专利名称:基板输送机构以及偏振膜的贴合装置中的翻转机构的制作方法
技术领域:
本发明涉及一种基板输送机构以及偏振膜的贴合装置中的翻转机构。
背景技术:
向来,液晶显示装置被广泛地制造。为了控制光的透过或者截断,通常在液晶显示装置所使用的基板(液晶面板)上贴合有偏振膜。偏振膜被贴合成其吸收轴相互正交。作为在基板上贴合偏振膜的方法,举例有在将偏振膜切割为与基板对应的尺寸之后再将其贴合于基板上的所谓的chip to panel方式。但是,这样的方式是将偏振膜一片片地贴合于基板上,因此具有生产效率低这样的缺点。另一个方面,作为其他的方式,还举例有将偏振膜提供给传送辊并连续地将偏振膜贴合在基板上的所谓的roll to panel方式。采用该方法,能够以较高的生产效率来进行贴合。 作为roll to panel方式的实例,在专利文献I中公开了光学显示装置的制造系统。所述制造系统是在基板的上表面贴合了光学膜(偏振膜)之后使基板旋转,从下方贴合偏振膜。现有技术文献专利文献专利文献I :日本专利第4307510号公报(2009年8月5日发行)
发明内容
发明要解决的课题但是,所述现有的装置具有以下的问题。首先,在将偏振膜贴合于基板的情况下,为了避免灰尘等异物混入贴合面,通常在无尘室中进行操作。并且,采用无尘室的话,要进行空气的整流。这是因为,为了抑制异物所导致的成品率的下降,需要在以向下流动实施了整流的状态下相对于基板进行偏振膜的贴合。关于这一点,专利文献I的制造系统构成为,相对于基板从上方以及下方贴合偏振膜。但是,在从上方进行偏振膜的贴合的情况下,存在例如气流(向下流动)受到偏振膜的妨碍,对基板的整流环境恶化这样的缺点。作为从上方进行偏振膜的贴合的情况的实例,图9的(a)以及图9的(b)中示出上贴型的制造系统的气流的速度矢量。图9中的区域A是设置有对偏振膜放卷的放卷部等的区域,区域B主要是偏振膜通过的区域,以及区域C是设置有将从偏振膜去除的剥离膜卷取的卷取部等的区域。又,从HEPA (高效微粒空气)过滤器40提供清洁的空气。另外,在图9的(a)中,由于设置有清洁的空气能够通过的栅格41,气流能够通过栅格41向垂直方向移动。另一方面,在图9的(b)中,由于没有设置栅格41,所以气流在与图9的(b)最下部的底板接触之后,沿着底板移动。在图9的(a)、图9的(b)中,区域A C被配置在2F (2层)部分,来自HEPA过滤器40的清洁的空气会受到偏振膜的妨碍。因此,难以生成通过2F部分的向着基板的垂直方向的气流。相对于此,水平方向的气流矢量变为大的(矢量的密度为浓)状态。即,可以说是整流环境恶化了的状态。本发明正是鉴于所述现有的问题点而作出的,并且基于如下的第一技术思想而作出,该第一技术思想为,在具有以长方形的基板的长边或者短边沿着输送方向的状态输送基板的第I基板输送机构、和以所述基板的短边或者长边沿着输送方向的状态输送所述基板的第2基板输送机构的基板输送机构中的翻转机构中,通过基板翻转部的翻转动作,使被所述第I基板输送机构输送来的所述基板翻转,并变更配置以将所述基板配置到第2基板输送机构上,其目的在于,提供一种不会妨碍整流环境的偏振膜的贴合装置以及具有该贴合装置的液晶显示装置的制造系统。而且,本发明基于如下的第二技术思想而作出,该第二技术思想为,在具有以长方形的基板的长边或者短边沿着输送方向的状态输送基板的第I基板输送机构、和以所述基板的短边或者长边沿着输送方向的状态输送所述基板的第2基板输送机构的基板输送机 构中的翻转机构中,通过基于驱动装置的旋转驱动的、绕着相对于所述基板的输送方向以一定的倾斜度配置的翻转轴旋转的基板翻转部的翻转动作,使被所述第I基板输送机构输送来的所述基板翻转,并变更配置以将所述基板配置到第2基板输送机构上,其目的在于,通过所述基板翻转部的一个翻转动作就能够使所述基板翻转,且能够改变沿着所述基板的输送方向的短边或者长边的方向,并能够缩短节拍时间。解决课题的手段技术方案I所记载的本发明(第I发明)的基板输送机构中的翻转机构为,该基板输送机构具有以长方形的基板的长边或者短边沿着输送方向的状态输送基板的第I基板输送机构、和以所述基板的短边或者长边沿着输送方向的状态输送所述基板的第2基板输送机构,在所述基板输送机构中具有翻转机构,所述翻转机构构成为,通过基板翻转部的翻转动作,使被所述第I基板输送机构输送来的所述基板翻转,并变更配置以将所述基板配置到第2基板输送机构上。技术方案2所记载的本发明(第2发明)的基板输送机构中的翻转机构为,在所述第I发明中,所述翻转机构具有基板翻转部,所述基板翻转部通过驱动装置的旋转驱动,绕着相对于所述基板的输送方向以一定的倾斜度配置的翻转轴旋转而进行翻转动作。技术方案3所记载的本发明(第3发明)的基板输送机构中的翻转机构为,在所述第2发明中,所述翻转轴的所述倾斜度为45°。技术方案4所记载的本发明(第4发明)的基板输送机构中的翻转机构为,在所述第3发明中,所述基板翻转部的一端相对于所述翻转轴以45°倾斜度配置。技术方案5所记载的本发明(第5发明)的基板输送机构中的翻转机构为,在所述第I发明至第4发明的任一项中,
所述翻转机构的所述翻转轴、被所述第I基板输送机构输送来的所述基板、以及通过所述基板翻转部翻转而配置在所述第2基板输送机构上的所述基板被配置于同一平面。技术方案6所记载的本发明(第6发明)的基板输送机构中的翻转机构为,在第I发明至第5发明的任一项中,所述翻转机构具有能够对所述翻转轴的升降、倾斜度以及位置进行调整的单元。技术方案7所记载的本发明(第7发明)的基板输送机构中的翻转机构为,在所述第I发明至第6发明的任一项中,在所述第I基板输送机构的两侧具有两个翻转机构,在所述第I基板输送机构的 两侧配置有两个基板载置部,通过所述第I基板输送机构输送来的所述基板被交替输送至所述两个基板载置部,被输送至所述两个基板载置部的所述基板通过所述两个翻转机构被交替翻转,且其配置被变更而配置在所述第2基板输送机构上。技术方案8所记载的本发明(第8发明)的偏振膜的贴合装置中的翻转机构为,该偏振膜的贴合装置包括第I基板输送机构,所述第I基板输送机构以长方形的基板的长边或者短边沿着输送方向的状态输送基板;第I贴合部,所述第I贴合部将偏振膜贴合在位于所述第I基板输送机构上的所述基板的下表面;第2基板输送机构,所述第2基板输送机构以所述基板的短边或者长边沿着输送方向的状态输送所述基板;和第2贴合部,所述第2贴合部将偏振膜贴合在位于所述第2基板输送机构上的所述基板的下表面,在所述偏振膜的贴合装置中具有翻转机构,所述翻转机构构成为,通过基板翻转部的翻转动作,使被所述第I基板输送机构输送来的所述基板翻转,并变更配置以将所述基板配置到所述第2基板输送机构上。