专利名称：一种手动光刻版清洗装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造中光刻工艺所使用到的清洗装置，具体涉及一种手动光刻版清洗装置。
背景技术：
专利号为2010201681110的实用新型专利，公布了一种光刻版清洗架，参见图1，该清洗架是将光刻版插入卡持部I固定后，沿着图I中虚线所示的箭头方向，与框架2扣合后，将其浸入清洗液中，手柄3露在液面外，用清洗刷头浸入清洗液进行擦拭。其不足之处在于光刻版一次只能放入一片，而且清洗时人员提住手提，人手离清洗液非常接近，在使用强酸强碱清洗时容易有安全隐患
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种能够实现同时清洗多块光刻版，并且使用安全的手动光刻版清洗装置。一种手动光刻版清洗装置，包括框体，所述框体的内腔中等距离开设有若干个光刻版卡槽，所述框体上夹设有夹持体。本实用新型的有益效果体现在I、可同时将多块光刻版放入框体内腔中进行清洗，提高了工作效率；2、使用灵活，夹持体与框体方便拆开，便于框体放入装有清洗液的清洗槽后盖上槽盖，实现抖动、超声、旋转、喷洗等洗版方式；3、避免人员与溶液槽接触，安全系数高，通过抖动、超声、旋转、喷洗等工艺手段进行清洗，可避免擦版。
图I为现有技术中光刻版清洗架的结构示意图。图2为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
实施例I参见图I，本实用新型提供的一种手动光刻版清洗装置，包括框体4，所述框体4的内腔中等距离开设有若干个光刻版卡槽5，所述框体4上夹设有夹持体6。
权利要求1.一种手动光刻版清洗装置，包括框体，其特征在于所述框体的内腔中等距离开设有若干个光刻版卡槽，所述框体上夹设有夹持体。
专利摘要本实用新型公开了一种手动光刻版清洗装置，包括框体，所述框体的内腔中等距离开设有若干个光刻版卡槽，所述框体上夹设有夹持体。本实用新型结构简单，制作方便，增加了一次清洗光刻版的数量，提高工作效率，并且使用灵活，框体和夹持体方便拆开，人员无需近距离擦版，提高了清洗时的安全系数。
文档编号G03F1/82GK202615111SQ20122029150
公开日2012年12月19日 申请日期2012年6月20日 优先权日2012年6月20日
发明者严贞贞, 李鑫鑫 申请人:合肥彩虹蓝光科技有限公司