软性光罩曝光用装置制造方法
【专利摘要】一种软性光罩曝光用装置，包括一本体、一升降机构、一基板载台及一光罩载台。该本体的内部形成一腔室。该升降机构设置于该本体的内部，该升降机构具有一动力装置。该基板载台连接于该动力装置，该基板载台用于放置基板。该光罩载台设置于该本体的顶部，该光罩载台设置有一透孔，该透孔用于放置软性光罩，通过负压或正压方式，使软性光罩下垂变形，以贴附于基板进行曝光操作。本实用新型可以提高操作的便利性，使得图型化基板的制作得以量产。
【专利说明】软性光罩曝光用装置
【技术领域】
[0001]本实用新型在于提供一种软性光罩曝光用装置，尤指一种应用于图型化基板配合软性光罩曝光用的夹具(治具)。
【背景技术】
[0002]一般在进行基板(芯片)加工时，为了能够在基板上设置出细小而复杂的电路结构，会以各种物理或化学的方式重复对基板表面进行堆积或蚀刻。而用来控制堆积或蚀刻区域的主要手段便是利用曝光显影的方式，先在基板表面设置具有微小电路图案的光阻层，接着在曝光步骤中将入射光通过一光罩而进行选择性的感光，进而将此光罩上的图案转移至光阻层上。
[0003]已知的光罩包含硬性光罩及软性光罩，软性光罩是以可挠性材料制成，可挠性佳，且具有优良的表面贴附性，可适用于图型化蓝宝石基板等的工艺。然而，现有技术中并没有一种较佳的软性光罩曝光的夹具使得图型化基板的制作难以量产。若是以人工方式操作，更是费工费时，且使良率大幅地降低。
[0004]综上所述，本发明人有感上述缺陷的可改善，乃特潜心研究并配合学理的应用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的实用新型。
实用新型内容
[0005]本实用新型所要解决的技术问题，在于提供一种软性光罩曝光用装置，可以提高操作的便利性，使得图型化基板的制作得以量产。
[0006]为了解决上述的技术问题，本实用新型提供一种软性光罩曝光用装置，软性光罩曝光用装置包括:一本体，该本体的内部形成一腔室；一升降机构，该升降机构设置于该本体的内部，该升降机构具有一动力装置；一基板载台，该基板载台连接于该动力装置，该基板载台用于放置基板；一光罩载台，该光罩载台设置于该本体的顶部，该光罩载台设置有一透孔，该透孔用于放置软性光罩，通过负压或正压方式，使该软性光罩下垂变形，以贴附于该基板进行曝光操作。
[0007]进一步地，该动力装置安装于一基座上，该本体的内侧固定有多个架体，该基座的四个角分别通过调整螺丝螺纹连接于架体。
[0008]进一步地，该基板载台包含一连接座及能更换地设置于该连接座上的一置放台，该连接座连接于该动力装置，该置放台为一负压吸盘。
[0009]进一步地，该连接座的顶部设置有一定位槽，该置放台放置入该定位槽中，该连接座设置有多个第一通孔，这些第一通孔贯穿至该定位槽，这些第一通孔的一端连接于一第三接头，该第三接头通过管路与一第二接头连接，该第二接头设置于该本体的侧壁上。
[0010]进一步地，该定位槽的相对的两边各形成有一第一定位边，第一定位边相互平行，该置放台的相对的两边各形成有一第二定位边，第二定位边相互平行，第一定位边与第二定位边相互抵触。[0011]进一步地，该置放台的顶面形成有一容置槽及多个沟槽，该置放台设置有多个第二通孔，第二通孔与沟槽相连通且贯穿至该置放台的底部，第二通孔与第一通孔相连通。
[0012]进一步地，该本体的顶部形成有一通口，该本体的一侧形成有一开口，该开口配合有一门体，该本体与该门体之间设置有门锁及密封垫。
[0013]进一步地，该本体的侧壁设置有用于对该腔室抽真空的第一接头。
[0014]进一步地，该光罩载台呈平板状，该光罩载台固定于该本体的顶部，该光罩载台与该本体之间设置有第一密封环。
[0015]进一步地，该透孔为一圆形孔，该透孔的内壁形成阶梯状的抵靠部，该软性光罩抵触于该抵靠部而定位。
[0016]进一步地，该软性光罩与该光罩载台之间设置有第二密封环。
[0017]进一步地，该软性光罩的上方设置有一压框，该压框压制于该软性光罩上。
[0018]进一步地，该光罩载台的上方设置有一罩体，该罩体设置有一上透孔，该上透孔中配合有一透光体，该罩体的内部形成一密闭空间，该罩体的内部输送正压。
[0019]进一步地，该罩体连接有用以输送正压至该罩体的内部的一第四接头。
[0020]本实用新型至少具有下列的优点: [0021]本实用新型可提供一种较佳的软性光罩曝光用的夹具，可以提高操作的便利性，使得图型化基板的制作得以量产。再者，本实用新型可利用负压或正压的方式使软性光罩微幅下垂变形，使基板与软性光罩接触时可以顺利地排除之间可能存在的空气，以提高产品的良率。
[0022]为使能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，然而所附图示仅提供参考与说明用，并非用来对本实用新型加以限制。
【专利附图】
【附图说明】
[0023]图1为本实用新型软性光罩曝光用装置第一实施例的立体分解图。
[0024]图2为本实用新型软性光罩曝光用装置第一实施例另一角度的立体分解图。
[0025]图3为本实用新型软性光罩曝光用装置第一实施例的立体剖视图。
[0026]图4为本实用新型软性光罩曝光用装置第一实施例的平面剖视图。
[0027]图5为本实用新型软性光罩曝光用装置第一实施例的立体组合图。
[0028]图6为本实用新型软性光罩曝光用装置第一实施例另一角度的立体组合图。
