专利名称：一种新型光阻缓冲罐的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种光阻供应设备，特别涉及一种新型光阻缓冲罐。
背景技术：
在晶片生产过程中，使用光阻是必不可少的工艺。现有的光阻L/E缓冲罐在换光阻排气泡的过程中，由于光阻CP值偏小会经常把一些微气泡(Micro Bubble)冲入输出(OUT)管路里，这样会使光中的微气泡顺着管路到达喷嘴(Nozzle)，喷在产品上，严重影响
产品质量。图I所示为现在机台上普遍使用的光阻L/E缓冲罐，其中A/B/C分别代表光阻的输入/排出/输出(即IN/DRAIN/0UT)管路，当CP值偏小的光阻在做L/E排出(L/E Vent) 动作时，光阻会从A管迅速冲出来，在此过程中形成的微气泡就会冲到C管里，日积月累就会形成使C管靠近罐体G的那一段管子形成空管，这样会造成光阻喷在产品上的状况不佳，甚至会有气泡，严重影响产品质量。
发明内容
本发明的目的在于提供一种新型缓冲罐，其能够防止在换光阻排气泡的过程中微气泡冲入输出管路。为达到上述目的，本发明采用如下技术方案一种新型光阻缓冲罐，包括罐体、输入管路、输出管路和排出管路，所述输入管路和输出管路连接在所述罐体的下端面上，所述排出管路连接在所述罐体的上端面上。作为对上述技术方案的优化，所述输入管路的端部伸入所述罐体内部一段距离。作为对上述技术方案的优化，所述输入管路的端部伸入至所述罐体内部的中间区域。本发明的新型光阻缓冲罐的输入管路连接在罐体的下端面上，当CP值偏小的光阻做L/E排出动作时，光阻从输入管路冲出不会产生向下的冲击力，避免将此过程中形成微气泡冲到输出管路里，从而本发明能够防止在换光阻排气泡的过程中微气泡冲入输出管路，避免微气泡喷在广品上，提闻广品质量。
图I是现有技术中的机台普遍使用的光阻L/E缓冲罐的结构示意图。图2是本发明的新型光阻缓冲罐的结构示意图。
具体实施例方式为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
图2所示为本发明的新型光阻缓冲罐，其包括罐体G、输入管路D、输出管路E和排出管路F，输入管路D和输出管路E连接在罐体G的下端面上，排出管路F连接在罐体G的上端面上。本发明的新型光阻缓冲罐的输入管路D连接在罐体的下端面上，当CP值偏小的光阻做L/E排出动作时，光阻从输入管路D冲出不会产生向下的冲击力，避免将此过程中形成微气泡冲到输出管路E里。从而本发明能够防止在换光阻排气泡的过程中微气泡冲入输出管路E，避免微气泡喷在产品上，提高产品质量。为了能够更有效地防止在换光阻排气泡的过程中微气泡冲入输出管路E，本发明的新型光阻缓冲罐的输入管路D的端部还可以伸入罐体G内部一段距离，如图2所示。这样，光阻通过输入管路D向缓冲罐补充光阻的过程中，输入管路D空掉的部分气体不会溶入到输入管路E的管口部分的光阻里，也就不会使在此过程中形成的微气泡冲到输入管路E里，从而能更有效地防止输入管路E形成空管。本发明优选将新型光阻缓冲罐输入管路D的端部伸入至罐体G内部的中间区域，·如图2所示，输入管路D在罐体G内部向上超出罐体G的一半的高度。以上所述仅为本发明的较佳实施例，并非用来限定本发明的实施范围；如果不脱离本发明的精神和范围，对本发明进行修改或者等同替换，均应涵盖在本发明权利要求的保护范围当中。
权利要求
1.一种新型光阻缓冲罐，其特征在于，包括时基集成电路，所述时基集成电路的I脚和3脚分别通过第一电阻和第二电阻与2脚相连，所述时基集成电路的3脚与5脚通过第一电容相连，在时基集成电路的6脚或7脚串联灯，并且时基集成电路的6脚和7脚形成插头； 其中，所述时基集成电路由555时基电路和固态继电器组成，所述555时基电路的3脚与所述固态继电器中的单向可控娃连接，以控制单向可控娃的导通和截止，所述555时基电路的8脚与固态继电器中的桥式整流器相连，所述555时基电路的8、7、6、2脚形成所述时基集成电路的1、2、3、4脚；所述555时基电路的1、5脚与单向可控硅以及桥式整流器相连形成所述时基集成电路的5脚；固态继电器的输出端分别为所述时基集成电路的6脚和7脚。
2.根据权利要求I所述的新型光阻缓冲罐，其特征在于，所述第二电阻为可变电阻，其滑动端与所述时基集成电路的4脚连接。
3.根据权利要求I所述的新型光阻缓冲罐，其特征在于，所述555时基电路的8脚与桥式整流器通过第三电阻相连。
4.根据权利要求I所述的新型光阻缓冲罐，其特征在于，在所述555时基电路的5脚与所述时基集成电路的5脚之间串联有第二电容。
5.根据权利要求I所述的新型光阻缓冲罐，其特征在于，在所述时基集成电路的I脚和5脚之间串联有二极管和第三电容，所述555时基电路的4脚连接在二极管和第三电容之间。
6.根据权利要求I所述的新型光阻缓冲罐，其特征在于，在所述时基集成电路的I脚和5脚之间连接有并联的整流二极管和第四电容。
7.根据权利要求I所述的新型光阻缓冲罐，其特征在于，在所述555时基电路的3脚与所述时基集成电路的5脚之间串联有第五电容。
8.根据权利要求I所述的新型光阻缓冲罐，其特征在于，在所述双向可控硅与时基集成电路的7脚之间串联有第四电阻。
9.根据权利要求I所述的时基集成电路，其特征在于，在所述时基集成电路的6脚和7脚之间串联有第五电阻和第六电容。
全文摘要
本发明公开了一种新型光阻缓冲罐，包括罐体、输入管路、输出管路和排出管路，输入管路和输出管路连接在罐体的下端面上，排出管路连接在罐体的上端面上。本发明的新型光阻缓冲罐的输入管路连接在罐体的下端面上，当CP值偏小的光阻做L/E排出动作时，光阻从输入管路冲出不会产生向下的冲击力，避免将此过程中形成微气泡冲到输出管路里。从而本发明能够防止在换光阻排气泡的过程中微气泡冲入输出管路。
文档编号G03F7/16GK102955362SQ20111024258
公开日2013年3月6日 申请日期2011年8月23日 优先权日2011年8月23日
发明者胡清强, 王波, 陈晓琪, 鲁旭光 申请人:和舰科技(苏州)有限公司