专利名称：基板检测装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种检测OLED (Organic Light Emitting Diode,有机 LED)或 LCD 用基板(以下，称“基板”)的质量状态的装置，尤其涉及通过组合分析由具有互不相同的聚焦角度的多个照相机拍摄的图像信息而精密地检测基板的表面以及边缘部分发生的诸如破裂或破碎等破损状态的基板检测装置。
背景技术：
薄膜晶体管液晶显示装置主要由形成薄膜晶体管的下部基板、形成彩色滤光片的上部基板以及注入在下部基板与上部基板之间的液晶构成，制造上述液晶显示装置的工艺可以分为三个部分，即薄膜晶体管(TET)工艺、单元工艺、模块工艺。所述TET工艺与半导体制造工艺非常相似,是反复进行沉积工艺(deposition)以及光刻工艺(Photolithography)、蚀刻工艺(Etching)而在基板上排列薄膜晶体管，由此进行制造的工艺。所述单元工艺在形成有TET的下部基板和形成有彩色滤光片(Color filter)的上部基板上形成配向膜，在配向膜上进行定向以使液晶分子能够整齐地排列，然后撒布间隔物(spacer)，印刷密封料(Seal)，进行粘结。粘结之后，利用毛细管现象，将液晶注入于内部，密封注入口，由此完成液晶显示装置的制造工艺。所述模块工艺是最终决定向用户提供的产品的质量的步骤，在完成的面板上粘接偏光板，安装驱动集成电路(Driver-1C),然后装配印刷电路板(Printed Circuit Board,PCB)，最终装配背光单元(Backlight unit)和结构物，由此完成液晶模块。另外，OLED是在上部基板和下部基板玻璃之间的各单元中沉积有机物质而制造的LED，这种OLED具有可用低电压驱动，可制造成薄平板的优点，并且视角宽、响应速率快，因此不同于普通LCD (Liquid Crystal Display,液晶显示器)，在一旁观察时,画质也不会改变，画面上不会残留影像。并且，在小型画面中，由于OLED具有比IXD更好的画质，且制造工艺简单，因此OLED在价格竞争力上更有优势。对于这种OLED而言，彩色显示方式包括三色(红色、绿色、蓝色)独立像素方式、色变换方式(CCM)、彩色滤光方式，并且根据用在显示器上的发光材料分为低分子OLED和高分子0LED,而根据驱动方式分为被动驱动方式(passive matrix,被动矩阵)和主动驱动方式(active matrix,有源矩阵)。并且,OLED与IXD、PDP (Plasma Display Panel,等离子显示板)相比，不仅结构简单，厚度薄，而且还具有可弯曲的性质，因此为软式显示器(Flexible display)市场注入新的生机。此时，用于制造上述IXD或OLED的设备，由清洗室、负荷固定室(load lockchamber)、输送室以及工艺室等构成，向所述工艺室投入基板之前，需要检测所述基板的表面以及边缘部分是否发生诸如破裂或破碎等破损，为了进行这种检测，提供照明部和照相机(camera)。然而，在以往，如图1所示，当用于检测基板I的表面以及边缘部分的质量状态的照相机2的聚焦方向与在基板I的表面或边缘上形成的破裂部分(或破损部分)A位于相同的垂直线上时，存在发生不能从由照相机2拍摄的图像信息发现破裂部分A的错误检测的问题。S卩，在基板I的表面或边缘部分存在破裂或破损等问题的状态下，如附图2所示，如果破裂或破损部分Al与照相机2不在相同的垂直线上，而形成偏斜的角度，则当照射照明部3的光源时，光源会发生反射或散射而向与原来的照射方向不同的其他方向扩散，因此当用照相机拍摄被光照射的破裂或破损部分Al时，基于该拍摄的图像信息会呈现黑暗的部分(图2的BI部分)，但是如附图1所示，如果破裂部分A与照相机2位于相同的垂直线上，则光会透射所述破裂部分A，因此在针对破裂部分的图像信息中不会出现表示破裂的黑暗的部分(图1的B部分)，据此判断为基板I没有发生破裂，从而会发生检测错误。
发明内容
