专利名称：可动狭缝刀片的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种可调整光刻机组件，且特别涉及一种可动狭缝刀片。
背景技术：
扫描光刻机中，多个可动刀片形成可动狭缝，光刻机可以使用可动狭缝控制其扫描方向的视场位置与大小。光线被可动刀片挡住，从可动狭缝中透过。对于可动狭缝存在以下不可避免的问 题1、可动刀片长时间处于曝光状态下受热变形以至无法到达其机械要求；2、可动刀片的反射光进入光路对曝光过程产生干扰。然而这2个问题同时也是互相矛盾的，要减小可动刀口的热变形就需要提高其反射率而降低其对光能的吸收，但是过多的反射光进入光路就影响了曝光的剂量控制精度。目前业界对于解决以上问题还没有较好的方法。
发明内容
本发明提出一种可动狭缝刀片，能够解决上述问题。为了达到上述目的，本发明提出一种可动狭缝刀片，用于形成光刻机的曝光视场，沿入射光方向包括透光板，用以反射入射光；以及吸光片，用于吸收入射光；其中，在透光板和吸光片的侧面还包括反光棱镜，反光棱镜与透光板之间具有一间隔，将入射光反射入透光板和吸光片。进一步说，可动狭缝刀片还包括 弹性垫片，位于透光板和吸光片之间。进一步说，弹性垫片的材料为氟塑料。进一步说，反光棱镜镀有增反膜。进一步说，可动狭缝刀片还包括夹持装置，用于夹持透光板、吸光片和反光棱镜，夹持装置包括上夹具，位于透光板上方；下夹具，位于吸光片下方。进一步说，夹持装置的材料为铝。进一步说，夹持装置还包括定位装置，位于吸光片和反光棱镜之间。进一步说，夹持装置还包括横梁，位于间隙下方，用以挡住入射光。进一步说，透光板的材料为石英。进一步说，反光棱镜的材料为石英。本发明所提供的可动狭缝刀片，将吸光单元与反光元件分开设置，在可动狭缝周围的刀口部分(反光棱镜)将入射光反射出去，从而减少自身因受热的变形；在刀片中设置吸光片，最大限度地吸收入射光，不影响曝光精度，同时吸光片受热而造成的变形不会影响反光棱镜的位置。本发明的可动狭缝刀片保证了杂散光最小程度的进入曝光系统，提高了曝光剂量控制精度。同时，本发明的反光棱镜与其他部分分开设置，当反光棱镜由于曝光过度需要更换时，能够单独更换，从而提高了刀片的可维护性。
图I所示为本发明实施例中可动狭缝刀片的结构示意图。图2a所示为本发明实施例中可动狭缝刀片的俯视示意图。图2b所示为本发明实施例中可动狭缝刀片的正视剖面图。图2c所示为本发明实施例中可动狭缝刀片的左视剖面图。
具体实施方式
为了更了解本发明的技术内容，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。请参看图I。图I所示为本发明实施例中可动狭缝刀片的结构示意图。可动狭缝的一个刀片10的结构如图I所示，沿入射光方向设置有透光板2和吸光片3，另外，刀片10还包括反光棱镜1，位于透光板2和吸光片3的侧面，与透光板2之间具有间隔G。透光板2例如是石英板，用以传导入射光。为了增加透光板2的透光能力，透光板2上可以镀有增透膜。吸光片3例如是化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD)金刚石片，这种材料对紫外线有非常弱的反射率，其吸收通过透光板2而入射的入射光。反光棱镜I所反射的入射光进入透光板2和吸光片3中。反光棱镜I与透光板2之间具有间隔G，这种设置能够保证反光棱镜I所反射的光线能够耦合进入透光板2中，从而带走部分由反光棱镜I反射带来的杂散光。为了保证反光棱镜I最大限度地将入射光反射出去，反光棱镜I可以镀有增反膜
6。借助增反膜6，反光棱镜I将越多的入射光反射出去，就越能够避免自身受热变形。由于可动狭缝刀片具有以上的结构，反光棱镜I将入射光反射至透光板2和吸光片3，透光板2将其中的入射光全部反射，而吸光片3将吸收射入其中的入射光，以保证最少的光被反射进入曝光系统，导致影响曝光剂量精度。这样吸光片3势必会发生热变形，其在X轴方向上的热变形对掩膜面上的视场完全没有影响可以无视。在Y轴上的热变形由于棱镜I与吸光片3已经留有一定的间隔，故对吸光片3在Y轴方向的热变形也留了相当的余量。对于在Z轴上的热变形，由夹具8固定也不会对视场质量带来影响。可动狭缝刀片边缘为反光棱镜1，其可为石英棱镜，热膨胀系数为5. 