基)碘镭、苯基(对十八烷基氧基苯基)碘镥、(对曱苯基)(对异丙基苯基)碘镲、三苯基锍、三(对甲苯基)锍、三(对异丙基苯基)锍、三(2,6-二甲基苯基)锍、三(对叔丁基苯基)锍、三(对氰基苯基)锍、三(对氯苯基)锍、二甲基(甲氧基)锍、二曱基(乙氧基)锍、二甲基(丙氧基)锍、二曱基(丁氧基)锍、二甲基(辛氧基)锍、二曱基(十八烷氧基)锍、二曱基(异丙氧基)锍、二甲基(叔丁氧基)锍、二曱基(环戊氧基)锍、二甲基(环己基氧基)锍、二甲基(氟曱氧基)锍、二甲基(2-氯乙氧基)锍、二曱基(3-溴丙氧基)锍、二甲基(4-氰基丁氧基)锍、二甲基(8-硝基辛氧基)锍、二曱基(18-三氟曱基十八烷氧基)锍、二甲基(2-羟基异丙氧基)锍、或二甲基(三(三氯曱基)甲基)锍等。0049优选的镞阳离子可列举出，双(对甲苯基)碘镜、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘镜、双(对叔丁基苯基)碘镒、三苯基锍或三(对叔丁基苯基)锍等。0050前述路易斯酸由来的阴离子的具体例可列举出，六氟磷酸盐、六氟砷酸盐、六氟锑酸盐或四(五氟苯基)硼酸盐等。优选的路易斯酸由来的阴离子可列举出，六氟锑酸盐或四(五氟苯基)硼酸盐。前述镜阳离子和路易斯酸由来的阴离子可任意组合。0051阳离子聚合引发剂的具体例可列举出，二苯基碘纖六氟磷酸盐、双(对曱苯基)碘镥六氟磷酸盐、双(对叔丁基苯基)碘镥六氟磷酸盐、双(对辛基苯基)碘锱六氟磷酸盐、双(对十八烷基苯基)碘镥六氟磷酸盐、双(对辛氧基苯基)碘镎六氟磷酸盐、双(对十八烷基氧基苯基)碘镲六氟磷酸盐、苯基(对十八烷基氧基苯基)碘镥六氟磷酸盐、(对曱苯基)(对异丙基苯基)碘镟六氟磷酸盐、甲基萘基碘镥六氟磷酸盐、乙基萘基碘镞六氟磷酸盐等碘鎩六氟磷酸盐。0052三苯基锍六氟磷酸盐、三(对曱苯基)锍六氟磷酸盐、三(对异丙基苯基)锍六氟磷酸盐、三(2,6-二曱基苯基)锍六氟磷酸盐、三(对叔丁基苯基)锍六氟磷酸盐、三(对氰基苯基)锍六氟磷酸盐、三(对氯苯基)锍六氟磷酸盐、二甲基萘基锍六氟磷酸盐、二乙基萘基锍六氟磷酸盐、二甲基(曱氧基)锍六氟磷酸盐、二曱基(乙氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(丙氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(丁氧基)锍六氟磷酸盐、二曱基(辛氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(十八烷氧基)锍六氟磷酸盐、二曱基(异丙氧基)锍六氟磷酸盐、二曱基(叔丁氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(环戊氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(环己基氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(氟曱氧基)锍六氟磷酸盐、二曱基(2-氯乙氧基)锍六氟磷酸盐、二曱基(3-溴丙氧基)锍六氟磷酸盐、二曱基(4-氰基丁氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(8-硝基辛氧基)锍六氟磷酸盐、二曱基(18-三氟曱基十八烷氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(2-羟基异丙氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(三(三氯甲基)甲基)锍六氟磷酸盐等锍六氟磷酸盐。0053另外，可列举出二苯基碘條六氟砷酸盐、双(对曱苯基)碘镒六氟砷酸盐、双(对叔丁基苯基)碘镜六氟砷酸盐、双(对辛基苯基)碘嗡六氟砷酸盐、双(对十八烷基苯基)碘镒六氟砷酸盐、双(对辛氧基苯基)碘镞六氟砷酸盐、双(对十八烷基氧基苯基)碘锩六氟砷酸盐、苯基(对十八烷基氧基苯基)碘鎩六氟砷酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘镒厶六氟砷酸盐、甲基萘基碘镭六氟砷酸盐、乙基萘基典镱六氟砷酸盐等碘镎六氟砷酸盐。0054另外，可列举出三苯基锍六氟砷酸盐、三(对甲苯基)锍六氟砷酸盐、三(对异丙基苯基)锍六氟砷酸盐、三(2,6-二甲基苯基)锍六氟砷酸盐、三(对叔丁基苯基)锍六氟砷酸盐、三(对氰基苯基)锍六氟砷酸盐、三(对氯苯基)锍六氟砷酸盐、二甲基萘基锍六氟砷酸盐、二乙基萘基锍六氟砷酸盐、二甲基(曱氧基)锍六氟砷酸盐、二曱基(乙氧基)锍六氟砷酸盐、二曱基(丙氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(丁氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(辛氧基)锍六氟砷酸盐、二曱基(十八烷氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(异丙氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(叔丁氧基)锍六氟砷酸盐、二曱基(环戊氧基)锍六氟砷酸盐、二曱基(环己基氧基)锍六氟砷酸盐、二曱基(氟甲氧基)锍六氟砷酸盐、二曱基(2-氯乙氧基)锍六氟砷酸盐、二曱基(3-溴丙氧基)锍六氟砷酸盐、二曱基(4-氰基丁氧基)锍六氟砷酸盐、二曱基(8-硝基辛氧基)锍六氟砷酸盐、二曱基(18-三氟曱基十八烷氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(2-羟基异丙氧基)锍六氟砷酸盐、二曱基(三(三氯曱基)曱基)锍六氟砷酸盐等锍六氟砷酸盐。