技术方案9所记载的本发明(第9发明)的偏振膜的贴合装置中的翻转机构为,该偏振膜的贴合装置包括第I基板输送机构,所述第I基板输送机构以长方形的基板的长边或者短边沿着输送方向的状态输送基板;第I贴合部,所述第I贴合部将偏振膜贴合在位于所述第I基板输送机构上的所述基板的下表面;第2基板输送机构,所述第2基板输送机构以所述基板的短边或者长边沿着输送方向的状态输送所述基板;第2贴合部,所述第2贴合部将偏振膜贴合在位于所述第2基板输送机构上的所述基板的下表面;和保持机构,所述保持机构具有保持被所述第I基板输送机构输送来的所述基板的保持部,将所述保持部控制为保持状态或者保持被解除的状态,在所述偏振膜的贴合装置中具有翻转机构,所述翻转机构构成为,通过基于驱动装置的旋转驱动的、一端与所述保持机构的所述保持部连接的基板翻转部的翻转动作,使被所述第I基板输送机构输送来并被所述保持部保持的所述基板翻转,并变更配置以将所述基板配置到所述第2基板输送机构上。技术方案10所记载的本发明(第10发明)的偏振膜的贴合装置中的翻转机构为,在第8发明或者第9发明中,所述翻转轴的所述倾斜度为45°。技术方案11所记载的本发 明(第11发明)的偏振膜的贴合装置中的翻转机构为,在第10发明中,所述基板翻转部的一端相对于所述翻转轴以45°倾斜度配置。技术方案12所记载的本发明(第12发明)的偏振膜的贴合装置中的翻转机构为,在第11发明中,所述翻转轴位于与所述基板垂直的平面内,在该平面内含有以通过位于第I基板输送机构上的基板的中心且与所述基板的输送方向垂直的直线为基准具有45°倾斜度的直线。技术方案13所记载的本发明(第13发明)的偏振膜的贴合装置中的翻转机构为,在第8发明至第12发明的任一项中,所述翻转机构的所述翻转轴、被所述第I基板输送机构输送来的所述基板、以及通过所述基板翻转部翻转而配置在所述第2基板输送机构上的所述基板被配置于同一平面。技术方案14所记载的本发明(第14发明)的偏振膜的贴合装置中的翻转机构为,在第8发明至第13发明的任一项中,所述翻转机构具有能够对所述翻转轴的升降、倾斜度以及位置进行调整的单元。技术方案15所记载的本发明(第15发明)的偏振膜的贴合装置中的翻转机构为,在第8发明至第14发明的任一项中,在所述第I基板输送机构的两侧具有两个翻转机构,在所述第I基板输送机构的两侧配置有两个基板载置部,通过所述第I基板输送机构输送来的所述基板被交替输送至所述两个基板载置部,被输送至所述两个基板载置部的所述基板通过所述两个翻转机构被交替翻转,且构成为其配置被变更而配置在所述第2基板输送机构上。以下,对其他的发明进行说明。为了解决所述课题,本发明的偏振膜的贴合装置,具有第I基板输送机构,所述第I基板输送机构以长方形的基板的长边或者短边沿着输送方向的状态输送基板;第I贴合部,所述第I贴合部将偏振膜贴合在位于所述第I基板输送机构上的所述基板的下表面;翻转机构,所述翻转机构使被所述第I基板输送机构输送来的所述基板翻转,并将所述基板配置到第2基板输送机构上;第2基板输送机构,所述第2基板输送机构以所述基板的短边或者长边沿着输送方向的状态输送所述基板;和第2贴合部,所述第2贴合部将偏振膜贴合在位于所述第2基板输送机构上的所述基板的下表面,其特征在于,所述第I基板输送机构以及第2基板输送机构向相同方向输送基板,所述偏振膜的贴合装置所具有的翻转机构吸附位于第I基板输送机构上的长边或者短边沿着输送方向的基板并使其翻转,在第2基板输送机构使得所述基板变为短边或者长边沿着输送方向的状态,所述翻转机构具有吸附基板的吸附部和与吸附部连接的基板翻转部,所述基板翻转部通过沿着翻转轴旋转而使得基板翻转,所述翻转轴位于下述(I)的平面内,且处于下述(2)的垂直的位置(I)与所述基板垂直的平面内,在该平面内含有以通过位于第I基板输送机构上的基板的中心且与所述基板的输送方向垂直的直线为基准具有45°倾斜度的直线,(2)与第I基板输送机构上的基板垂直的位置。采用上述的发明,能够通过第I贴合部将偏振膜贴合在基板的下表面,通过沿着翻转机构的基板翻转部的翻转轴的旋转使得基板翻转,能够变更相对于输送方向的长边以及短边。然后,能够通过第2贴合部将偏振膜贴合在基板的下表面。即,能够从下方将偏振膜贴合于基板的两个表面,因此不会妨碍整流环境。又,翻转机构的动作由于是单纯的一个动作,因此节拍时间较短。因此,也能够实现节拍时间短的贴合。进一步地,所述第I基板输送机构和第2基板输送机构向相同方向输送基板。S卩,不具有L字型形状等的复杂的结构。因此,本发明的贴合装置的设置非常简便,面积效率优异。
又,在本发明的偏振膜的贴合装置中,较理想的情况是,所述第I基板输送机构以及第2基板输送机构被配置在一直线上,在第I基板输送机构的第2基板输送机构侧的端部,沿着所述端部的相对于第I基板输送机构的输送方向水平的两个方向分别具有两对基板载置部以及所述翻转机构,在所述端部,具有将基板从所述端部输送到所述基板载置部的输送单元,所述翻转机构使被分别输送至各个所述基板载置部的基板翻转并将所述基板配置于第2基板输送机构上。采用所述构成,由于设置有两个翻转机构,因此在每个单位时间里能够翻转处理两倍的基板。由此,在每个单位时间里能够进行很多基板的翻转,因此缩短了节拍时间。进一步地,第I基板输送机构以及第2基板输送机构被配置在一直线上,因此能够提供面积效率更加优异的结构的贴合装置。又,在本发明的偏振膜的贴合装置中,较理想的情况是,设置有输送偏振膜的第I膜输送机构以及第2膜输送机构,在所述第I膜输送机构中,具有对被剥离膜保护的偏振膜进行放卷的多个放卷部、切断偏振膜的切断部、从偏振膜去除剥离膜的去除部、以及卷取被去除了的所述剥离膜的多个卷取部,在所述第2膜输送机构中,具有对被剥离膜保护的偏振膜进行放卷的多个放卷部、切断偏振膜的切断部、从偏振膜去除剥离膜的去除部、以及卷取被去除了的所述剥离膜的多个卷取部,所述第I基板输送机构以及第2基板输送机构设置在所述第I膜输送机构以及第2膜输送机构的上部,将被去除了所述剥离膜的偏振膜贴合于基板的所述第I贴合部被设置在所述第I膜输送机构和第I基板输送机构之间,将被去除了所述剥离膜的偏振膜贴合于基板的第2贴合部被设置在所述第2膜输送机构和第2基板输送机构之间。由此,由于设置有多个放卷部以及卷取部,因此在其中一个放卷部的偏振膜卷筒的剩余量变少的情况下,能够使得设置于另一个放卷部上的偏振膜卷筒与该偏振膜卷筒连接。