3E-7，其反射入射光，故其热变形应该是很小的，所以两个可动狭缝刀片之间不会出现由于热变形而导致刀口关闭不严密出现漏光。同时，反光棱镜I与透光板2、吸光片3不是一体化设计，当反光棱镜I的增反膜6由于长期处于较高温度的曝光状态导致脱落或失效时，能方便更换，而不需要更换整个可动狭缝刀片，从而大大的降低了其维护时间。为了防止吸光板3由于吸收热量而造成的变形抵坏透光板2，可动狭缝刀片还可以包括弹性垫片5，设置于透光板2与吸光片3之间。当吸光板3发生形变，弹性垫片5吸收形变而防止透光板2损坏。弹性垫片5的材料可以是弹性系数较大的氟塑料。请同时参考图2a-图2c，图2a所示为本发明实施例中可动狭缝刀片的俯视示意图。图2b所示为本发明实施例中可动狭缝刀片的正视剖面图。图2c所示为本发明实施例中可动狭缝刀片的左视剖面图。可动狭缝刀片还包括夹持装置，用于夹持透光板2、吸光片3和反光棱镜I于其中。夹持装置包括上夹具11和下夹具12，上夹具11位于透光板2上方，下夹具12位于吸光片3下方。为了形成间隔G，夹持装置还包括定位装置7，位于吸光片3与反光棱镜I之间，固定反光棱镜I。为了挡住间隔G而可能造成的漏光，夹持装置还包括横梁13，位于间隙下方，用以 挡住漏过的入射光。夹持装置的材料可以为铝，特别是航空铝，其材质轻薄、耐热且热导系数高，当受热时，能够将热量尽快传出，而防止自身过热引起形变。本发明所提供的可动狭缝刀片，将吸光单元与反光元件分开设置，在可动狭缝周围的刀口部分(反光棱镜)将入射光反射出去，从而减少自身因受热的变形；在刀片中设置吸光片，最大限度地吸收入射光，不影响曝光精度，同时吸光片受热而造成的变形不会影响反光棱镜的位置。本发明的可动狭缝刀片保证了杂散光最小程度的进入曝光系统，提高了曝光剂量控制精度。同时，本发明的反光棱镜与其他部分分开设置，当反光棱镜由于曝光过度需要更换时，能够单独更换，从而提高了刀片的可维护性。虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明。本发明所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。
权利要求
1.一种可动狭缝刀片，用于形成光刻机的曝光视场，其特征是，沿入射光方向包括 透光板，用以传导入射光；以及 吸光片，用于吸收入射光； 其中，在所述透光板和所述吸光片的侧面还包括反光棱镜，所述反光棱镜与所述透光板之间具有一间隔，将所述入射光反射入所述透光板和所述吸光片。
2.根据权利要求I所述的可动狭缝刀片，其特征是，还包括 弹性垫片，位于所述透光片和所述吸光片之间。
3.根据权利要求2所述的可动狭缝刀片，其特征是，所述弹性垫片的材料为氟塑料。
4.根据权利要求I所述的可动狭缝刀片，其特征是，所述反光棱镜镀有增反膜。
5.根据权利要求I所述的可动狭缝刀片，其特征是，还包括夹持装置，用于夹持所述透光板、所述吸光片和所述反光棱镜，所述夹持装置包括 上夹具，位于所述透光板上方； 下夹具，位于所述吸光片下方。
6.根据权利要求5所述的可动狭缝刀片，其特征是，所述夹持装置的材料为铝。
7.根据权利要求5所述的可动狭缝刀片，其特征是，所述夹持装置还包括定位装置，位于所述吸光片和所述反光棱镜之间。
8.根据权利要求5所述的可动狭缝刀片，其特征是，所述夹持装置还包括横梁，位于所述间隙下方，用以挡住所述入射光。
9.根据权利要求I所述的可动狭缝刀片，其特征是，所述透光板的材料为石英。
10.根据权利要求I所述的可动狭缝刀片，其特征是，所述反光棱镜的材料为石英。
全文摘要
本发明提出一种可动狭缝刀片，用于形成光刻机的曝光视场。可动狭缝刀片沿入射光方向包括透光板和吸光片。透光板用以传导入射光。吸光片用于吸收入射光。其中，在透光板和吸光片的侧面还包括反光棱镜，反光棱镜与透光板之间具有一间隔，将入射光反射入透光板和吸光片。本发明所提供的可动狭缝刀片，位置精确可调，不影响曝光精度，具有较高的可维护性。
文档编号G02B7/00GK102736420SQ20111008120
公开日2012年10月17日 申请日期2011年3月31日 优先权日2011年3月31日
发明者曹昌智 申请人:上海微电子装备有限公司