专利名称：光刻机电子系统的整体布局的结构的制作方法
技术领域：
光刻机电子系统的整体布局的结构技术领域[0001]本实用新型属于光刻技术领域，涉及一种光刻机电子系统的整体布局的结构。
背景技术：
[0002]光刻技术是用于在衬底表面上印刷具有特征的构图。这样的衬底可包括用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等的基片。经常使用的基片为半导体晶圆或玻璃基片。[0003]电子系统实现光刻机的自动控制，主要包括光学焦距的自动控制、激光机能量的稳定控制，气动门的控制以及各种告警指示。其中每一个功能都需要一个电子子系统，每一个子系统都需要一个开关电源供电，并且与上位机通信。这样，接线众多，不但乱，而且检修不方便。电子系统是光刻机中不可缺少的一个组成部分，其体积的大小，布线的复杂程度将影响光刻机的整体设计与布局，因此，应尽量的减少电子系统的布线与体积。实用新型内容[0004]本实用新型提供一种使用一个通信系统实现各个子系统与上位机的通信，使用连接板实现各个子系统与·通信系统的连接与供电的光刻机电子系统的整体布局的结构。[0005]本实用新型采用的技术方案如下[0006]光刻机电子系统的整体布局的结构，包括有上位机和多个子系统，其特征在于还包括有电路板、连接板，所述的电路板上设有通信系统，通信系统还扩展设有8个SPI 口、两个串口和一个网口，上位机通过网口与通信系统进行通信连接，各个子系统通过SPI 口和串口与通信系统连接，各个子系统均置于连接板上，所述的连接板上设有电源，连接板上的电源为各个子系统供电。[0007]所述的各个子系统和连接板固定于一个4U机箱中。[0008]本实用新型增加连接板，连接板负责将所有的子系统连接起来，并给子系统提供电源，将各个子系统插在连接板上，与通信系统连接起来，各个子系统与通信系统通过SPI 口和串口与通信系统通信。将所有的子系统固定在4U机箱之中，减少外界的干扰。上位机通过网口将数据发送给通信系统，通信系统将数据通过SPI 口和串口转发给各个子系统， 同时各个子系统也可以将数据转发给通信系统，通信系统在将数据发送给上位机。[0009]本实用新型的有益效果在于[0010]本实用新型在不影响电控整个性能的前提下，减小了电子系统的体积与布线数量，给光刻机的安装和运输带来了极大的方便。
[0011]图I为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
[0012]如图I所不,光刻机电子系统的整体布局的结构,包括有上位机I和多个子系统2, 还包括有电路板5、连接板4，电路板5上设有通信系统3，通信系统3还扩展设有8个SPI 口、两个串口和一个网口，上位机I通过网口与通信系统3进行通信连接，各个子系统2通过SPI 口和串口与通信系统3连接，各个子系统均置于连接板4上，连接板4上设有电源， 连接板4上的电源为各个子系统2供电。[0013]各个子系统2和连接板4固定于一个4U机箱中。
权利要求1.一种光刻机电子系统的整体布局的结构，包括有上位机和多个子系统，其特征在于 还包括有电路板、连接板，所述的电路板上设有通信系统，通信系统还扩展设有8个SPI 口、 两个串口和一个网口，上位机通过网口与通信系统进行通信连接，各个子系统通过SPI 口和串口与通信系统连接，各个子系统均置于连接板上，所述的连接板上设有电源，连接板上的电源为各个子系统供电。
2.根据权利要求I所述的光刻机电子系统的整体布局的结构，其特征在于所述的各个子系统和连接板固定于一个4U机箱中。
专利摘要本实用新型公开了一种光刻机电子系统的整体布局的结构，包括有上位机和多个子系统、电路板、连接板，电路板上设有通信系统，通信系统还扩展设有8个SPI口、两个串口和一个网口，上位机通过网口与通信系统进行通信连接，各个子系统通过SPI口和串口与通信系统连接，各个子系统均置于连接板上，连接板上设有电源，连接板上的电源为各个子系统供电。本实用新型在不影响电控整个性能的前提下，减小了电子系统的体积与布线数量，给光刻机的安装和运输带来了极大的方便。
文档编号G03F7/20GK202735678SQ20122027123
公开日2013年2月13日 申请日期2012年6月8日 优先权日2012年6月8日
发明者陈修涛, 周玉, 陈勇 申请人:合肥芯硕半导体有限公司