本发明是为了解决上述的现有问题而提出的，其目的在于提供一种基板检测装置，该基板检测装置对于基板的表面以及边缘部分，通过构成具有互不相同的聚焦角度的多个照相机之后组合分析由多个照相机拍摄的图像信息。据此，能够精密地检测基板的表面以及边缘部分上的诸如破裂或破碎等破损状态，据此在向工艺室投入基板之前，事先确认基板的质量状态，由此能够防止工艺中基板发生破损。为了实现上述目的的本发明的基板检测装置，包括:拍摄部件、照明部、以及控制单元，用以通过图像信息分析来检测投入的基板的表面以及边缘部分是否存在破裂或破损。其中，所述照明部布置在所述基板的上侧或下侧，所述拍摄部件包括具有互不相同布置角度的第一照相机、第二照相机，用以从互不相同的聚焦方向根据从所述照明部提供的光源分别拍摄基板的表面和/或缘边部分。并且，所述第一照相机相对于所述基板垂直布置(90° )，所述第二照相机以所述第一照相机11的垂直布置线(垂直线)为中心布置在45° 135°的布置角度范围内。并且，一个以上的相对于所述基板垂直布置的所述第一照相机间隔一定距离而并排排列，所述第二照相机以与所述第一照相机对应的数量并排排列而构成。并且，所述第一照相机、所述第二照相机由行扫描照相机或区域照相机构成。并且，所述控制单元安装有基于由所述第一照相机、所述第二照相机拍摄的图像信息而检测基板的表面和/或边缘部分是否存在破裂或破损的检测程序。所述检测程序组合由所述第一照相机拍摄的图像信息和由所述第二照相机拍摄的图像信息，根据所述组合的图像信息，分别比较与所述第一照相机位于相同的垂直线上的存在于基板上的破裂和破损部分的亮度值及其周围的亮度值，当所述比较的亮度值出现差异时，判断为在所述基板上存在破裂或破损。如上所述，本发明构成基板检测装置，该基板检测装置对于基板的表面以及边缘部分，通过构成具有互不相同的聚焦角度的多个照相机之后组合分析由多个照相机拍摄的图像信息。据此可以期待以下效果，即能够精密地检测基板的表面以及边缘部分上的诸如破裂或破碎等破损状态，同时在向工艺室投入基板之前，事先确认基板的质量状态，由此能够防止工艺中基板发生破损。
图1为在基板的表面和/或边缘部分上发生的破裂或破损部分与照相机位于相同的垂直线上的现有的基板检测装置的主要构成图。图2为在基板的表面和/或边缘部分上发生的破裂或破损部分与照相机不在相同的垂直线上的现有的基板检测装置的主要构成图。图3A和图3B为作为本发明的实施例而示出在基板的上侧设置具有互不相同的聚焦方向的第一、二照相机且在基板的下侧设置照明部的状态的基板检测装置的主要构成图。图4A和图4B为作为本发明的实施例而示出在基板的下侧设置具有互不相同的聚焦方向的第一、二照相机且在基板的上侧设置照明部的状态的基板检测装置的主要构成图。图5为作为本发明的实施例而示出基板检测装置的主要模块构成图。主要符号说明:10为拍摄部件，11为第一照相机，12为第二照相机，20为照明部，30为控制单元，100为基板。
具体实施例方式以下，参照
本发明的实施例。图3A和图3B为作为本发明的实施例而示出在基板的上侧设置具有互不相同的聚焦方向的第一、二照相机且在基板的下侧设置照明部的状态的基板检测装置的主要构成图，图4A和图4B为作为本发明的实施例而示出在基板的下侧设置具有互不相同的聚焦方向的第一、二照相机且在基板的上侧设置照明部的状态的基板检测装置的主要构成图，图5为作为本发明的实施例而示出基板检测装置的主要模块构成图。参照附图3至附图5，根据本发明的实施例的基板检测装置包括:拍摄部件10、照明部20以及控制单元30，用以通过图像信息分析来检测投入的基板100的表面以及边缘部分是否存在破裂或破损，其中，所述照明部20布置在所述基板100的上侧或下侧，所述拍摄部件10包括具有互不相同布置角度的第一照相机11、第二照相机12,用以从互不相同的聚焦方向根据从所述照明部20提供的光源分别拍摄基板的表面和/或缘边部分。此时，所述第一照相机11相对于所述基板100垂直布置(90° )，所述第二照相机12以所述第一照相机11的垂直布置线(垂直线)为中心布置在45° 135°的布置角度范围内，并且所述第一照相机11、第二照相机12以所述基板100为中心布置在与所述照明部20的相反侧。并且，一个以上的相对于所述基板100垂直布置的所述第一照相机11间隔一定距离而并排排列，所述第二照相机12以与所述第一照相机11对应的数量并排排列而构成，据此所述第一照相机11、第二照相机12由行扫描照相机或区域照相机(area camela)构成，从而当所述基板100进行通过基板检测装置的移动时，可以连续拍摄所述基板100的整个表面以及边缘部分。另外，所述控制单元30安装有基于由所述第一照相机11、第二照相机12拍摄的图像信息而检测基板100的表面和/或边缘部分是否存在破裂或破损的检测程序。所述检测程序组合由所述第一照相机11拍摄的图像信息和由所述第二照相机12拍摄的图像信息，根据所述组合的图像信息，分别比较与第一照相机11位于相同的垂直线上的存在于基板100上的破裂和破损部分的亮度值以及其周围的亮度值，当所述比较的亮度值出现差异时，判断为在所述100上存在破裂或破损。