0055J另外，可列举出二苯基碘偷六氟锑酸盐、双(对甲苯基)捵镒六氟锑酸盐、双(对叔丁基苯基)？典镭六氟锑酸盐、双(对辛基苯基)碘镲六氟锑酸盐、双(对十八烷基苯基)碘條六氟锑酸盐、双(对辛氧基苯基)碘镒六氟锑酸盐、双(对十八烷基氧基苯基)碘锱六氟锑酸盐、苯基(对十八烷基氧基苯基)碘锱六氟锑酸盐、(对曱苯基)(对异丙基苯基)碘镭六氟锑酸盐、甲基萘基碘镞六氟锑酸盐、乙基萘基殃櫞六氟锑酸盐等碘櫞六氟锑酸盐。0056J另外，可列举出三苯基锍六氟锑酸盐、三(对甲苯基)锍六氟锑酸盐、三(对异丙基苯基)锍六氟锑酸盐、三(2，6-二甲基苯基)锍六氟锑酸盐、三(对叔丁基苯基)锍六氟锑酸盐、三(对氰基苯基)锍六氟锑酸盐、三(对氯苯基)锍六氟锑酸盐、二甲基萘基锍六氟锑酸盐、二乙基萘基锍六氟锑酸盐、二曱基(曱氧基)锍六氟锑酸盐、二曱基(乙氧基)锍六氟锑酸盐、二曱基(丙氧基)锍六氟锑酸盐、二曱基(丁氧基)锍六氟锑酸盐、二曱基(辛氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(十八烷氧基)锍六氟锑酸盐、二曱基(异丙氧基)锍六氟锑酸盐、二曱基(叔丁氧基)锍六氟锑酸盐、二曱基(环戊氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(环己基氧基)锍六氟锑酸盐、二曱基(氟曱氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(2-氯乙氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(3-溴丙氧基)锍六氟锑酸盐、二曱基(4-氰基丁氧基)锍六氟锑酸盐、二曱基(8-硝基辛氧基)锍六氟锑酸盐、二曱基(18-三氟曱基十八烷氧基)锍六氟锑酸盐、二曱基(2-羟基异丙氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(三(三氯曱基)曱基)锍六氟锑酸盐等锍六氟锑酸盐。0057另外，可列举出二苯基碘锬四(五氟苯基)硼酸盐、双(对曱苯基)碘嗡四(五氟苯基)硼酸盐、双(对叔丁基苯基)碘铬四(五氟苯基)硼酸盐、双(对辛基苯基)碘镭四(五氟苯基)硼酸盐、双(对十八烷基苯基)碘镜四(五氟苯基)硼酸盐、双(对辛氧基苯基)碘镜四(五氟苯基)硼酸盐、双(对十八烷基氧基苯基)碘櫞四(五氟苯基)硼酸盐、苯基(对十八烷基氧基苯基)碘镜四(五氟苯基)硼酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘镲四(五氟苯基)硼酸盐、曱基萘基碘镜四(五氟苯基)硼酸盐、乙基萘基碘镒四(五氟苯基)硼酸盐等碘镒四(五氟苯基)硼酸盐。0058另外，可列举出三苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、三(对曱苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、三(对异丙基苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、三(2，6-二甲基苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、三(对叔丁基苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、三(对氰基苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、三(对氯苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基萘基锍四(五氟苯基)硼酸盐、二乙基萘基锍四(五氟苯基)硼酸盐、二曱基(甲氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二曱基(乙氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二曱基(丙氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(丁氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(辛氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二曱基(十八烷氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(异丙氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(叔丁氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二曱基(环戊氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