专利名称：射线敏感性树脂组合物、显示元件用固化膜、显示元件用固化膜的形成方法以及显示元件的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种射线敏感性组合物、显示元件用固化膜、显示元件用固化膜的形成方法以及显示元件。
背景技术：
作为形成层间绝缘膜、隔片、保护膜等显示元件用固化膜的材料，广泛使用射线敏感性树脂组合物。作为该射线敏感性树脂组合物，例如，已知含有由不饱和羧酸、含环氧基的不饱和化合物等所形成的共聚物的组合物(参见日本特开2001-354822号公报)。在使用这种组合物，形成例如显示元件用的隔片时，为了将隔片的表面硬度提高至商业上所要求的水平，需要进行在高温下的焙烧工序。另一方面，如今电子纸等挠性显示器正在普及。作为该挠性显示器的基板，正在研究聚对苯二甲酸乙二醇酯等塑料基板。由于该塑料基板因加热而拉伸或收缩，导致其存在有阻碍作为显示器功能的缺陷，因此在塑料基板上形成固化膜时的焙烧工序中，需要低温化。鉴于上述情况，已经开发了即使低温焙烧，也含有能够固化的聚酰亚胺前体的挠性显示器用的栅极绝缘膜用涂布液的技术(参见日本特开2009-4394号公报)。但是，由于该涂布液不具有通过曝光显影而形成图案的能力，因此无法形成微细的图案。进一步，由于固化反应未充分进行，因此所得固化膜的耐热性、耐试剂性、固化性和透光性，以及具备该固化膜的显示元件的电压保持率等都未达到充分满足的水平。因此，考虑了通过添加用作环氧类材料的固化剂的胺化合物，从而即使在低温下也可以进行交联反应的对策。但是，添加一般的胺化合物，导致其和组合物中存在的环氧基随时间推移发生反应，因而保存稳定性下降。从这种状况考虑，人们希望开发一种即使低温焙烧也具有充分分辨率的射线敏感性树脂组合物，以及作为显示元件用固化膜所要求特性的耐热性、耐试剂性、透光性、固化性等优良的显示元件用固化膜。现有技术专利文献专利文献I :日本特开2001-354822号公报专利文献2 :日本特开2009-4394号公报
发明内容
本发明是基于上述情况而作出的，其目的是提供一种即使低温焙烧也具有充分分辨率的射线敏感性树脂组合物，耐热性、耐试剂性、透光性和固化性优良的显示元件用固化膜，以及电压保持率优良的显示元件。为了解决上述问题，本发明是一种射线敏感性树脂组合物，其含有
[A]含有0. I摩尔％ 35摩尔％ (al)下述式(I)所表示的结构单元(以下，也称为“(al)结构单元”)的共聚物(以下，也称为“[A]共聚物”)、[B]具有乙烯性不饱和键的聚合性化合物(以下，也称为“ [B]聚合性化合物”)， 和[C]射线敏感性聚合引发剂(以下，也称为“[C]聚合引发剂”)。
权利要求
1.一种射线敏感性树脂组合物，其含有[A]含有0.I摩尔％ 35摩尔％ (al)下述式(I)所表示的结构单元的共聚物、[B]具有乙烯性不饱和键的聚合性化合物，和[C]射线敏感性聚合引发剂，
2.如权利要求I所述的射线敏感性树脂组合物，其中[A]共聚物是进一步含有(a2)具有羧基的结构单元和(a3)具有环氧基的结构单元的共聚物。
3.如权利要求I所述的射线敏感性树脂组合物，其中[A]共聚物中(al)结构单元、 (a2)结构单元和(a3)结构单元的含有比例分别为15摩尔％ 33摩尔％。
4.如权利要求I、权利要求2或权利要求3所述的射线敏感性树脂组合物，其用于形成作为层间绝缘膜、保护膜或隔片的显示元件用固化膜。
5.一种显示元件用固化膜的形成方法，具有(1)在基板上形成如权利要求4所述的射线敏感性树脂组合物的涂膜的工序、(2)对上述涂膜的至少一部分照射射线的工序、(3)将上述照射了射线的涂膜显影的工序，以及(4)对上述显影的涂膜进行焙烧的工序。
6.如权利要求5所述的显示元件用固化膜的形成方法，其中上述工序(4)的焙烧温度为200°C以下。
7.由权利要求4所述的射线敏感性树脂组合物所形成的作为层间绝缘膜、保护膜或隔片的显示元件用固化膜。
8.具备如权利要求7所述的显示元件用固化膜的显示元件。
全文摘要
本发明涉及一种射线敏感性组合物、显示元件用固化膜、显示元件用固化膜的形成方法以及显示元件，其目的是提供一种即使低温焙烧也具有充分分辨率的射线敏感性树脂组合物，耐热性、耐试剂性、透光性和固化性优良的显示元件用固化膜，以及电压保持率优良的显示元件。本发明是一种射线敏感性树脂组合物，其含有[A]含有0.1摩尔％～35摩尔％(a1)下述式(1)所表示的结构单元的共聚物、[B]具有乙烯性不饱和键的聚合性化合物，和[C]射线敏感性聚合引发剂。
文档编号G03F7/027GK102540720SQ201110394180
公开日2012年7月4日 申请日期2011年11月29日 优先权日2010年11月30日
发明者儿玉诚一郎, 松本仁成, 米田英司, 西信弘 申请人:Jsr株式会社