一种补偿镜片调整装置制造方法
【专利摘要】本发明公开一种补偿镜片调整装置，包括：一倾斜调整模块，该倾斜调整模块包括相互紧邻的一凸面镜座和一凹面镜座，以及一调整电机，通过该调整电机改变该凸面镜座在该凹面镜座中的滑动距离；一轴向调整模块，该轴向调整模块包括一垂向调整电机，一轴向调整环以及一轴向调整顶丝，该垂向调整电机带动该轴向调整环沿着机械轴旋转，以推动该轴向调整顶丝的上升或下降；一偏心调整模块，用于实现偏心调整；一锁紧模块，该锁紧模块包括一气缸及一锁紧压块，用于该调整完成后的该补偿镜片。
【专利说明】一种补偿镜片调整装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种集成电路制造装备领域，尤其涉及一种适用于光刻投影物镜的补偿镜片调整装置。
【背景技术】
[0002]在光刻投影物镜中，由于镜片的制造和装配误差，使得物镜的成像像质变差。为了解决这一问题，一般采用可动镜片以补偿镜片的制造和装配误差。
[0003]在
【发明者】贾翔 申请人:上海微电子装备有限公司