二曱基(环己基氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(氟甲氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二曱基(2-氯乙氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(3-溴丙氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二曱基(4-氰基丁氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二曱基(8-硝基辛氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二曱基(18-三氟甲基十八烷氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二曱基(2-羟基异丙氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(三(三氯甲基)甲基)锍四(五氟苯基)硼酸盐等，优选双(对曱苯基)碘镜六氟磷酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘镥六氟磷酸盐、双(对叔丁基苯基)碘镲六氟磷酸盐、三苯基锍六氟磷酸盐、三(对叔丁基苯基)锍六氟磷酸盐、双(对曱苯基)碘镒六氟砷酸盐、(对曱苯基)(对异丙基苯基)碘镜六氟砷酸盐、双(对叔丁基苯基)碘镜六氟砷酸盐、三苯基锍六氟砷酸盐、三(对叔丁基苯基)锍六氟砷酸盐、双(对甲苯基)碘镒六氟锑酸盐、(对曱苯基)(对异丙基苯基)碘镜六氟锑酸盐、双(对叔丁基苯基)碘镥六氟锑酸盐、三苯基锍六氟锑酸盐、三(对叔丁基苯基)锍六氟锑酸盐、双(对甲苯基)碘櫞四(五氟苯基)硼酸盐、(对曱苯基)(对异丙基苯基)碘镥四(五氟苯基)硼酸盐、双(对叔丁基苯基)碘镲、三苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、三(对叔丁基苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐等，更优选双(对曱苯基)碘徵六氟锑酸盐、(对曱苯基)(对异丙基苯基)碘镭六氟锑酸盐、双(对叔丁基苯基)碘镲六氟锑酸盐、三苯基锍六氟锑酸盐、三(对叔丁基苯基)锍六氟锑酸盐、双(对曱苯基)碘櫞四(五氟苯基)硼酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘输四(五氟苯基)硼酸盐、双(对叔丁基苯基)碘镜四(五氟苯基)硼酸盐、三苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、或三(对叔丁基苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐等锍四(五氟苯基)硼酸盐。0059这些阳离子聚合引发剂(D)可单独使用，也可2种以上联用。本发明的作为前述镒盐的阳离子聚合引发剂的含量，相对于感光性树脂组合物的固体成分，以质量分率计，优选为0.01~10质量％、更优选为0.1~5质量％。聚合引发剂(D)的含量在前述范围时，有抑制固化后的解像度低下的倾向，因而优选。0060本发明的感光性树脂组合物含有溶剂(C)。作为前述溶剂(C),可使用感光性树脂组合物领域中使用的各种的有机溶剂。其具体例可列举出，乙二醇单曱基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单丙基醚和乙二醇单丁基醚等乙二醇单烷基醚类；二乙二醇二曱基醚、二乙二醇二乙基醚、二乙二醇乙基曱基醚、二乙二醇二丙基醚和二乙二醇二丁基醚等二乙二醇二烷基醚类；曱基溶纤剂乙酸酯和乙基溶纤剂乙酸酯等乙二醇烷基醚乙酸酯类；丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯、丙二醇单丙基醚乙酸酯、甲氧基丁基乙酸酯和甲氧基戊基乙酸酯等烷二醇烷基醚乙酸酯类；苯、甲苯、二曱苯和茶等芳香族烃类；甲基乙基酮、丙酮、曱基枯基酮、甲基异丁基酮和环己酮等酮类；乙醇、丙醇、丁醇、己醇、环己醇、乙二醇和甘油等醇类；3-乙氧基丙酸乙酯和3-甲氧基丙酸曱酯等酯类；Y-丁内酯等环状酯类等。0061上述溶剂中，考虑到涂布性、乾燥性，优选上述溶剂中沸点为100~20(TC的有机溶剂，更优选烷二醇烷基醚乙酸酯类、酮类、3-乙氧基丙酸乙酯和3-甲氧基丙酸曱酯等酯类，特别优选丙二醇单曱基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯、环己酮、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸曱酯。这些溶剂(C)可单独使用，或混合2种以上使用。0062本发明的感光性树脂组合物的溶剂(C)的含量，相对于感光性树脂组合物以质量分率计，通常为60~90质量％，优选为70~85质量％。溶剂(C)的含量在前述范围时，用旋涂机、狭缝与旋转式涂布机、狭缝式涂布机(有时也叫模涂机、幕式淋涂机。)、喷墨机等涂布装置涂布时有涂布性良好的倾向，因而优选。