铝线键合用显微镜调节结构的制作方法

文档序号:2706066阅读:1006来源:国知局
铝线键合用显微镜调节结构的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种铝线键合用显微镜调节结构,其中:包括至少一个调节结构,每一个所述调节结构包括定位销、限位装置及开设于显微镜调节部位上的位移孔,所述定位销一端外露于所述位移孔内,另一端为一连接片,所述连接片与所述限位装置之间设有间隙,所述限位装置包括至少一个弹簧插销,所述显微镜上设有与所述弹簧插销配合的定位插孔,所述弹簧插销一端与定位插孔滑动连接,另一端与所述连接片配合卡接。本实用新型通过使用弹簧插销进行观察位的锁定,省去反复调节的繁琐操作,提高了生产效率。
【专利说明】铝线键合用显微镜调节结构
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种半导体产品的引线键合设备,具体涉及一种铝线键合用显微镜调节结构,用于显微镜位置的调整,便于对键合操作的观测。
【背景技术】
[0002]引线键合是当前最重要的微电子封装技术之一,目前90%以上的芯片均采用这种技术进行封装。按照原理的不同,引线键合可以分为热压键合、超声键合和热压超声键合3种方式;根据键合点形状,又可分为球形键合和楔形键合。在功率器件及模块中,最常见的功率互连方法是引线键合法,大功率IGBT模块采用了超声引线键合法对IGBT芯片及FRD芯片进行互连。由于需要承载大电流,故采用楔形劈刀将粗铝线键合到芯片表面或衬板表面,这种方法也称超声楔键合。在机械能和键合力的共同作用下,在常温下利用超声机械振动带动将穿过劈刀的铝线与膜进行摩擦,使氧化膜破碎,纯净的金属表面相互接触,通过摩擦产生的热量使金属之间发生扩散,从而将铝丝引线分别键合在芯片焊盘和基板引脚上,实现芯片和基板电路的互连。具体的作业为:搜索到第一点的位置,对第一点进行键合,形成第一焊点;然后拉弧线形成线弧,再自动搜索第二点的位置,对第二点进行键合,形成第二焊点;此时如果还需拉弧线,则重复上述动作,否则进行切线,完成一根线的键合。
[0003]每一点的键合质量可通过目测法、推力测试法、拉力测试法、扫描电子显微镜扫描方法等来完成。其中目测法最为直接,键合机随机显微镜下观察键合点是否完全键合、颈部是否断裂、根部是否脱落等。若键合点的形状尺寸超出额定范围,一般情况下,
I.2D ^ W ^ 3. 0D, I. 5D ^ L ^ 5. 0D,W表示键合点宽度,L表示键合点长度,D表线径,那么应该检查键合功率是否合适或更换劈刀。
[0004]如上所述,在更换·劈刀工作时,需要频繁更换显微镜的观察点,观察点在劈刀位置与芯片夹具位置之间来回更换,而每更换一次观察点就要调节显微镜上六个调节点的位置,包括I、整个平台的平移,2、放大倍数调整,3、调整前后位置,4、移动物镜距离,5、改变观察垂直方向角度,6、调整水平方向角度,操作繁琐。除了更换劈刀时需要调整显微镜位置以外,在键合范围广的产品上,劈刀在芯片与基板之间移动,同样也需要调整显微镜的位置。因此,调整位置会花费较多时间,对作业经验要求高,严重影响工作效率,影响设备产出。

【发明内容】

[0005]本实用新型目的是提供一种铝线键合用显微镜调节结构,通过使用该结构,使显微镜的调节化繁为简,提高生产效率,降低人员作业要求。
[0006]为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种铝线键合用显微镜调节结构,包括至少一个调节结构,每一个所述调节结构包括定位销、限位装置及开设于显微镜调节部位上的位移孔,所述定位销一端外露于所述位移孔内,另一端为一连接片,所述连接片与所述限位装置之间设有间隙,所述限位装置包括至少一个弹簧插销,所述显微镜上设有与所述弹簧插销配合的定位插孔,所述弹簧插销一端与定位插孔滑动连接,另一端与所述连接片配合卡接。
[0007]在其中一实施例中,所述显微镜调节部位上包括两个所述调节结构,分别为焊头档调节结构和夹具档调节结构,其中,当所述焊头档调节结构中的弹簧插销与定位插孔插接配合时,所述显微镜的观察点位于焊头上,当所述夹具档调节结构中的弹簧插销与定位插孔插接配合时,所述显微镜的观察点位于夹具上。
[0008]进一步地,所述弹簧插销与所述定位插孔对应的一端设有斜向导角。
[0009]另一种实施例中,所述限位装置包括左、右两个弹簧插销以及左、右两个定位插孔,左、右定位插孔之间的距离与显微镜观察点的范围相适应。
[0010]进一步地,所述左、右弹簧插销与所述左、右定位插孔对应的一端上分别设有斜向导角,所述斜向导角的斜面方向相背布置。
[0011]由于上述技术方案运用,本实用新型与现有技术相比具有下列优点:本实用新型通过限位装置与定位销的配合使用,在显微镜更换观察点时,由定位销启动限位装置,在一个运动周期内,进入弹簧插销的区域,弹簧销落入定位插孔内后关闭限位装置,因此,观察员根据观察点的需求,对应按下相应定位销,移动定位销一个周期便能获得最佳视点,而无需反复调节,操作方便,省时省力,提高生产效率。
【专利附图】