其结果,能够不使偏振膜的放卷停止地继续进行作业,能够提高生产效率。又,在本发明的偏振膜的贴合装置中,较理想的情况是,具有清洗部,该清洗部在利用上述第I贴合部将偏振膜贴合在基板的下表面之前对基板进行洗净,上述第I基板输送机构以基板的短边沿着输送方向的状态输送基板。由此,能够在基板的长边与基板的输送方向正交的状态下,通过清洗部对基板进行清洗。即,能够减小沿着输送方向的基板的距离,因此能够进一步缩短清洗所需的节拍时间。其结果,能够进一步地提供生产效率优异的偏振膜的贴合装置。又,在本发明的偏振膜的贴合装置中,理想的情况是,所述第I膜输送机构以及所述第2膜输送机构具有对被附加在从第I放卷部放卷的偏振膜上的缺陷显示进行检测的缺陷检测部、判别所述缺陷显示并使得所述基板的输送停止的贴合避免部、以及将被避免与基板贴合的偏振膜回收的回收部。采用所述缺陷检测部、贴合避免部以及回收部,能够避免将具有缺陷的偏振膜与基板贴合在一起,因此能够提闻成品率。又,本发明的液晶显示装置的制造系统,具有所述偏振膜的贴合装置和贴合偏差检查装置,所述贴合偏差检查装置对通过所述第2贴合部进行了偏振膜的贴合的基板上的贴合偏差进行检查。 由此,能够检查贴合了偏振膜的基板上所产生的贴合偏差。又,在本发明的液晶显示装置的制造系统中,较理想的是,具有分类输送装置,所述分类输送装置根据所述贴合偏差检查装置的检查结果判定有无贴合偏差,并根据该判定结果对贴合有偏振膜的基板进行分类。由此,在贴合有偏振膜的基板上产生有贴合偏差的情况下,能够迅速地进行不合格品的分类,能够缩短节拍时间。又,在本发明的液晶显示装置的制造系统中,较理想的是,具有偏振膜的贴合装置和贴合异物自动检查装置,所述贴合异物自动检查装置对通过所述贴合装置的第2贴合部进行了偏振膜的贴合的基板上的异物进行检查。由此,能够检查混入到贴合了偏振膜的液晶面板上的异物。又,在本发明的液晶显示装置的制造系统中,较理想的是,具有分类输送装置,所述分类输送装置根据上述贴合异物自动检查装置的检查结果判定有无异物,并根据该判定结果对贴合有偏振膜的基板进行分类。由此,在异物混入贴合有偏振膜的液晶面板的情况下,能够迅速地进行不合格品的分类,能够缩短节拍时间。又,在本发明的液晶显示装置的制造系统中,较理想的是,具有贴合异物自动检查装置,所述贴合异物自动检查装置对通过所述第2贴合部进行了偏振膜的贴合的基板上的异物进行检查;以及分类输送装置,所述分类输送装置根据所述贴合偏差检查装置的检查结果、以及所述贴合异物自动检查装置的检查结果判定有无贴合偏差以及异物,并根据该判定结果对贴合有偏振膜的基板进行分类。由此,在贴合有偏振膜的液晶面板上产生贴合偏差或者异物混入的情况下,能够迅速地进行不合格品的分类,能够缩短节拍时间。发明的效果由上述结构而构成的本发明的第I发明的基板输送机构中的翻转机构,通过所述基板翻转部的翻转动作,使被以长方形的基板的长边或者短边沿着输送方向的状态输送所述基板的所述第I基板输送机构输送来的所述基板翻转,并变更配置以将所述基板配置到以所述基板的短边或者长边沿着输送方向的状态输送所述基板的第2基板输送机构上,因此具有如下效果通过所述基板翻转部的一个翻转动作就能够使所述基板翻转,且能够改变沿着所述基板的输送方向的短边或者长边的方向,并能够缩短节拍时间。
由上述结构而构成的本发明的第2发明的基板输送机构中的翻转机构,在所述第I发明中,所述翻转机构的所述基板翻转部是通过驱动装置的旋转驱动绕着相对于所述基板的输送方向以一定的倾斜度配置的翻转轴旋转而进行翻转动作的,因此具有如下效果通过绕着相对于所述基板的输送方向以一定的倾斜度配置的翻转轴旋转的所述基板翻转部的一个翻转动作就能够使所述基板翻转,且能够改变沿着所述基板的输送方向的短边或者长边的方向,并能够缩短节拍时间。由上述结构而构成的本发明的第3发明的基板输送机构中的翻转机构,在所述第2发明中,所述翻转机构的所述基板翻转部是绕着相对于所述基板的输送方向以一定的倾斜度配置的翻转轴旋转而进行翻转动作的,因此具有如下效果通过绕着相对于所述基板的输送方向以45°倾斜度配置的翻转轴旋转的所述基板翻转部的一个翻转动作就能够使所述基板翻转,且能够改变沿着所述基板的输送方向的短边或者长边的方向,并能够缩短节拍时间。由上述结构而构成的本发明的第4发明的基板输送机构中的翻转机构,在所述第 3发明中,所述基板翻转部的一端相对于所述翻转轴以45°的倾斜度配置,因此具有如下效果通过所述基板翻转部的一个翻转动作就能够使被配置在所述基板翻转部的一端的所述基板翻转,且能够改变沿着所述基板的输送方向的短边或者长边的方向,并能够缩短节拍时间。由上述结构而构成的本发明的第5发明的基板输送机构中的翻转机构,在所述第I发明至第4发明的任一项中,所述翻转机构的所述翻转轴、被所述第I基板输送机构输送来的所述基板、以及通过所述基板翻转部翻转而配置在所述第2基板输送机构上的所述基板被配置于同一平面,因此具有如下效果通过所述基板翻转部的一个翻转动作就能够使被所述基板翻转,且能够改变沿着所述基板的输送方向的短边或者长边的方向,并能够缩短节拍时间。由上述结构而构成的本发明的第6发明的基板输送机构中的翻转机构,在所述第I发明至第5发明的任一项中,所述翻转机构所具有的所述单元能够对所述翻转轴的升降、倾斜度以及位置进行调整,因此具有能够进行所述基板翻转部的翻转动作的调整以及控制的效果。由上述结构而构成的本发明的第7发明的基板输送机构中的翻转机构,在所述第I发明至第6发明的任一项中,在所述第I基板输送机构的两侧配置有两个翻转机构,在所述第I基板输送机构的两侧配置有两个基板载置部,通过所述第I基板输送机构输送来的所述基板被交替输送至所述两个基板载置部,被输送至所述两个基板载置部的所述基板通过所述两个翻转机构被交替翻转,其配置被变更而配置在所述第2基板输送机构上,因此具有能够使所述基板的输送的节拍时间减半,从而双倍地进行所述基板的输送处理这样的效果。由上述结构而构成的本发明的第8发明的偏振膜的贴合装置中的翻转机构为,在偏振膜的贴合装置中,通过基板翻转部的翻转动作,使得以长方形的基板的长边或者短边沿着输送方向的状态被所述第I基板输送机构输送的、在第I贴合部偏振膜被贴合在其下表面的所述基板翻转,并变更配置以将所述基板配置到第2基板输送机构上,因此具有如下效果通过所述第2基板输送机构以所述基板的短边或者长边沿着输送方向的状态输送所述基板,从而实现在第2贴合部将偏振膜被贴合在所述基板的下表面。