0063作为其他成分，在本发明的感光性树脂组合物中，可根据需要，含有增敏剂(E)、多元酚化合物(F)、交联剂(G)、聚合性单体(H)。0064作为前述增敏剂(E),例如，可列举出1-萘酚、2-萘酚、1，2-二羟基萘、1，3-二羟基萘、1,4-二羟基萘、1，5-二羟基萘、1，6-二羟基萘、1,7-二羟基萘、1,8-二羟基萘、2，3-二羟基萘、2，6-二羟基萘、2，7-二羟基萘、4-曱氧基-1-萘酚等萘朌类；噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、4-异丙基噻吨酮、2,3-二乙基p塞吨酮、2,4-二氯噻吨酮、1-氯-4-丙氧基噻吨酮、2-环己基p塞吨酮、4-环己基噻吨酮等噻吨酮类。特别优选l-萘酚、2-萘酚、4-甲氧基-1-萘酚、2,4-二乙基噻吨酮。I0065J含有前述增敏剂(E)时，其含量，相对于感光性树脂组合物的固体成分，以质量分率计，优选为0.1~10质量％,更优选为0.1~5质量％。增敏剂(E)的含量在前述范围时，促进阳离子聚合引发剂的分解，防止固化后的解像度降低，进而涂膜的可见光透射率不会降低至实用上有问题的程度，因而优选。0066优选前述多元酚化合物(F)为分子中具有2个以上的酚性羟基的化合物。前述多元酚化合物，例如，可列举出与重氮醌化合物中记载的同样的三羟基二苯甲酮类、四羟基二苯甲酮类、五羟基二苯甲酮类、六羟基二苯甲酮类、(多羟基苯基)烷烃类等多元酚类等。0067J前述多元酚化合物(F)可列举出至少以鞋基苯乙烯为原料单体的聚合物。多元盼化合物(F)具体可列举出，多羟基苯乙烯、羟基苯乙烯/曱基丙烯酸甲酯共聚物、羟基苯乙烯/甲基丙烯酸环己酯共聚物、羟基苯乙烯/苯乙烯共聚物、羟基苯乙烯/烷氧基苯乙烯共聚物等聚合有羟基苯乙烯的树脂。另外，可列举出将选自酚类、甲酚类和儿茶酚类中的至少一种的化合物与选自醛类和酮类的l种以上化合物缩聚而获得的酚醛清漆树脂等。0068含有前述多元酚化合物(F)时，其含量，相对于感光性树脂组合物的固体成分，以质量分率计，优选为0.1~40质量％,更优选为0.1~40质量％,特別优选为1~25质量％。多元酚化合物的含量为前述范围时，有获得的膜的可见光透射率不降低的倾向，因而优选。0069前述交联剂(G)可列举出羟甲基化合物等。前述羟曱基化合物还可列举出，烷氧基曱基化蜜胺树脂、烷氧基曱基化尿素树脂等烷氧基曱基化氨基树脂等。在此，烷氧基曱基化蜜胺树脂具体可列举出，曱氧基甲基化蜜胺树脂、乙氧基曱基化蜜胺树脂、丙氧基曱基化蜜胺树脂、丁氧基曱基化蜜胺树脂等，烷氧基曱基化尿素树脂例如可列举出，曱氧基甲基化尿素树脂、乙氧基甲基化尿素树脂、丙氧基甲基化尿素树脂、丁氧基曱基化尿素树脂等。前述交联剂可单独使用或组合2种以上使用。0070含有前述交联剂(G)时，其含量，相对于感光性树脂组合物的固体成分，以质量分率计，优选为0.1~15质量％。交联剂的含量为前述范围时，获得的膜的可见光透射率有难于降低的倾向，因而优选。I0071J作为前述聚合性单体(H)，例如，可列举出可通过加热自由基聚合的聚合性单体、可阳离子聚合的聚合性单体等，优选可阳离子聚合的聚.合性单体。作为前述可自由基聚合的聚合性单体，例如，可列举出具有聚合性碳-碳不饱和键的化合物，可以为单官能的聚合性单体，也可以为2官能的聚合性单体或3官能以上的聚合性单体等，还可以为多官能的聚合性单体。I0072J作为前述单官能的聚合性单体，例如，可列举出壬基苯基卡比醇丙烯酸酯、壬基苯基卡比醇曱基丙烯酸酯、2-羟基-3-苯氧基丙基丙烯酸酯、2-羟基-3-苯氧基丙基甲基丙烯酸酯、2-乙基己基卡比醇丙烯酸酯、2-乙基己基卡比醇甲基丙烯酸酯、2-丙烯酸羟乙酯、曱基丙烯酸2-羟乙酯、N-乙烯基吡咯烷酮等。0073作为前述2官能的聚合性单体，例如，可列举出1，6-己二醇二丙烯酸酯、1，6-己二醇二曱基丙烯酸酯、乙二醇二丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二曱基丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇二曱基丙烯酸酯、双盼A的双(丙烯酰氧基乙基)醚、3-甲基戊二醇二丙烯酸酯、3-曱基戊二醇二甲基丙烯酸酯等。0074J作为前述3官能以上的聚合性单体，例如，可列举出三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、季戊四醇五丙烯酸酯、季戊四醇五曱基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六曱基丙烯酸酯等。前述聚合性单体中，优选使用2官能或3官能以上的聚合性单体。具体可列举出，优选季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯等，更优选二季戊四醇六丙烯酸酯。也可以组合2官能或3官能以上的聚合性单体、和单官能的聚合性单体使用。0075J作为前述可阳离子聚合的聚合性单体，例如，可列举出具有乙烯基醚基、丙烯基醚基、氧杂环丁基等阳离子聚合性的官能团的聚合性单体。