S卩，如附图3至附图5所示，对于根据本发明的实施例的基板检测装置而言，当向基板检测装置投入基板100时，首先控制单元30启动照明部20和拍摄部件10所包括的所述第一照相机11、第二照相机12。如果完成上述动作，则如附图3及附图4所示，照明部20向基板100的下面或上面的表面和边缘部分照射光源。此时，相对于所述基板100垂直布置(90° )的第一照相机11维持垂直地朝向所述基板100的表面和边缘的聚焦方向，同时拍摄所述基板100的表面和边缘部分，然后将其图像信息传送到控制单元30。并且，以所述第一照相机11的垂直布置线(垂直线)为中心布置在45° 135°的布置角度范围内的第二照相机12维持在45° 135°的布置角度范围内朝向所述基板100的表面和边缘部分的聚焦方向，同时拍摄所述基板100的表面和边缘部分，然后将其图像信息传送到控制单元30。如果完成上述动作，则所述控制单元30的检测程序组合由所述第一照相机11拍摄的图像信息和由所述第二照相机12拍摄的图像信息，然后根据所述组合的图像信息，当假设在基板100上存在与第一照相机11位于相同的垂直线上的破裂和破损部分(图3A、3B、4A、4B的P部分)时，分别比较所述破裂和破损部分的亮度值以及其周围的亮度值，然后当所述比较的亮度值出现差异时，可以判断为在所述基板100上存在破裂或破损。S卩，如果在所述基板100上存在与所述第一照相机11位于相同的垂直线上的破裂或破损部分P，则虽然所述破裂或破损部分P无法从由所述第一照相机11拍摄的图像信息检测出来，但是在由布置在与所述第一照相机11形成45° 135°的布置角度范围内的第二照相机12拍摄的图像信息上，因光源的折射或散射现象而导致破裂或破损部分的亮度较暗(图3A、3B、4A、4B的Q部分)。所述控制单元30的检测程序基于由所述第二照相机12拍摄的图像信息，比较所述破裂和破损部分的亮度值以及其周围的亮度值，根据所述比较结果，当亮度值出现差异时，可检测出在所述基板100上存在破裂或破损。虽然在以上说明中，参照附图叙述本发明的基板检测装置的技术思想，但是这仅仅是举例说明本发明的最为优选的实施例，并不是对本发明进行限定。因此，本发明不限于上述的特定的优选实施例，在不脱离权利要求书中要求保护的本发明的主旨的范围内，只要是本发明所属技术领域的具有普通知识的技术人员，均可以进行各种变形实施，并且这种变更应当包含于权利要求书记载的范围内。
权利要求
1.一种基板检测装置，其特征在于，该基板检测装置包括:拍摄部件、照明部以及控制单元，用以通过图像信息分析来检测投入的基板的表面和/或边缘部分是否存在破裂或破损，其中， 所述照明部布置在所述基板的上侧或下侧， 所述拍摄部件包括具有互不相同布置角度的第一照相机、第二照相机，用以从互不相同的聚焦方向根据从所述照明部提供的光源分别拍摄基板的表面和/或缘边部分。
2.如权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述第一照相机相对于所述基板垂直布置， 所述第二照相机布置在相对所述第一照相机的垂直布置线朝两侧倾斜45°的布置角度范围内。
3.如权利要求2所述的基板检测装置，其特征在于，一个以上的相对于所述基板垂直布置的所述第一照相机间隔一定距离而并排排列， 所述第二照相机以与所述第一照相机对应的数量并排排列而构成。
4.如权利要求3所述的基板检测装置，其特征在于，所述第一照相机、所述第二照相机由行扫描照相机或区域照相机构成。
5.如权利要求3所述的基板检测装置，其特征在于，所述控制单元组合由所述第一照相机拍摄的图像信息和由所述第二照相机拍摄的图像信息，根据组合的图像信息，分别比较与所述第一照相机位于相同的垂直线上的存在于基板上的破裂或破损部分的亮度值及其周围的亮度值，当比较的亮度值出现差异时，判断为在所述基板上存在破裂或破损。
全文摘要
本发明公开一种基板检测装置，这种本发明构成基板检测装置，该基板检测装置对于基板的表面以及边缘部分，构成具有互不相同的聚焦角度的多个照相机之后组合分析由多个照相机拍摄的图像信息。据此，能够精密地检测基板的表面以及边缘部分上的诸如破裂或破碎等破损状态，同时在向工艺室投入基板之前，事先确认基板的质量状态，由此能够防止工艺中基板发生破损。
文档编号G02F1/13GK103105401SQ20111046157
公开日2013年5月15日 申请日期2011年12月29日 优先权日2011年11月10日
发明者李淳钟, 禹奉周, 朴炳澯 申请人:塞米西斯科株式会社