感射线性组合物、显示元件用固化膜的形成方法、显示元件用固化膜以及显示元件的制作方法
【专利摘要】本发明的目的在于提供一种感射线性组合物,其可形成分辨率和感光度优异并且具有高显影耐受性、耐热性、耐溶剂性等的固化膜。本发明是含有[A]具有烯属不饱和键的聚合性化合物、以及[B]由下述式(1)表示的光聚合引发剂的感射线性组合物。下述式(1)中,R1是吗啉代基、哌啶子基、二甲基氨基或二乙基氨基。R2以及R3各自独立地为碳原子数1~6的烷基。R4以及R5各自独立地为羟基、羟甲基或碳原子数1~6的烷基。n为0~6的整数。X为氧原子或硫原子。又,该感射线性组合物优选进一步含有[C]碱可溶性树脂。进一步,该感射线性组合物优选进一步含有[D]着色剂。
【专利说明】感射线性组合物、显示元件用固化膜的形成方法、显示元件用固化膜以及显示元件
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种感射线性组合物、显示元件用固化膜的形成方法、显示元件用固化膜以及显示元件。
【背景技术】
[0002]一般而言,在薄膜晶体管型液晶显示元件等显示设备中,为了将配置成层状的布线之间进行绝缘,因而设置了作为层间绝缘膜的固化膜。例如,薄膜晶体管型液晶显示元件经由如下工序而制造:在上述固化膜上形成透明电极膜,进一步在其上形成液晶取向膜。在这样的制造工序中,上述固化膜在透明电极膜的形成工序中暴露于高温,或者暴露于在电极的图案形成中所使用的抗蚀层的剥离液,因而固化膜需要具有高显影耐受性、耐热性以及耐溶剂性。
[0003]近年来,考虑到伴随显示的高精细化而来的液晶显示元件的图案微细化以及生产率的效率化,对于用于形成上述那样的层间绝缘膜、液晶显示元件用的间隔物、保护膜以及着色图案等固化膜的感射线性组合物,要求具有高分辨率以及感光度。对此,提出了使用包含肟酯类光聚合引发剂的感射线性组合物的技术(参照日本特开2005-227525号公报)。
[0004]但是,即使使用了这样的技术,也不能说充分满足了感光度等。另外,对于感射线性组合物也要求具有保存稳定性,并且对于所形成的固化膜,在上述高显影耐受性、耐热性以及耐溶剂性的基础上还要求具有优异的压缩性能。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:日本特开2005-227525号公报
【发明内容】
[0008]发明要解决的问题
[0009]本发明基于以上那样的情形而完成。其目的在于提供一种感射线性组合物,该感射线性组合物可形成分辨率和感光度优异并且具有高显影耐受性、耐热性、耐溶剂性等的固化膜。
[0010]用于解决问题的方案
[0011]为了解决上述问题而完成的发明是一种感射线性组合物,其含有[A]具有烯属不饱和键的聚合性化合物(以下亦称为“[A]聚合性化合物”)、以及[B]由下述式⑴表示的光聚合引发剂(以下亦称为“[B]光聚合引发剂”)。
[0012]【化学式I】
[0013]
【权利要求】
1.一种感射线性组合物,其含有[A]具有烯属不饱和键的聚合性化合物、以及[B]由下述式(I)表示的光聚合引发剂, 【化学式I】
2.根据权利要求1所述的感射线性组合物,其中,[B]光聚合引发剂由下述式(1-1)表示, 【化学式2】
3.根据权利要求1所述的感射线性组合物,其进一步含有[C]碱可溶性树脂。
4.根据权利要求3所述的感射线性组合物,其中,[C]碱可溶性树脂具有由下述式(2)表示的结构单元, 【化学式3】
5.根据权利要求1所述的感射线性组合物,其进一步含有[D]着色剂。
6.根据权利要求3所述的感射线性组合物,其中,[C]碱可溶性树脂具有源自含环氧基的不饱和化合物的结构单元。
7.根据权利要求1~6中任一项所述的感射线性组合物,其用于形成显示元件用固化膜。
8.一种光聚合引发剂,其为权利要求2中记载的式(1-1)所示的光聚合引发剂。
9.一种显示元件用固化膜的形成方法,其具有如下工序: (1)使用权利要求7所述的感射线性组合物,在基板上形成涂膜的工序, (2)对上述涂膜的至少一部分照射射线的工序, (3)将上述照射了射线的涂膜进行显影的工序,以及 (4)将上述显影了的涂膜进行加热的工序。
10.一种显示元件用固化膜,其由权利要求7所述的感射线性组合物形成。
11.一种显示元件,其具备权利要求9所述的显示元件用固化膜。
【文档编号】G03F7/00GK103676479SQ201310381387
【公开日】2014年3月26日 申请日期:2013年8月28日 优先权日:2012年8月30日
【发明者】中川刚志, 西川耕二 申请人:Jsr株式会社