具体地，作为含有乙烯基醚基的化合物，例如，可列举出三乙二醇二乙烯基醚、1，4-环己烷二甲醇二乙烯基醚、4-羟基丁基乙烯基醚、十二烷基乙烯基醚等，作为含有丙烯基醚基的化合物，可列举出4-(l-丙烯基氧基甲基)_1，3-二哺烷-2-酮等，作为含有氧杂环丁基的化合物，可列举出双(3-(3-乙基氧杂环丁基)曱基}醚、1,4-双{3-(3-乙基氧杂环丁基)甲氧基)苯、1,4-双U-(3-乙基氧杂环丁基)曱氧基)曱基苯、1，4-双{3-(3-乙基氧杂环丁基)曱氧基}环己烷、1，4-双(3-(3-乙基氧杂环丁基)曱氧基}甲基环己烷、3-(3-乙基氧杂环丁基)曱基化酚醛清漆树脂等。0076使用前述聚合性单体(H)时，可单独或组合2种以上使用。使用聚合性单体时，其添加量，相对于感光性树脂组合物的固体成分，以质量分率计，优选为0.1~20质量％。0077本发明的感光性树脂组合物中，根据需要，可联用填充剂、其他的高分子化合物、表面活性剂、密合促进剂、抗氧化剂、紫外线吸收剂、防凝剂、凝结剂、链转移剂等添加剂。0078作为填充剂，可列举出玻璃、二氧化硅、氧化铝等。0079作为其他的高分子化合物，可列举出环氧树脂、马来酰亚胺树脂等固化性树脂或聚乙烯醇、聚丙烯酸、聚乙二醇单烷基醚、聚氟烷基丙烯酸酯、聚酯、聚氨酯等热可塑性树脂等。0080作为表面活性剂，可使用市售的表面活性剂，例如，可列举出有机硅系、氟系、酯系、阳离子系、阴离子系、非离子系、两性等表面活性剂等，可分别单独或组合2种以上使用。作为前述表面活性剂的例子，可列举出聚氧乙烯烷基醚类、聚氧乙烯烷基苯基醚类、聚乙二醇二酯类、脱水山梨糖醇脂肪酸酯类、脂肪酸改性聚酯类、叔胺改性聚氨酯类、聚乙烯亚胺类等、商品名为SH'二"J—X(東k.夕、、々3—-少夕'公司生产)、KP(信越化学工業(抹)生产)、水卩7口一(共栄化学(抹)生产)、工7卜7y(卜一少厶y口夕、、夕少7>司生产)、^#77少夕(大日本47矢化学工業(抹)生产)、7口，一卜、、(住友久卩一工厶(抹)生产)、7廿匕方、一卜'、廿一7口y(以上、旭硝子(抹)生产)、乂A只只(七、才力(抹)生产)、EFKA(EFKACHEMICALS乂>司生产)、PB821(味O素(抹)生产)等。0081作为密合性促进剂，具体可列举出，乙烯基三曱氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-曱氧基乙氧基)硅烷、N-(2-氨基乙基)_3-氨基丙基曱基二曱氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三曱氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-环氧丙氧丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3，4-环氧基环己基)乙基三曱氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三曱氧基硅烷、3-巯基丙基三甲氧基硅烷等。0082J作为抗氧化剂，具体可列举出，2，2，-硫代双(4-曱基-6-叔丁基苯酚)、2，6-二叔丁基-4-曱基苯酚等。0083作为紫外线吸收剂，具体可列举出，2-(3-4又丁基-2-羟基-5-甲基苯基)-5-氯苯并三唑、烷氧基二苯曱酮等。0084作为凝结剂，具体可列举出，聚丙烯酸钠等。0085作为链转移剂，可列举出，十二烷基硫醇、2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯等。0086本发明的感光性树脂组合物不含专利文献1记载的树脂成分，因此相对于贮藏前的粘度的贮藏后的粘度的变化率小，因而优选。0087本发明的感光性树脂组合物，可以根据以任意顺序混合前述U)~(C)的各成分、根据需要的(D)~(H)成分等方法容易地制备。0088本发明的感光树脂组合物可根据需要含有着色材料(I)。前述着色材料(I)可以是顔料/染料。例如，为顔料时，可以是顔料分散抗蚀层(k^只卜)通常使用的有机顔料或无机顔料。作为无机顏料，可列举出金属氧化物或金属络盐等金属化合物，具体可列举出，铁、钴、铝、镉、铅、铜、钛、镁、铬、锌、锑等金属的氧化物或复合金属氧化物。作为有机顔料和无机顔料，具体可列举出，染料索引(ColourIndex)(TheSocietyofDyersandColourists出版)中，分类为颜料(Pigment)的化合物。更具体可列举出，下述染料索引(C.I.)编号的顔料，但并不限于此。0089C.1.颜料黄20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173和180;C丄颜料橙13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65和71;C.1.颜泮牛红9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、215、216、224、242、254、255和、264;C.1.颜料紫14、19、23、29、32、33、36、37和38;C.I.颜料蓝15(15:3、15:4、15:6等)、21、28、60、64和76;C.1.颜料绿7、10、15、25、36和47;C.I.颜料棕28;C.I.颜料黑1和7等。0090这些着色材料(I)可分别单独使用，或组合2种以上使用。着色材料(I)以着色感光性树脂组合物中的总固体成分量为基准，通常在3~60质量％、优选5~55质量％的范围内使用。