由上述结构而构成的本发明的第9发明的偏振膜的贴合装置中的翻转机构为,偏振膜的贴合装置中,通过基于驱动装置的旋转驱动的、一端与所述保持机构的被控制为保持状态或者保持被解除的状态的所述保持部连接的基板翻转部的翻转动作,使得通过所述第I基板输送机构输送来的、被所述保持部保持的所述基板翻转,并变更配置以将所述基板配置到第2基板输送机构上,由此能够进行所述基板的输送以及偏振膜的贴合,因此具有实现在所述基板的上下表面分别贴合偏振膜的效果。由上述结构而构成的本发明的第10发明的基板输送机构中的翻转机构,在第8发明或者第9发明中,具有如下效果,能够通过绕着以45°的倾斜度配置的翻转轴旋转的所述基板翻转部的一个翻转动作,使得所述基板翻转,且能够改变沿着所述基板的输送方向的短边或者长边的方向,并能够缩短节拍时间。由上述结构而构成的本发明的第11发明的偏振膜的贴合装置中的翻转机构,在第10发明中,所述基板翻转部的一端相对于所述翻转轴以45°的倾斜度配置,因此具有如 下效果通过所述基板翻转部的一个翻转动作就能够使被配置在所述基板翻转部的一端的所述基板翻转,且能够改变沿着所述基板的输送方向的短边或者长边的方向,并能够缩短节拍时间。由上述结构而构成的本发明的第12发明的偏振膜的贴合装置中的翻转机构,在第11发明中,所述翻转轴位于与所述基板垂直的平面内,在该平面内含有以通过位于第I基板输送机构上的基板的中心且与所述基板的输送方向垂直的直线为基准具有45°倾斜度的直线,因此具有如下效果通过所述基板翻转部的一个翻转动作就能够使所述基板翻转,且能够改变沿着所述基板的输送方向的短边或者长边的方向,并能够缩短节拍时间。由上述结构而构成的本发明的第13发明的偏振膜的贴合装置中的翻转机构,在第8发明至第12发明的任一项中,所述翻转机构的所述翻转轴、被所述第I基板输送机构输送来的所述基板、以及通过所述基板翻转部翻转而配置在所述第2基板输送机构上的所述基板被配置于同一平面,因此具有如下效果通过所述基板翻转部的一次翻转动作就能够使被所述基板翻转,且能够改变沿着所述基板的输送方向的短边或者长边的方向,并能够缩短节拍时间。由上述结构而构成的本发明的第14发明的偏振膜的贴合装置中的翻转机构,在所述第8发明至第13发明的任一项中,所述翻转机构所具有的所述单元能够对所述翻转轴的升降、倾斜度以及位置进行调整,因此具有能够进行所述基板翻转部的翻转动作的调整以及控制的效果。由上述结构而构成的本发明的第15发明的偏振膜的贴合装置中的翻转机构,在第8发明至第14发明的任一项中,在所述第I基板输送机构的两侧配置有两个翻转机构,在所述第I基板输送机构的两侧配置有两个基板载置部,通过所述第I基板输送机构输送来的所述基板被交替输送至所述两个基板载置部,被输送至所述两个基板载置部的所述基板通过所述两个翻转机构被交替翻转,其配置被变更而配置在所述第2基板输送机构上,因此具有能够使所述基板的输送的节拍时间减半,从而双倍地进行所述基板的输送处理这样的效果。以下对其他的发明效果进行说明。
本发明的偏振膜的贴合装置,如上文所述那样,所述第I基板输送机构以及第2基板输送机构向相同方向输送基板,偏振膜的贴合装置具有翻转机构,该翻转机构吸附位于第I基板输送机构上的长边或者短边沿着输送方向的基板并使其翻转,在第2基板输送机构使得所述基板变为短边或者长边沿着输送方向的状态,所述翻转机构具有吸附基板的吸附部和与吸附部连接的基板翻转部,所述基板翻转部通过沿着翻转轴旋转而使得基板翻转,所述翻转轴位于下述(I)的平面内,且处于下述(2)的垂直的位置(I)与所述基板垂直的平面内,在该平面内含有通过位于第I基板输送机构上的基板的中心,以与所述基板的输送方向垂直的直线作为基准具有45°的倾斜度的直线,(2)与第I基板输送机构上的基板垂直的位置。
因此,能够通过所述翻转机构使得基板翻转,并能够变更相对于输送方向的长边以及短边。由此,能够从下方将偏振膜贴合于基板的两个表面,因此不会妨碍整流环境。又,翻转机构的动作由于是单纯的一个动作,因此节拍时间较短。因此,也能够实现节拍时间短的贴合。进一步地,所述第I基板输送机构和第2基板输送机构向相同方向输送基板。即,不具有L字型形状等的复杂的结构。因此,本发明的贴合装置的设置非常简便,具有面积效率优异这样的效果。
图I是示出本发明所涉及的制造系统的一实施形态的截面图。图2是示出图I的制造系统的夹持辊(niproll)的周边部分的截面图。图3是示出和本发明同样的下贴型的制造系统的气流的速度矢量的截面图。图4是示出通过本发明所涉及的翻转机构使基板翻转的过程的立体图。图5是示出通过本发明所涉及的翻转机构使基板翻转的过程的俯视图。图6是示出本发明所涉及的贴合装置的变形例的俯视图。图7是示出本发明所涉及的液晶显示装置的制造系统所具有的各构件的关联的框图。图8是示出本发明所涉及的液晶显示装置的制造系统的动作的流程图。图9是示出上贴型的制造系统的气流的速度矢量的截面图。
具体实施例方式根据图I 图8对本发明的一实施形态进行说明的话,则如以下所述,但本发明并不限定于此。首先,下面对本发明所涉及的制造系统(液晶显示装置的制造系统)的构成进行说明。制造系统包含本发明所涉及的贴合装置。图I是示出制造系统的截面图。如图I所示,制造系统100为双层结构,1F( I层)部分是膜输送机构50, 2F (2层)部分为含有基板输送机构(第I基板输送机构以及第2基板输送机构)的贴合装置60。<膜输送机构>首先,对膜输送机构50进行说明。膜输送机构50所起的作用是,对偏振膜(偏振板)进行放卷,直到将偏振膜输送到夹持辊6、6a以及16、16a为止,并将不需要的剥离膜卷取。另一方面,贴合装置60所起的作用是,将通过膜输送机构50放卷的偏振膜贴合于基板(液晶面板)5上。膜输送机构50具有第I膜输送机构51以及第2膜输送机构52。第I膜输送机构51将偏振膜输送至夹持棍6、6a,该夹持棍6、6a最初将偏振膜贴合在基板5的下表面。另一方面,第2膜输送机构52将偏振膜输送至被翻转的基板5的下表面。第I膜输送机构51具有第I放卷部I、第2放卷部la、第I卷取部2,第2卷取部2a、半切刀具3、刀口 4、以及缺陷膜卷取辊7、7a。第I放卷部I上设置有偏振膜卷成的卷筒,偏振膜被放卷。可以采用公知的偏振膜作为上述偏振膜。具体地说,可以使用采用碘等对聚乙烯醇膜进行染色并向I轴方向延伸的膜等。上述偏振膜的厚度并没有特别的限定,但可以优选使用5 μ m以上、400 μ m以下的偏振膜。对于上述偏振膜卷筒,吸收轴的方向位于流动的方向(MD方向)。上述偏振膜通过剥离膜来保护粘合剂层。