【附图说明】
[0012]图1是本实用新型实施例一中限位结构的结构示意图;
[0013]图2是本实用新型实施例一安装于显微镜镜头调节部位处的结构示意图;
[0014]图3是本实用新型实施例一镜头调节部位处的剖视示意图。
[0015]其中:11、镜头;12、焊头档调节结构;13、夹具档调节结构;14、弹黃插销;15、定位插孔;16、定位销;17、位移孔;18、连接片;19、斜向导角。
【具体实施方式】
[0016]下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述:
[0017]实施例一:参见图1?3所示,一种铝线键合用显微镜调节结构,根据显微镜调节位置的不同,可将本实用新型的调节结构安装于各个调节部位处,实现定位调节,以便于观察点的更换,如从劈刀焊头更换到芯片夹具。
[0018]在本实施例中,以镜头11调节部位为例,以便实现镜头11离物镜的距离调整,适应多点观察时的镜头11距离调节。具体如图3所示,包括两个调节结构,分别为焊头档调节结构12和夹具档调节结构13,其中,当所述焊头档调节结构12中的弹簧插销14与定位插孔15插接配合时,所述显微镜的观察点位于焊头上,当所述夹具档调节结构13中的弹簧插销14与定位插孔15插接配合时,所述显微镜的观察点位于夹具上。
[0019]如图1所示,每一个所述调节结构包括定位销16、限位装置及开设于显微镜镜头11处的位移孔17,所述定位销16 —端外露于所述位移孔17内,另一端为一连接片18,所述连接片18与所述限位装置之间设有间隙,所述限位装置包括左、右两个弹簧插销14,所述显微镜上设有与所述弹簧插销14配合的左、右定位插孔15,所述弹簧插销14 一端与定位插孔15滑动连接,另一端在定位销16按动开启后与所述连接片18配合卡接,从而实现定位销16与限位装置的干涉,进入弹簧插销14的活动区域,即为最优化的区域或最优化的观察点。
[0020]如图3所示,焊头档调节结构12与夹具档调节结构13在左、右定位插孔15之间距离上不同,该距离与显微镜镜头11观察点的最优化范围相适应。为使弹簧插销14顺利滑落于定位插孔15内,所述左、右弹簧插销14与所述左、右定位插孔15对应的一端上分别设有斜向导角19,所述斜向导角19的斜面方向相背布置。
[0021]使用方法:在限位装置未开启时,定位销16可随意在位移孔17内移动,与限位装置无接触,即连接片18与弹簧插销14未卡接。在定位销16被向内按压后,限位装置被开启,定位销16在一个来回周期内进入弹簧插销14的区域,连接片18与弹簧插销14卡接,一旦进入便只能在弹簧插销14范围内运动,直到完全落入定位插孔15内,关闭限位装置。因此,观察员根据观察点的需求,对应按下相应定位销16,移动定位销16,直到无法移动,便为该观察位的最佳视点,而无需反复调节,省时省力。
[0022]综上所述实施例仅表达了本实用新型的集中实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是对于本领域的普通技术人员来说,在不拖累本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都是属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以权利要求为准。
【权利要求】
1.一种铝线键合用显微镜调节结构,其特征在于:包括至少一个调节结构,每一个所述调节结构包括定位销、限位装置及开设于显微镜调节部位上的位移孔,所述定位销一端外露于所述位移孔内,另一端为一连接片,所述连接片与所述限位装置之间设有间隙,所述限位装置包括至少一个弹簧插销,所述显微镜上设有与所述弹簧插销配合的定位插孔,所述弹簧插销一端与定位插孔滑动连接,另一端与所述连接片配合卡接。
2.根据权利要求1所述的铝线键合用显微镜调节结构,其特征在于:所述显微镜调节部位上包括两个所述调节结构,分别为焊头档调节结构和夹具档调节结构,其中,当所述焊头档调节结构中的弹簧插销与定位插孔插接配合时,所述显微镜的观察点位于焊头上,当所述夹具档调节结构中的弹簧插销与定位插孔插接配合时,所述显微镜的观察点位于夹具上。
3.根据权利要求1或2所述的铝线键合用显微镜调节结构,其特征在于:所述弹簧插销与所述定位插孔对应的一端设有斜向导角。
4.根据权利要求1或2所述的铝线键合用显微镜调节结构,其特征在于:所述限位装置包括左、右两个弹簧插销以及左、右两个定位插孔,左、右定位插孔之间的距离与显微镜观察点的范围相适应。
5.根据权利要求4所述的铝线键合用显微镜调节结构,其特征在于:所述左、右弹簧插销与所述左、右定位插孔对应的一端上分别设有斜向导角,所述斜向导角的斜面方向相背布置。
【文档编号】G02B21/24GK203405622SQ201320519858
【公开日】2014年1月22日 申请日期:2013年8月23日 优先权日:2013年8月23日
【发明者】吴建忠, 吴俊 , 刘晓明, 龚平, 杨文波, 魏元华 申请人:无锡华润安盛科技有限公司
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