着色材料(D)的含量以前述基准计为5~60质量％的范围时，即使形成薄膜，像素的色浓度也充分，显影时非像素部的分离性不会降低，因此有难于产生残渣的倾向，是优选的。0091含有感光性树脂组合物的层(1),例如，可通过在基板(2)上涂布感光性树脂组合物的方法等来形成。涂布例如，可通过旋涂、流延涂布法、辊涂布法、狭缝与旋转式涂布或缝涂法等进行。涂布后，加热乾燥(预烘)、或減圧乾燥后加热，通过挥发溶剂等挥发成分，形成感光性树脂组合物层(1)。此处，加热的温度通常为7020(TC,优选为80-13(TC。該感光性树脂组合物层(1)几乎不含挥发成分。前述感光性树脂组合物层的厚度为L5-5jam左右。0092之后，介由掩模(3)，向感光性树脂组合物层(1)照射放射线(4)。根据目标图案形状可适当选择掩模(3)的图案。作为放射线，例如可使用g线或i线等光线。放射线优选使用例如掩^t直线对准器或步进曝光装置等照射，以平行于整个感光性树脂组合物层(1)地照射。通过如此照射放射线，可正确地进行掩模(3)与感光性树脂组合物层(1)的位置吻合。0093照射后进行显影。可通过如划水法、浸渍法或喷淋法等将曝光后的感光性树脂组合物层(1)显影。显影液通常使用碱水溶液。碱水溶液使用碱性化合物的水溶液，碱性化合物可以是无机碱性化合物，也可以是有机碱性化合物。0094J作为前述无机碱性化合物，例如可列举出，氢氧化钠、氢氧化钾、磷酸氩二钠、磷酸二氢钠、磷酸氢二铵、磷酸二氢铵、磷酸二氢钾、硅酸钠、硅酸钾、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、硼酸钠、硼酸钾或氨等。0095作为前述有机碱性化合物，例如可列举出，四甲基氬氧化铵、2-羟基乙基三曱基氢氧化铵、单曱基胺、二曱基胺、三甲基胺、单乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、单异丙基胺、二异丙基胺或乙醇胺等。0096前述碱性化合物可单独使用，也可组合2种以上使用。显影液中的碱性化合物的含量，相对于显影液100质量份，通常为0.01~10质量份，优选为0.1~5质量份。0097显影液也可含有表面活性剂。作为表面活性剂，例如可列举出，非离子系表面活性剂、阳离子系表面活性剂或阴离子系表面活性剂等。0098作为非离子系表面活性剂，例如可列举出，聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯芳基醚、聚氧乙烯烷基芳基醚等聚氧乙烯衍生物、氧化乙烯/氧化丙烯嵌段共聚物、脱水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧乙烯脱水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙烯烷基胺等。0099作为阳离子系表面活性剂，例如可列举出，硬脂基胺盐酸盐等胺盐、月桂基三甲基氯化铵等季铵盐等。0100作为阴离子系表面活性剂，例如可列举出，月桂醇硫酸酯钠或油醇硫酸酯钠等高級醇硫酸酯盐；月桂基硫酸钠或月桂基硫酸铵等烷基硫酸盐；十二烷基苯磺酸钠或十二烷基萘磺酸钠等烷基芳基磺酸盐等。这些表面活性剂可单独使用，也可组合2种以上使用。显影液也可含有有机溶剂。作为前述有机溶剂，例如可列举出，甲醇、乙醇等水溶性的有机溶剂等。0101通过显影，感光性树脂组合物层(1)中的、先前曝光中放射线照射的放射线照射区域(12)溶解于显影液，放射线未照射的放射线未照射区域(ll)不会溶解于显影液，而形成树脂图案(5)。0102碱显影后通常进行水洗、乾燥。乾燥后，在获得的树脂图案(5)的一部分或整个上照射放射线。該放射线的光源优选使用含有300~450nm波长的方文射线的光源。这样形成的树脂图案(5)从提高耐热性或耐溶剂性等方面考虑，优选进一步加热処理(后烘)。加热処理优选用加热板或洁净烘箱等加热装置将向树脂图案(5)的一部分或全部照射放射线后的基板加热。加热温度优选为150~250°C，更优选为180~240°C。加热时间优选为5-120分钟，更优选为1590分种左右。通过加热処理，树脂图案(5)固化，形成固化树脂图案(6)。这样形成的固化树脂图案(6)，例如，作为构成间隔物、垂直取向型液晶显示元件用的突起的固化树脂图案有用。发明效果本发明的间隔物形成用感光性树脂组合物，可赋予形状良好、且表面平滑性良好的图案，另外获得的图案的耐溶剂性优异，在组合物中含有的树脂的合成工艺中难于生成粒状异物，适用于间隔物、液晶取向控制用的突起之类的图案形成，也可同时形成间隔物和液晶取向控制用的突起，本发明在工业上极为有用。实施例0104上面，对于本发明的实施方式进行了说明，但上述公开的本发明的实施方式是列举性的，本发明的范围并不限于这些实施方式。本发明的范围如权利要求书所示，还包括在与权利要求书的记载均等的含义和范围内的所有变更。下面，通过实施例更详细地说明本发明，但本发明不限于这些实施例。0105实施例1、实施例2和比较例1中使用的粘合剂树脂的构造等见式(X)、式(Y)和表l。表l中，ah表示结构单元及其摩尔比。0106粘合剂树脂中由于没有使用异氰酸酯化合物，因而没有异氰酸酯化合物带来的特有的气味。0107<formula>formulaseeoriginaldocumentpage32</formula>0108结构单元的说明a:共聚物1中的(Al)衍生的结构单元。b:共聚物1中的(A2)衍生的结构单元。