作为上述剥离膜(可以称为保护膜或者隔离层),可以使用聚酯膜、聚对苯二甲酸乙二醇酯膜等。上述剥离膜的厚度并没有特别的限定,但可以优选使用5μπι以上、100 μ m以下的剥离膜。 制造系统100中具有两个放卷部和两个与放卷部对应的卷取部,因此,在第I放卷部I的卷筒的偏振膜材料的剩余量变少的情况下,能够使设置于第2放卷部Ia上的偏振膜卷与第I放卷部I的偏振膜卷连接。其结果,能够不使偏振膜的放卷停止地继续进行作业。基于本构成,可以提高生产效率。另外,上述放卷部以及卷取部可以分别设置有多个,当然也可以设置三个以上。半切刀具(切断部)3对被剥离膜保护的偏振膜(由偏振膜、粘合剂层以及剥离膜构成的膜层叠体)进行半切,以切断偏振膜以及粘合剂层。可以使用公知的构件作为半切刀具3。具体地说,可以列举刃器、激光切割机等。在通过半切刀具3切断了偏振膜以及粘合剂层之后,通过刀口(去除部)4将剥离膜从偏振膜上去除。在偏振膜和剥离膜之间涂敷有粘合剂层,在去除了剥离膜之后,粘合剂层残留在偏振膜侧。作为上述粘合剂层,并没有特别的限定,可以列举丙烯酸系、环氧系、聚氨酯系等的粘合剂层。粘合剂层的厚度并没有特别的限定,但通常为5 40 μ m。另一方面,第2膜输送机构52具有与第I膜输送机构51相同的构成,具备第I放卷部11、第2放卷部11a、第I卷取部12,第2卷取部12a、半切刀具13、刀口 14、以及缺陷膜卷取辊17、17a。关于采用同一构件名称的构件,具有与第I膜输送机构51的构件相同的作用。作为较佳实施形态,制造系统100具有清洗部71。清洗部71在通过夹持辊6、6a将偏振膜贴合于基板5的下表面之前清洗基板5。作为清洗部71,可以采用由喷射清洗液的喷嘴以及刷子等构成的公知的清洗部。在即将贴合之前利用清洗部71清洗基板5,从而能够在基板5的附着异物较少的状态下进行贴合。接下来,采用图2对刀口 4进行说明。图2是示出制造系统100的夹持辊6、6a的周边部分的截面图。图2表示基板5从左方被输送、具有粘合剂层(未图示,以后相同)的偏振膜5a从左下方向被输送的状况。在偏振膜5a上具有剥离膜5b,通过半切刀具3切断偏振膜5a以及粘合剂层,剥离膜层5b没有被切断(半切)。在剥离膜5b侧设置有刀口 4。刀口 4是用于使剥离膜5b剥离的刃状构件,与偏振膜5a的粘结力低的剥离膜5b顺着刀口 4被剥离。
然后,剥离膜5b被卷取在图I的第I卷取部2上。另外,也可以采用使用粘着辊卷取剥离膜的构成来代替刀口。此时,与卷取部同样地,通过在两处设置粘着辊,可以提高剥离膜的卷取效率。接下来,对贴合装置60进行说明。贴合装置60输送基板5,将通过膜输送机构50输送的偏振膜贴合于基板上。虽未图不,但贴合装置60向基板5的上表面提供清洁的空气。即,进行向下流动的整流。由此,能够在稳定的状态下进行基板5的输送以及贴合。<贴合装置>贴合装置60设置在膜输送机构50的上部。由此,可以实现制造系统100的省空间化。虽然未图不,贴合装置60上设置有具有传送棍的基板输送机构,由此向输送方向输送基板5 (在图5中后述的第I基板输送机构61、第2基板输送机构62相当于基板输送机构)。制造系统100中,基板5从左侧被输送,然后,向图中右侧,即从第I膜输送机构51 的上部向第2膜输送机构52的上部输送。在膜输送机构50和贴合装置60之间,分别设置有作为贴合部的夹持辊6、6a (第I贴合部)以及夹持辊16、16a (第2贴合部)。夹持辊6、6a以及16、16a是完成将被去除了剥离膜的偏振膜贴合于基板5的下表面的任务的构件。另外,由于从下方将偏振膜贴合到基板5的两面,因此在利用夹持辊6、6a进行贴合之后,基板5通过翻转机构65被翻转。关于翻转机构65将在后面进行叙述。向夹持棍6、6a输送的偏振膜通过粘合剂层被贴合在基板5的下表面。作为夹持辊6、6a,可以分别采用压接辊、加压辊等公知的构成。又,夹持辊6、6a的贴合时的压力以及温度可以进行适当的调整。夹持辊16、16a的构成也一样。另外,虽然未图示,但在制造系统100中,作为较理想的构成,是在第I放卷部I到半切刀具之间具有缺陷显示(标记)检测部,从而检测出具有缺陷的偏振膜的构成。另外,上述缺陷显示是在生成偏振膜卷筒时进行检测并赋予的缺陷显示、或者是通过被设置在比缺陷显示检测部更靠近第I放卷部11或者第2放卷部Ila侧的缺陷显示赋予部赋予偏振膜的缺陷显示。缺陷显示赋予部由拍摄装置、图像处理装置以及缺陷显示形成部构成。首先,利用上述拍摄装置拍摄偏振膜,通过处理该拍摄信息,可以检查缺陷的有无。作为上述缺陷,具体地说,举例有灰尘等的异物、缩孔等。在检测到缺陷的情况下,利用缺陷显示形成部在偏振膜上形成缺陷显示。使用油墨等标记作为缺陷显示。进一步地,未图示的贴合避免部通过拍摄装置判别上述标记,向贴合装置60发送停止信号并使得基板5的输送停止。然后,被检测到缺陷的偏振膜不通过夹持辊6、6a进行贴合,而是被缺陷膜卷取辊(回收部)7、7a卷取。由此,可以避免基板5和具有缺陷的偏振膜贴合在一起。如果具有这一系列的构成的话,可以避免具有缺陷的偏振膜与基板5贴合在一起,因此可以提高成品率,比较理想。可以适当地采用公知的检查传感器作为缺陷检测部以及贴合避免部。如图I所示,基板5通过翻转机构65变成翻转状态之后,基板5被输送至夹持辊16、16a。并且,偏振膜被贴合在基板5的下表面。其结果,在基板5的两表面都贴合了偏振膜,成为两片偏振膜以相互不同的吸收轴被贴合在基板5的两表面上的状态。然后,根据需要,针对基板5的两个表面检查是否产生贴合偏差。该检查通常可以采用通过具有拍摄装置的检查部等来检查的构成。
