专利名称：光栅尺、光学码盘专用高精度高效率曝光机的制作方法
技术领域：
光栅尺、光学码盘专用高精度高效率曝光机技术领域[0001]本发明涉及一种曝光设备，具体的说是一种光栅尺、光学码盘专用高精度高效率曝光机。
背景技术：
[0002]随着现代工业的高速发展，市场对光学传感器的需求快速增加，从技术要求上精度越来越高，同时也对生产能力提出了更高要求。[0003]曝光机主要用于精密蚀刻中的曝光制版，获得较高双面曝光精度和良好效果，为蚀刻做好前道精密曝光制版工作。[0004]目前市场上使用的曝光机多为厂家自制的曝光设备，工作效率低，一次曝光一件， 曝光精度低，制作不出高精度的光学器件。发明内容[0005]本发明的目的主要解决光栅尺和高脉冲光学码盘码道透光和不透光比例不均匀问题，同时解决曝光长尺和一次多件曝光问题，提供一种结构简单合理、可实现高脉冲码盘的大批量生产，降低费品率，工作效率高的光栅尺、光学码盘专用高精度高效率曝光机。[0006]本发明的目的是这样实现的，该曝光机包括机架、遮光罩、电控箱体、丝杠、柱面体棱镜、高压紫外线汞灯、灯盒、丝杠支撑座、导轨、透光支撑玻璃板和散热风扇，所述的遮光罩罩在机架的外面，所述的透光支撑玻璃板水平设置在机架的台面上，在机架上的两根平行导轨设置在透光支撑玻璃板的下方，机架上的丝杠设置在两根平行导轨的中间，丝杠支撑座与丝杠螺纹连接，在丝杠支撑座上设置有两个立柱，连接灯盒的高压紫外线汞灯设置在两个立柱之间，柱面体棱镜设置在两个立柱的上面，且在以紫外线汞灯为焦点的位置上，散热风扇设置在高压紫外线汞灯的侧面。[0007]本发明具有以下优点和积极效果[0008]I、本发明主要解决高脉冲光栅尺和光学码盘码道透光和不透光比例不均匀问题， 同时解决曝光长尺问题，可达3-5米(只要加长丝杠长度，可以更长)，而且一次能多件曝光， 可实现高脉冲码盘大批量生产，降低费品率，也解决工作效率低的问题，相比以前的各厂家自制的曝光设备有效率高，曝光精度高等优点。[0009]2、本发明把柱面棱镜放在高压紫外线汞灯的焦点处，让紫外光线透过柱面棱镜后行成一组平行光速，功率最强处平行照射到曝光物件上，同时由丝杠带动整体安装在一起的柱面棱镜和高压汞灯及散热风扇匀速运动，运动速度及距离可通过控制器事先编好的程序进行。
[0010]图I是光栅尺、光学码盘专用高精度高效率曝光机整体结构示意图。[0011]图2是本发明遮光罩剖开的曝光机外形图。[0012]图3是本发明图I另一角度结构示意图。
具体实施方式
[0013]由附图I、2所示该曝光机包括机架I、遮光罩2、电控箱体(电机加控制器)3、丝杠4、柱面体棱镜5、高压紫外线汞灯6、灯盒7、丝杠支撑座8、导轨9、透光支撑玻璃板10和散热风扇11，所述的遮光罩2罩在机架I的外面，所述的透光支撑玻璃板10水平设置在机架I的台面上，在机架I上的两根平行导轨9设置在透光支撑玻璃板10的下方，机架I上的丝杠4设置在两根平行导轨9的中间，丝杠支撑座8与丝杠4螺纹连接，在丝杠支撑座8 上设置有两个立柱12，连接灯盒7的高压紫外线汞灯6设置在两个立柱12之间，柱面体棱镜5设置在两个立柱12的上面，且在以紫外线汞灯6为焦点的位置上，散热风扇11设置在高压紫外线汞灯6的侧面。[0014]所述的电控箱体3内部有单片机，单片机内部有控制点击正反转及速度的程序， 以便控制曝光的速度和时间。[0015]工作过程[0016]首先接通220V电源，打开电源开关，绿色指示灯亮，同时紫外线高压汞灯也通电加热，此时把模板(对称工作板)放在透光支撑玻璃板10的光线能照射区域按顺序排列好， 可以二到三排(根据工件大小而定)。然后把被曝光器件放在工作板上面，使用工装保证其上下同圆，再用压陀压紧在工件上面，放下遮光罩2，按下工作开关，电机转动，此时高压汞灯与柱面棱镜5及散热风扇11 一起在丝母的带动下，会以事先程序设定好的速度及方向滑动，走完程序后，电机会自动反方向运动返回到初始位置，等待下一次指令，这样一次曝光完成。
权利要求1.一种光栅尺、光学码盘专用高精度高效率曝光机，其特征在于该曝光机包括机架(I)、遮光罩(2)、电控箱体(3)、丝杠(4)、柱面体棱镜(5)、高压紫外线汞灯(6)、灯盒(7)、丝杠支撑座(8)、导轨(9)、透光支撑玻璃板(10)和散热风扇(11),所述的遮光罩(2)罩在机架(I)的外面，所述的透光支撑玻璃板(10)水平设置在机架(I)的台面上，在机架(I)上的两根平行导轨(9)设置在透光支撑玻璃板(10)的下方，机架(I)上的丝杠(4)设置在两根平行导轨(9)的中间，丝杠支撑座(8)与丝杠(4)螺纹连接，在丝杠支撑座(8)上设置有两个立柱(12 )，连接灯盒(7 )的高压紫外线汞灯(6 )设置在两个立柱(12 )之间，柱面体棱镜(5 )设置在两个立柱(12)的上面，且在以紫外线汞灯(6)为焦点的位置上，散热风扇(11)设置在高压紫外线汞灯(6)的侧面。
专利摘要本实用新型涉及一种曝光设备，具体的说是一种光栅尺、光学码盘专用高精度高效率曝光机。该曝光机包括机架、遮光罩、电控箱体、丝杠、柱面体棱镜、高压紫外线汞灯、灯盒、丝杠支撑座、导轨、透光支撑玻璃板和散热风扇，本实用新型主要解决光栅尺和高脉冲光学码盘码道透光和不透光比例不均匀问题，同时解决曝光长尺和一次多件曝光问题，提供一种结构简单合理、可实现高脉冲码盘的大批量生产，降低费品率，工作效率高。
文档编号G03F7/20GK202815411SQ201220448218
公开日2013年3月20日 申请日期2012年9月5日 优先权日2012年9月5日
发明者倪国东 申请人:长春荣德光学有限公司