c:使共聚物1中的(A4)衍生的结构单元，在(A4)由来的环氧基的部位与(A3)反应而衍生的结构单元。d:共聚物1的(A4)和(A3)的反应生成的共聚物2的(A4)和(A3)的反应生成的羟基的部位与(A5)反应而获得的共聚物中的U5)衍生的结构单元。e:共聚物3中的(Al)衍生的结构单元。f:共聚物3中的(A2)衍生的结构单元。g:共聚物3中的(A3)衍生的结构单元。h:使共聚物3与(A4)反应而获得的共聚物中的(A4)衍生的结构单元。0109表1<table>tableseeoriginaldocumentpage33</column></row><table>对于上述粘合剂聚合物的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)和数均分子量(Mn)的测定，使用GPC法，在以下条件进行。装置HLC-8120GPC(東乂一(抹)生产)柱TSK-GELG4000HXL+TSK-GELG2000HXL(串联)柱温度40°C溶剂THF流速1.Oml/min注入量50)il检测器RI测定试样浓度0.6质量％(溶剂THF)才交正用标准物质TSKSTANDARDPOLYSTYRENEF-40、F-4、F-1、A-2500、A-500(東乂一(才朱)生产)将上述获得的重均分子量与数均分子量之比作为分子量分布(Mw/Mn)。0111实施例1将树脂A(IOO质量份)、下式(1)表示的化合物(30质量份)(重氮醌化合物(B))、作为密合性促进剂的2-(3,4-环氧基环己基)乙基三曱氧基硅烷的KBM-303(信越有机硅生产、3质量份)、作为溶剂(C)的二乙二醇乙基甲基醚(350质量份)、有机硅系表面活性剂的SH8400(東k夕"々-—->夕'生产、0.03质量份)(二甲基、曱基(聚环氧乙烷乙酸酯)硅氧烷)混合，获得感光性树脂组合物l。0112(其中，式(1)的左式的3个Q4中的至少一个为式(1)的右式表示的基团，其余Q"为氢原子。)0113实施例2将树脂A(1QQ质量份)、下式(2)表示的化合物(2Q质量份)、KBM-303(3质量份)、二乙二醇乙基曱基醚(35Q质量份)、SH8400(0.G3质量份)混合，获得感光性树脂组合物2。0114(其中，式(2)的左式的P1~P4的至少一个为式(2)的右式表示的基团，其余P1~P4为氢原子。)0115实施例3将树脂B(1QQ质量份)、式(1)表示的化合物(30质量份)、KBM-303(3质量份)、二乙二醇乙基曱基醚(350质量份)、SH8400(0,03质量份)混合，获得感光性树脂组合物3。0116实施例4将树脂B(IOO质量份)、式(2)表示的化合物(20质量份)、KBM-303(3质量份)、二乙二醇乙基甲基醚(350质量份)、SH8400(0,03质量份)混合，获得感光性树脂组合物4。0117比4交例1将树脂C(1Q0质量份)、式(1)表示的化合物(30质量份)、KBM-303(3质量份)、二乙二醇乙基曱基醚(350质量份)、SH8400(0.03质量份)混合，获得感光性树脂组合物5。0118比较例2将树脂C(IOQ质量份)、下式(2)表示的化合物(20质量份)、KBM-303(3质量份)、二乙二醇乙基曱基醚(350质量份)、SH8400(0.03质量份)混合，获得感光性树脂组合物6。0119在透明玻璃基板(#1737;-—->夕'公司生产)上旋涂上述获得的感光性树脂组合物1~6，使用洁净烘箱，在10(TC加热(预烘)3分钟，形成2jum厚的感光性树脂组合物层。膜厚用膜厚计(DEKTAK3;(抹)ULVAC生产)测定。0120之后，使用接触对准器(M-2Li;;、力廿(林)生产)，介由掩模向获得的感光性树脂组合物层照射放射线(波长365nm基准下的強度为150MJ/CM2)，曝光。此时使用的掩才莫包括线/隙(space)=30lam/30jum、20jlim/20|um、10jum/10jum、9|um/9jtim、8jum/8jum、7jum/7jim、6|Lim/6iLim、5jam/5jum的图案。0121曝光后，在23。C的显影液(以质量分率计，含有0.1%氢氧化钾、含有非离子系表面活性剂的水溶液)中浸渍150秒显影后，用超純水洗涤，乾燥后，后烘220。C/30分钟，获得着色树脂图案。将获得的着色树脂图案用扫描型电子显微镜观察，結果，确认以6pm/6ym以上的线/隙图案形成了树脂图案。该图案例如可用于液晶控制用突起等。0122获得固化树脂图案在下述项目中进行的测定等的結果见表2。0123表2<table>tableseeoriginaldocumentpage36</column></row><table>(表2中的说明)耐丽P性曝光工序中，除了不使用光掩模以外，与实施例的记载同样地操作，制备涂膜。将制备的涂膜浸渍在N-甲基吡咯烷酮(30°Cx30分钟)中，测定浸渍前后的膜厚变化。浸渍前后的膜厚变化(=(浸渍后的膜厚(jum)/浸渍前的膜厚()x100)为103%以下时记做〇、超过103。/。时记做x。表面平滑性表面平滑性的基准通过目视观察表面，有光泽时记做〇，白浊(不透明)时记j故x。粒状异物通过目视观察表面，没有异物记做O,有异物记做x全。形状对于垂至于图案的基板等的截面的截面，与上述相同地使用SEM观察。截面的形状为表面包含曲面且由凸的图形构成的形状时记做〇(特别优选上面为凸的円弧状的情况。)、上底小于下底的等腰梯形时记做△、长方形时记做x。