这样,在制造系统100中,是在向基板5贴合偏振膜时从基板5的下方进行贴合的构成,不会妨碍向基板5的整流环境。因此,可以防止异物混入基板5的贴合面,能够进行更准确的贴合。图3的(a)以及图3的(b)示出与本发明同样的下贴型的制造系统的气流的速度矢量。图3的(a)、(b)中的区域A是设置有放卷部的区域,区域B主要是偏振膜通过的区域,以及区域C是设置有卷取部等的区域。又,从HEPA过滤器40提供清洁的空气。另外,在图3的(a)中,由于设置有清洁的空气能够通过的栅格41,气流能够通过栅格41在垂直方向上移动。另一方面,在图3的(b)中,由于没有设置栅格41,所以气流在与底板接触之后,沿着底板移动。图3的(a)、(b)所示的制造系统是下贴型的,因此不会如图9的(a)、(b)所示那样来自HEPA过滤器40的气流受到偏振膜的妨碍。因此,气流矢量的方向几乎为向着基板的方向,可以说无尘室实现了较为理想的整流环境。在图3的(a)中,设置有栅格41,在图 3的(b)中没有设置栅格,两图都显示出同样理想的状态。另外,在图3以及图9中,基板输 送机构是水平形成的,但没有设置为连续的结构。因此,成为在基板输送机构之间气流能够通过的构成。构成为这样的结构,即,基板通过后述的翻转机构保持之后,在基板输送机构之间被移送。又,构成为,在制造系统100中,首先以长边为前(长边与输送方向正交)输送基板5,之后,以短边为前(短边与输送方向正交)输送基板5。<翻转机构>翻转机构65将短边或者长边沿着输送方向的基板5的配置,变更为长边或者短边沿着输送方向的、被翻转后的状态。图4的(a) (c)是示出通过翻转机构65使基板5翻转的过程的立体图。图4的(a)示出吸附由第I基板输送机构输送来的基板5的状态,图4的(b)示出使基板5移动的过程,图4的(c)示出由第2基板翻转机构将基板5翻转后的状态。另外,为了图示的方便,在图4中省略了第I基板输送机构和第2基板输送机构,采用图5在下文进行叙述。如图4的(a)所示,翻转机构65具有吸附部66、基板翻转部67、以及升降部68。吸附部66为吸附基板5的表面的构件。由此,通过吸附部66,基板5的表面被保持在吸附部66上。作为吸附部66,可以采用公知的吸附部,例如,可以采用空气吸引方式的吸附部。基板翻转部67与吸附部66连接,形成为连接吸附部66以及升降部68。基板翻转部67通过以翻转轴M为轴进行旋转使得基板5翻转。在图4的(a)中,基板翻转部67的升降部68侧形成为朝着基板5向翻转轴M的垂直方向延伸的形状。进一步地,基板翻转部67的吸附部66侧形成为,通过第I基板输送机构上的基板5的中心、并沿着与基板5的长边(输送方向)平行的直线弯曲大约40°的形状。图4的(a)所示的基板翻转部67的形状只不过是一个实例,并不限定于该形状。作为其他的形状,例如可以采用从升降部68侧向吸附部66侧弯曲的形状来替代如基板翻转部67那样弯曲的形状。又,也可以采用如机械臂那样具有多个可动部的结构。基板翻转部67构成为,其能够旋转的可动部被设置在升降部68上。上述可动部沿着翻转轴M被配置,基板翻转部67成为能够沿着翻转轴M旋转的结构。
翻转轴M,( I)位于与基板5垂直的平面内(参照图5的(a)),在该平面内含有以通过第I基板输送机构上的基板5的中心且与基板5的输送方向垂直的直线为基准具有45°倾斜度的直线,(2)且位于与基板5水平的位置(参照图4的(a))。翻转轴M位于上述平面内,也可以相对于基板5在垂直方向上移动。基板翻转部67构成为通过可动部沿着翻转轴M旋转,但只要能沿着翻转轴M旋转即可,并不限定于该结构。例如,可以是这样的结构,即基板翻转部67具有旋转轴结构,该旋转轴结构的轴沿着翻转轴M旋转,且基板翻转部67整体也旋转。基板翻转部67的旋转运动例如通过未图示的电动机等驱动装置来进行。基板翻转部67通过以翻转轴M为轴的一次的旋转就能够使得基板5翻转。翻转是指使得基板5旋转至其相反面,换而言之,即配置使得基板5的表面变为背面。升降部68为具有弯曲部的臂状,通过减小臂的角度,能够使得基板翻转部67上升。另一方面,也可以通过增大臂的角度使得基板翻转部67下降。在未输送基板5时,吸 附部66被配置在基板5的上侧以避免与基板5接触。而且,在输送基板5时,通过升降部68使得基板翻转部67下降,吸附部66也下降,因此能够通过吸附部66吸附基板5。又,在基板5被翻转之后,解除吸附部66的吸附,但在解除之后通过升降部68来移动基板翻转部67,由此吸附部66从基板5离开。采用图4的(a) (C)对翻转机构65的动作进行说明。首先,在图4的(a)中,示出基板5的短边沿着输送方向的情形。通过吸附部66吸附基板5的表面之后,基板翻转部67沿着翻转轴M旋转。在该图中,通过吸附部66吸附基板5的中心附近,但只要进行固定使得基板5在旋转时不脱落即可,吸附地方并没有特别限定。又,吸附部位也不限定为四处,当然也可以进行增减。接着,基板翻转部67从图4的(a)的状态沿着翻转轴M向基板表面侧旋转。图4的(b)示出基板翻转部67相对于图4的(a)中的(第I基板输送机构的)基板5旋转了 90°的状态。经由图4的(b)的状态,基板翻转部67继续旋转,如图4的(c)所示那样翻转基板5。这样,通过翻转机构65的一次旋转动作,就能够变更基板5的短边以及长边的方向从而使得基板5翻转。即,能够不伴随着复杂的旋转动作而以短的节拍时间进行基板5的翻转。其结果,能够以短的节拍时间进行包含翻转的向基板5的偏振膜的贴合。另外,在图4中,为了使得基板5进一步向输送方向移动,将基板翻转部67设置在图4的(a)的基板5的输送方向侧。由此,如图4的(c)那样,能够以使基板5在第2基板输送机构上进一步向输送方向移动了的状态使得基板5翻转。由此,能够更加缩短包含翻转的两面贴合的节拍时间。图5为示出与图4相对应的基板5的旋转过程的俯视图。在图5中图示出第I基板输送机构61以及第2基板输送机构62。第I基板输送机构61以及第2基板输送机构62上设置有未图不的传送棍。第I基板输送机构61以及第2基板输送机构62向相同方向输送基板5。因此,第I基板输送机构61以及第2基板输送机构62成为沿着输送方向的直线状的形状。即,不具有L字型形状等的复杂的结构。因此,本发明所涉及的贴合装置60的设置非常简便,具有面积效率优异的结构。通过图4已经进行了说明,首先,如图5的(a)所示基板5的表面通过吸附部66被保持。接着,如图5的(b)所示,基板翻转部67沿着翻转轴M的方向旋转90°,基板5成为垂直的状态。最后,如图5的(c)所示,基板翻转部67沿着翻转轴M的方向进一步地旋转,由此基板5被翻转。基板5翻转时,基板5被配置在未图不的传送棍上,基板翻转部67不与传送辊接触。因此,翻转机构65位于基板5的下侧。其后,通过解除吸附部66的吸附解开基板5的保持,基板5通过第2基板输送机构62输送。而且,翻转机构65返回到图5的(a)的位置,以相同的动作使得依次被输送的其他基板5翻转。这样采用翻转机构65的话,能够在吸附部66吸附之后,通过一个动作使得基板5翻转,且能够变更相对于输送方向的长边以及短边。在翻转动作之前,偏振膜被贴合在基板5的下表面,在进行了上述翻转动作之后,能够相对于被翻转的基板5的下表面进一步地贴合偏振膜。(I)这样能够从下方将偏振膜贴合于基板5的两个面,(2)上述翻转动作是单纯的旋转动作,而且一个动作的节拍时间较短。因此,能够不妨碍整流环境地实现节拍时间短的贴合。 