专利名称：固化膜的制造方法、感光性树脂组合物、固化膜、有机el显示装置和液晶显示装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及固化膜的制造方法、感光性树脂组合物、固化膜、有机EL(有机电致) 显示装置和液晶显示装置。
背景技术：
以往，在液晶显示元件、集成电路元件、固体摄像元件、有机EL等电子部件中，一 般在形成用于赋予电子部件表面的平坦性的平坦化膜、用于防止电子部件的劣化或损伤的 保护膜或用于保持绝缘性的层间绝缘膜时使用感光性树脂组合物。近年来随着显示装置的 大型化，要求具有能够通过狭缝涂布器进行涂布、制造的狭缝涂布适应性。此外，随着该大 型化，曝光变得很费时间，为了缩短曝光时间，要求具有高感度。专利文献1中公开了对混合有含羧基聚合物、重氮苯醌(QuinoneDiazide)化合 物、特定的鐺的感光性树脂组合物进行狭缝涂布。但是，在该组合物的情况下感度不充分。 作为高感度的层间绝缘膜用组合物，例如在专利文献2和3中公开了包含含有缩醛结构和 环氧基或交联性基团的树脂、产酸剂的化学放大型的感放射线性树脂组合物。现有技术文献专利文献专利文献1 日本特开2009-075329号公报专利文献2 日本特开2004-2M623号公报专利文献3 日本特开2009-098616号公报
发明内容
本发明者们进行研究之后，发现在对专利文献2和3的高感度的感光性树脂组合 物进行狭缝涂布时，其感度不稳定。并且判明了在通过狭缝涂布制作绝缘膜时，发生接触孔 的图案形成性能变得不充分的问题。这是在通过狭缝涂布使化学放大型的感光性树脂组合 物形成绝缘膜时的新课题。本发明所要解决的课题是提供能以高感度且稳定的感度制造且通过狭缝涂布来 制造接触孔的图案形成性能和ITO溅射适应性、耐热透明性优良的固化膜的制造方法、上 述制造方法中使用的感光性树脂组合物、由上述制造方法制造的固化膜、包含上述固化膜 的有机EL显示装置和液晶显示装置。本发明的上述课题通过下述<1> <12>中记载的手段来解决。<1> 一种固化膜的制造方法，其特征在于，按照如下顺序包含下述工序(1)使感 光性树脂组合物的温度达到10°c以下的低温处理工序、( 将上述感光性树脂组合物狭缝 涂布到基板上的涂布工序、( 从所涂布的上述感光性树脂组合物中除去溶剂的溶剂除去 工序、⑷对除去了溶剂的上述感光性树脂组合物利用活性光线进行曝光的曝光工序、(5) 在室温下经过45秒以上的工序、(6)利用水性显影液进行显影的显影工序、和(7)进行热固化的后烘烤工序；且上述感光性树脂组合物含有下述成分(成分A)至少含有(al)具有 酸基被酸分解性基团保护而成的残基的结构单元、(a2)具有交联基的结构单元、(a3)具有 羧基和/或酚性羟基的结构单元的共聚物、(成分B)光产酸剂、和(成分C)溶剂。<2>根据<1>所述的固化膜的制造方法，其中，上述结构单元(al)为具有羧基被缩 醛或缩酮保护而成的残基的结构单元。<3>根据<1>或<2>所述的固化膜的制造方法，其中，上述结构单元(al)由式(A2)
表不，
权利要求
1.一种固化膜的制造方法，其特征在于，按照如下顺序包含下述工序(1)使感光性树脂组合物的温度达到10°c以下的低温处理工序、(2)将所述感光性树脂组合物狭缝涂布到基板上的涂布工序、(3)从所涂布的所述感光性树脂组合物中除去溶剂的溶剂除去工序、(4)对除去了溶剂的所述感光性树脂组合物利用活性光线进行曝光的曝光工序、(5)在室温下经过45秒以上的工序、(6)利用水性显影液进行显影的显影工序、和(7)进行热固化的后烘烤工序；且所述感光性树脂组合物含有下述成分成分A 至少含有(al)具有酸基被酸分解性基团保护而成的残基的结构单元、(a2)具 有交联基的结构单元、(a3)具有羧基和/或酚性羟基的结构单元的共聚物、 成分B:光产酸剂、和 成分C:溶剂。
2.根据权利要求1所述的固化膜的制造方法，其中，所述结构单元(al)为具有羧基被 缩醛或缩酮保护而成的残基的结构单元。
3.根据权利要求1所述的固化膜的制造方法，其中，所述结构单元(al)由式(A2)表
4.根据权利要求1所述的固化膜的制造方法，其中，所述结构单元(a2)具有选自环氧 基、氧杂环丁烷基和烯键式不饱和基中的至少一种基团。
5.根据权利要求1所述的固化膜的制造方法，其中，所述结构单元(a2)具有脂环环氧 基和/或氧杂环丁烷基。
6.根据权利要求1所述的固化膜的制造方法，其中，所述成分B为具有肟磺酸酯残基的 化合物。
7.根据权利要求1所述的固化膜的制造方法，其中，所述成分B为式(0S-3)、式(0S-4) 或式(os-幻表示的化合物，
8.根据权利要求1所述的固化膜的制造方法，其中，所述感光性树脂组合物为化学放 大正型感光性树脂组合物。
9.一种感光性树脂组合物，其用于权利要求1 8中任一项所述的固化膜的制造方法。 -种固化膜，其是通过权利要求1 8中任一项所述的固化膜的制造方法制造得到的。
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全文摘要
本发明提供了能以高感度且稳定的感度制造且通过狭缝涂布来制造接触孔的图案形成性能和ITO溅射耐受性、耐热透明性优良的固化膜的制造方法。该固化膜的制造方法包含下述工序使感光性树脂组合物的温度达到10℃以下的工序、将感光性树脂组合物狭缝涂布到基板上的工序、从所涂布的感光性树脂组合物中除去溶剂的工序、将除去了溶剂的感光性树脂组合物利用活性光线进行曝光的工序、在室温下经过45秒以上的工序、利用水性显影液进行显影的工序、进行热固化的工序；感光性树脂组合物含有下述成分(成分A)含有具有酸基被酸分解性基团保护而成的残基的结构单元、具有交联基的结构单元、具有羧基和/或酚性羟基的结构单元的共聚物、(成分B)光产酸剂和(成分C)溶剂。
文档编号G03F7/039GK102141729SQ20111002337
公开日2011年8月3日 申请日期2011年1月20日 优先权日2010年1月20日
发明者安藤豪, 杉原幸一 申请人:富士胶片株式会社