0125本发明的实施例1~实施例4的感光性树脂组合物中，如果比较比较例1和比较例2，则可知可获得耐丽P性、表面平滑性、图案形状优异的图案和涂膜，适合间隔物的形成用的同时也可适用于垂直取向型液晶显示元件用的突起的形成。产业实用性0126本发明的感光性树脂组合物不使用异氰酸酯化合物，因而没有气味的问题，形成的涂膜或图案的耐溶剂性良好，表面平滑性优异，不会发生粒状异物等涂布缺陷，可解像至5~50nm的微细图案，因而作为非像素部分的曝光部分的分离性良好，适用于垂直取向型液晶显示元件用的突起、间隔物之类的图案形成。本发明的感光性树脂组合物可用于液晶显示装置中的间隔物和液晶取向控制用的突起的同时形成，而且还可用于绝缘膜(接触孔形成)、防护涂层(平坦化膜)的形成。进而，可作为它们粘接所使用的粘接剂使用。权利要求1.感光性树脂组合物，其为含有粘合剂树脂(A)、重氮醌化合物(B)和溶剂(C)的感光性树脂组合物，粘合剂树脂(A)为由下述(1)、(2)、(3)和(4)构成的树脂，或由下述(1)、(2)、(5)和(6)构成的树脂，(1)(A1)由来的结构单元，(2)(A2)由来的结构单元，(3)使(A4)的环氧基的部位与(A3)反应而获得的反应物由来的结构单元，(4)使(A4)与通过(A3)的反应生成的羟基的部位与(A5)反应而获得的反应物由来的结构单元，(5)(A3)由来的结构单元，(6)(A4)由来的结构单元，(A1)一分子中具有选自三环癸烷骨架和二环戊二烯骨架中的至少一种骨架、和不饱和键的化合物(A2)可与(A1)和(A4)共聚且具有不饱和键的化合物(A3)具有不饱和键基的羧酸(A4)一分子中具有不饱和键和环氧基的化合物(A5)酸酐其中，(A1)～(A5)分别各不相同。2.感光性树脂组合物，其为含有粘合剂树脂(A)、重氮醌化合物(B)和溶剂(C)的感光性树脂组合物，其特征在于，粘合剂树脂(A)含有使将下述(A1)~(A3)共聚而获得的共聚物3进一步与(A4)反应而获得的共聚物；或使下述(Al)、(A2)和(A4)共聚而获得共聚物1,使获得的共聚物1与(A3)在共聚物1的(A4)由来的环氧基的部位反应而获得共聚物2,进而使获得的共聚物2和(A5)与通过共聚物1的(A4)和(A3)反应而生成的羟基的部位反应而获得的共聚物中的至少一种，(Al):—分子中具有选自三环癸烷骨架和二环戊二烯骨架中的至少一种骨架、和不饱和键的化合物(A2):可与(Al)和(AO共聚且具有不饱和键的化合物(A3):具有不饱和键基的羧酸(A4):—分子中具有不饱和键和环氧基的化合物(A5):酸酐其中，(Al)~(A5)分别各不相同。3.如权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，(Al)为选自(曱基)丙烯酸二环戊酯、(曱基)丙烯酸二环戊烯酯、(曱基)丙烯酸二环戊氧基乙酯和(曱基)丙烯酸二环戊烯氧基乙酯中的至少一种的化合物。4.如权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，(A2)为选自苯乙烯、a-曱基苯乙烯、(曱基)丙烯酸千酯、N-取代马来酰亚胺化合物中的至少一种的化合物。5.如权利要求1~4中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，(A3)为选自丙烯酸和甲基丙烯酸中的至少一种的化合物。6.如权利要求1~5中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，(A4)为选自丙烯酸缩水甘油酯和甲基丙烯酸缩水甘油酯中的至少一种的化合物。7.如权利要求1~6中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，(A5)为选自马来酸酐、琥珀酸肝、衣康酸肝、邻苯二曱酸酐、四氢邻苯二甲酸酐、六氢邻苯二甲酸酐、甲基内亚甲基四氲邻苯二曱酸酐、曱基四氢邻苯二甲酸酐和苯偏三酸酐中的至少一种的化合物。8.使用权利要求1~7中任一项所述的感光性树脂组合物形成的固化树脂图案。9.如权利要求8所述的固化树脂图案，其中，固化树脂图案为间隔物。10.如权利要求8所述的固化树脂图案，其中，固化树脂图案为垂直取向型液晶显示元件用的突起。11.如权利要求8所述的固化树脂图案，其中，固化树脂图案为绝缘膜。12.如权利要求8所述的固化树脂图案，其中，固化树脂图案为防护涂层。13.含有固化树脂图案而成的彩色滤光片，其中，所述固化树脂图案选自使用权利要求1-7中任一项所述的感光性树脂组合物形成的间隔物、绝缘膜、防护涂层和液晶取向控制用的突起中的至少一种。全文摘要本发明提供感光性树脂组合物，其为含有粘合剂树脂(A)、重氮醌化合物(B)和溶剂(C)的感光性树脂组合物，其特征在于，粘合剂树脂(A)含有使将下述(A1)～(A3)共聚而获得的共聚物3进一步与(A4)反应而获得的共聚物；或使下述(A1)、(A2)和(A4)共聚而获得共聚物1，使获得的共聚物1与(A3)在共聚物1的(A4)由来的环氧基的部位反应而获得共聚物2，进而使获得的共聚物2和(A5)与通过共聚物1的(A4)和(A3)反应而生成的羟基的部位反应而获得的共聚物中的至少一种。文档编号G02B5/22GK101359175SQ20081013119公开日2009年2月4日申请日期2008年7月30日优先权日2007年8月1日发明者小山惠范申请人:住友化学株式会社