另外,基板翻转部67的翻转动作是一个动作,但即使包含了在该动作前后使基板5升降的动作以及/或者调整基板翻转部67的位置的动作,也包含于本发明所涉及的翻转机构65的动作之中。在图5中,第I基板输送机构61以及第2基板输送机构62向相同方向输送基板5,且形成为相互邻接的结构。这是因为,如图5的(C)所示,通过基板翻转部67,更换了相对于基板5的输送方向的短边以及长边,因此输送翻转后的基板5的第2基板输送机构62的输送方向与第I基板输送机构61的输送方向相互并不位于一直线上,而产生有偏差。另夕卜,第I基板输送机构61以及第2基板输送机构62未必需要邻接,也可以在第I基板输送机构61以及第2基板输送机构62间设置间隔。在图4中进行过说明,为了使得基板5进一步向输送方向移动,将基板翻转部67设置在翻转前的基板5的输送方向侧。但是,在具有翻转机构65的配置等的限制的情况下,也可以如图5的(d)那样配置翻转机构65。此时,虽然不能使得基板5更向输送方向移动,但能够与翻转机构65的配置等的限制相对应。图6是示出本发明的贴合装置60的变形例的俯视图。作为该变形例的变更点,有以下几点(I)有两个翻转机构65,(2)在第I基板输送机构61的两侧设置有两个基板载置部61a, (3)第I基板输送机构61以及第2基板输送机构62被配置在一直线上。另外,通过第I基板输送机构61以及第2基板输送机构62向相同方向输送基板5这一点是相同的。在第I基板输送机构61的第2基板输送机构62侧的端部,基板载置部61a以及翻转机构65沿着上述端部的相对于第I基板输送机构61的输送方向水平的两个方向设置。翻转机构65的结构与图4以及图5中所说明的结构相同。又,在上述端部的区域61b,设置有向基板载置部61a输送基板5的输送单元。具体地说,例如能够列举传送辊。基板载置部61a是通过吸附部66配置基板5的地方。采用该变形例,被输送至第I基板输送机构61的基板5被交替输送至两个基板载置部61a。由于设置有两对基板载置部61a以及翻转机构65,因此被输送至基板载置部61a的基板5利用翻转机构65通过一个动作而被翻转。
在该变形例中,两个基板载置部61a分别沿着第I基板输送机构61的水平的两个方向配置,被翻转了的基板5沿着第I基板输送机构61的输送方向被配置。因此,第I基板输送机构61以及第2基板输送机构62能够配置在一直线上。采用该变形例,由于(I)设置有两个翻转机构65,因此在单位时间里能够处理两倍的基板5。由此,在每个单位时间里能够进行很多基板5的翻转,因此缩短了节拍时间。
(2)进一步地,第I基板输送机构61以及第2基板输送机构62被配置在一直线上,因此能够提供面积效率更加优异的结构的贴合装置。尤其是在无尘室中要求面积效率,因此该贴合装置非常理想。<其他的附带的构成>
进一步地,作为理想的形态,制造系统100具有控制部70、清洗部71、贴合偏差检查装置72以及贴合异物自动检查装置73以及分类输送装置74。贴合偏差检查装置72、贴合异物自动检查装置73以及分类输送装置74对贴合之后的基板5、即液晶显示装置进行检
查等的处理。图7是示出上述液晶显示装置的制造系统所具有的各构件的关联的框图,图8为示出液晶显示装置的制造系统的动作的流程图。以下,与液晶显示装置所具有的各构件的说明一起对其动作进行说明。控制部70与清洗部71、贴合偏差检查装置72、贴合异物自动检查装置73以及分类输送装置74连接,并将控制信号发送给它们以对它们进行控制。控制部70主要由CPU(中央处理器)构成,并根据需要设置有存储器等。制造系统100中设置有清洗部71的情况下,为了缩短清洗部71的节拍时间,优选为第I基板输送机构61的基板5以长边为前被输送至清洗部71。通常,清洗部71的清洗需要较长的时间,因此从缩短节拍时间的观点考虑,该构成是非常有效的。接着,进行将偏振膜贴合在基板5的两表面的贴合工序(包含基板5的翻转动作)(图8的S2),关于本工序,正如采用图I 图6所说明的那样。贴合偏差检查装置72检查被贴合的基板5中有无偏振膜的贴合偏差。贴合偏差检查装置72由拍摄装置以及图像处理装置构成,上述拍摄装置被设置在通过夹持辊16、16a被贴合了偏振膜的基板5的贴合位置。利用上述拍摄装置进行基板5的拍摄,并对所拍摄的图像信息进行处理,由此能够检查基板5上有无贴合偏差(贴合偏差检查工序,图8的S3)。另外,作为贴合偏差检查装置72,可以使用现有公知的贴合偏差检查装置。贴合异物自动检查装置73检查被贴合的基板5中有无异物。贴合异物自动检查装置73与贴合偏差检查装置72同样地由拍摄装置以及图像处理装置构成,上述拍摄装置被设置在通过夹持辊16、16a被贴合了偏振膜后的基板5的第2基板输送机构(贴合装置60)上。利用上述拍摄装置进行基板5的拍摄,并对所拍摄的图像信息进行处理,由此能够检查基板5上有无贴合异物(贴合异物检查工序,S4)。作为上述异物,具体地说,举例有灰尘等的异物、缩孔等。另外,作为贴合异物自动检查装置73,可以使用现有公知的贴合异物检查
>j-U ρ α装直。S3以及S4可以以相反的顺序进行,也可以同时进行。又,也可以省略其中一个工序。分类输送装置74根据来自贴合偏差检查装置72以及贴合异物自动检查装置73的检查结果,判断有无贴合偏差以及异物。分类输送装置74只要是能从贴合偏差检查装置72以及贴合异物自动检查装置73接收基于检查结果的输出信号,并将被贴合的基板5分类为合格品或者不合格品的装置即可。因此,能够采用现有公知的分类输送系统。在该液晶显示装置的制造系统中,作为优选的形态,构成为检测贴合偏差以及异物这两个方面,在判断为检测到贴合偏差或者异物的情况下(是),被贴合的基板5被分类为不合格品(S7)。另一方面,在判断为没有检测到贴合偏差或者异物中任何一个的情况下(否),被贴合的基板5被分类为合格品(S6)。采用具有分类输送装置74的液晶显示装置的制造系统,能够迅速地进行合格品和不合格品的分类,能够缩短节拍时间。在仅具有贴合偏差检查装置72或者贴合异物自动检查装置73的情况下,分类输送装置74可以是仅判断贴合偏差以及异物中一方的有无的构成。另外,本发明并不限定于上述的各实施方式,能够在权利要求所示的范围内进行各种变更,将不同的实施方式所分别公开的技术方法进行适当的组合得到的实施方式也包 含在本发明的技术范围内。产业上的可利用性本发明所涉及的偏振膜的贴合装置能够利用在将偏振膜贴合在基板上的领域。符号说明I第I放卷部Ia第2放卷部2第I卷取部2a第2卷取部3半切刀具4刀口5基板5a偏振膜5b剥离膜6、6a 夹持辊(第I贴合部)7、7a 缺陷膜卷取辊11第I放卷部Ila第2放卷部12第I卷取部12a第2卷取部13半切刀具14刀口16、16a 夹持辊(第2贴合部)17、17a 缺陷膜卷取辊40HEPA 过滤器41栅格50膜输送机构
51第I膜输送机构52第2膜输送机构60贴合装置(偏振膜的贴合装置)61第I基板输送机构61a基板载置部62第2基板输送机构65翻转机构66吸附部
67基板翻转部68升降部70控制部71清洗部72检查装置73贴合异物自动检查装置74输送装置100制造系统(液晶显示装置的制造系统)M翻转轴。
权利要求
1.一种基板输送机构中的翻转机构,所述基板输送机构具有 以长方形的基板的长边或者短边沿着输送方向的状态输送基板的第I基板输送机构;和 以所述基板的短边或者长边沿着输送方向的状态输送所述基板的第2基板输送机构,所述基板输送机构中的翻转机构的特征在于,在所述基板输送机构中具有如下构成的翻转机构 所述翻转机构通过基板翻转部的翻转动作,使被所述第I基板输送机构输送来的所述基板翻转,且变更配置以将所述基板配置到所述第2基板输送机构上。
2.如权利要求I所述的基板输送机构中的翻转机构,其特征在于, 所述翻转机构具有基板翻转部,所述基板翻转部通过驱动装置的旋转驱动,绕着相对于所述基板的输送方向以一定的倾斜度配置的翻转轴旋转而进行翻转动作。
3.如权利要求2所述的基板输送机构中的翻转机构,其特征在于, 所述翻转轴的所述倾斜度为45°。
4.如权利要求3所述的基板输送机构中的翻转机构,其特征在于, 所述基板翻转部的一端相对于所述翻转轴以45°的倾斜度配置。
5.如权利要求I至4中任一项所述的基板输送机构中的翻转机构,其特征在于, 所述翻转机构的所述翻转轴、被所述第I基板输送机构输送来的所述基板、以及通过所述基板翻转部翻转而配置在所述第2基板输送机构上的所述基板被配置于同一平面。
6.如权利要求I至5中任一项所述的基板输送机构中的翻转机构,其特征在于, 所述翻转机构具有能够对所述翻转轴的升降、倾斜度以及位置进行调整的单元。
7.如权利要求I至6中任一项所述的基板输送机构中的翻转机构,其特征在于,构成为, 在所述第I基板输送机构的两侧配置有两个翻转机构,在所述第I基板输送机构的两侧配置有两个基板载置部,通过所述第I基板输送机构输送来的所述基板被交替输送至所述两个基板载置部,被输送至所述两个基板载置部的所述基板通过所述两个翻转机构被交替翻转,且其配置被变更而配置在所述第2基板输送机构上。
8.一种偏振膜的贴合装置中的翻转机构,该偏振膜的贴合装置包括 第I基板输送机构,所述第I基板输送机构以长方形的基板的长边或者短边沿着输送方向的状态输送基板; 第I贴合部,所述第I贴合部将偏振膜贴合在位于所述第I基板输送机构上的所述基板的下表面; 第2基板输送机构,所述第2基板输送机构以所述基板的短边或者长边沿着输送方向的状态输送所述基板;和 第2贴合部,所述第2贴合部将偏振膜贴合在位于所述第2基板输送机构上的所述基板的下表面, 所述偏振膜的贴合装置中的翻转机构的特征在于,在所述偏振膜的贴合装置中具有如下构成的翻转机构 所述翻转机构通过基板翻转部的翻转动作,使被所述第I基板输送机构输送来的所述基板翻转,并变更配置以将所述基板配置到所述第2基板输送机构上。
9.一种偏振膜的贴合装置中的翻转机构,该偏振膜的贴合装置包括 第I基板输送机构,所述第I基板输送机构以长方形的基板的长边或者短边沿着输送方向的状态输送基板; 第I贴合部,所述第I贴合部将偏振膜贴合在位于所述第I基板输送机构上的所述基板的下表面; 第2基板输送机构,所述第2基板输送机构以所述基板的短边或者长边沿着输送方向的状态输送所述基板; 第2贴合部,所述第2贴合部将偏振膜贴合在位于所述第2基板输送机构上的所述基板的下表面;和 保持机构,所述保持机构具有保持被所述第I基板输送机构输送来的所述基板的保持 部,将所述保持部控制为保持状态或者保持被解除的状态, 所述偏振膜的贴合装置中的翻转机构的特征在于,在所述偏振膜的贴合装置中具有如下构成的翻转机构 所述翻转机构通过基于驱动装置的旋转驱动的、一端与所述保持机构的所述保持部连接的基板翻转部的翻转动作,使被所述第I基板输送机构输送来并被所述保持部保持的所述基板翻转,并变更配置以将所述基板配置到所述第2基板输送机构上。
10.如权利要求8或9所述的偏振膜的贴合装置中的翻转机构,其特征在于, 所述翻转轴的所述倾斜度为45°。
11.如权利要求10所述的偏振膜的贴合装置中的翻转机构,其特征在于, 所述基板翻转部的一端相对于所述翻转轴以45°的倾斜度配置。
12.如权利要求11所述的偏振膜的贴合装置中的翻转机构,其特征在于, 所述翻转轴位于与所述基板垂直的平面内,在该平面内含有以通过位于第I基板输送机构上的基板的中心且与所述基板的输送方向垂直的直线为基准具有45°倾斜度的直线。
13.如权利要求8至12中任一项所述的偏振膜的贴合装置中的翻转机构,其特征在于, 所述翻转机构的所述翻转轴、被所述第I基板输送机构输送来的所述基板、以及通过所述基板翻转部翻转而配置在所述第2基板输送机构上的所述基板被配置于同一平面。
14.如权利要求8至13中任一项所述的偏振膜的贴合装置中的翻转机构,其特征在于, 所述翻转机构具有能够对所述翻转轴的升降、倾斜度以及位置进行调整的单元。
15.如权利要求8至14中任一项所述的偏振膜的贴合装置中的翻转机构,其特征在于,构成为, 在所述第I基板输送机构的两侧配置有两个翻转机构,在所述第I基板输送机构的两侧配置有两个基板载置部,通过所述第I基板输送机构输送来的所述基板被交替输送至所述两个基板载置部,被输送至所述两个基板载置部的所述基板通过所述两个翻转机构被交 替翻转,且所述基板的配置被变更而被配置在所述第2基板输送机构上。
全文摘要
本发明提供一种基板输送机构或者偏振膜的贴合装置中的翻转机构,在具有以长方形的基板(5)的长边或者短边沿着输送方向的状态输送基板的第1基板输送机构(61)、和以所述基板(5)的短边或者长边沿着输送方向的状态输送所述基板的第2基板输送机构(62)的基板输送机构中,具有翻转机构(65),该翻转机构构成为,通过基板翻转部(67)的翻转动作,使被所述第1基板输送机构(61)输送来的所述基板(5)翻转,并变更配置以将所述基板配置到第2基板输送机构(62)上。
文档编号G02B5/30GK102822727SQ201180017069
公开日2012年12月12日 申请日期2011年3月29日 优先权日2010年3月30日
发明者松本力也 申请人:住友化学株式会社