[0029]图7为本实用新型升降机构及基板载台第一实施例的立体图。
[0030]图8为本实用新型升降机构及基板载台第一实施例另一角度的立体图。
[0031]图9为本实用新型软性光罩曝光用装置第二实施例的立体分解图。
[0032]图10为本实用新型软性光罩曝光用装置第二实施例另一角度的立体分解图。
[0033]图11为本实用新型软性光罩曝光用装置第二实施例的平面剖视图。
[0034]【符号说明】
[0035]I 本体
[0036]11 腔室
[0037]12 开口
[0038]13 门体[0039]14 铰链
[0040]15 门锁
[0041]16密封垫
[0042]17 通口
[0043]18第一接头
[0044]19第二接头
[0045]2升降机构
[0046]21动力装置
[0047]22 基座
[0048]23 架体
[0049]24调整螺丝
[0050]3基板载台
[0051]31连接座
[0052]311定位槽
[0053]312第一定位边
[0054]313 第一通孔
[0055]314第三接头
[0056]32置放台
[0057]321第二定位边
[0058]322容置槽
[0059]323 沟槽
[0060]324 第二通孔
[0061]4光罩载台
[0062]41第一密封环
[0063]42 透孔
[0064]43抵靠部
[0065]44第二密封环
[0066]45 压框
[0067]5 罩体
[0068]51上透孔
[0069]52透光体
[0070]53第四接头
[0071]100 基板
[0072]200软性光罩
【具体实施方式】
[0073][第一实施例]
[0074]请参阅图1至图6，本实用新型提供一种软性光罩曝光用装置，包括一本体1、一升降机构2、一基板载台3及一光罩载台4。[0075]本体I为一中空体，可利用板体焊接等方式组成。本体I内部形成有一腔室11,本体I的一侧(前侧)可形成有一开口 12，该开口 12与腔室11相连通，以便经由该开口 12进料及出料。该开口 12可开启及关闭的配合有一门体13，该门体13以铰链14枢接于本体1，且该门体13相对于铰链14的一侧可设置有一门锁15，门锁15设置于本体I与门体13之间，可在门体13关闭时锁固，门锁15的型式及构造并不限制。本体I及门体13之间可设置有一密封垫16，可降低漏气的风险，以便于设备运作时本体I内部可抽真空(负压状态)。
[0076]本体I顶部形成有一通口 17，该通口 17可为一圆形孔或其他形状的孔洞，该通口17贯通本体I内部的腔室11与外部空间。本体I的侧壁另设置有一第一接头18及一第二接头19，第一接头18及第二接头19可与抽气装置连接，第一接头18可对腔室11抽真空，第二接头19则以管路连接于基板载台3，可以负压方式将基板吸住以固定。
[0077]升降机构2设置于本体I内部，升降机构2具有一动力装置21，该动力装置21连接于基板载台3，可用以驱动基板载台3上升及下降。动力装置21的构造及固定方式并不限制，动力装置21可为步进马达或伺服马达等，动力装置21适当地固定于本体I。在本实施例中，动力装置21安装于一基座22上，且在本体I的内侧固定有多个架体23，该基座22的四个角分别以调整螺丝24螺纹连接于这些架体23，藉以将动力装置21固定于本体I内部，且可利用调整螺丝24调整基板载台3的水平，使基板100及软性光罩200可获得较佳的平行度。
[0078]基板载台3可用以放置基板100 (如图型化蓝宝石基板等)，该基板载台3的构造并不限制。在本实施例中该基板载台3包含一连接座31及可更换地设置于连接座31上的一置放台32(请参阅图7及图8)，连接座31的底部连接于动力装置21，可利用该动力装置21驱动基板载台3的连接座31上升及下降。连接座31顶部设置有一定位槽311，定位槽311相对的两边各形成有一第一定位边312，两个第一定位边312相互平行。连接座31设置有多个第一通孔313，这些第一通孔313贯穿至定位槽311，且这些第一通孔313的一端连接于一第三接头314，该第三接头314可利用管路与第二接头19连接。
[0079]置放台32为一负压吸盘，置放台32可置入定位槽311中，且置放台32相对的两边各形成有一第二定位边321，两个第二定位边321相互平行，当置放台32置入定位槽311中时，两个第一定位边312与两个第二定位边321相互抵触，用以定位置放台32，使置放台32不会转动。置放台32的顶面(盘面)形成有一容置槽322，可用以容置及定位相对应的基板100。置放台32的顶面另设置有多个环状的沟槽323，这些沟槽323呈同心圆间隔地排列，置放台32另外设置有多个第二通孔324，这些第二通孔324与这些沟槽323相连通且贯穿至置放台32的底部，使这些第二通孔324可与这些第一通孔313相连通，以便通过第二接头19、第三接头314、这些第一通孔313、这些第二通孔324及这些沟槽323进行抽真空的操作，使放置于置放台32上的基板100可被负压吸附而固定。
[0080]光罩载台4设置于本体I顶部,可用以放置一软性光罩200,该光罩载台4的形状及构造并不限制。在本实施例中，该光罩载台4呈平板状，该光罩载台4可利用螺丝锁附等方式固定于本体I顶部，且在该光罩载台4与该本体I之间可设置有一第一密封环41,藉以增加气密性。该光罩载台4设置有一透孔42，该透孔42为一圆形孔，该透孔42的内壁形成阶梯状的抵靠部43。[0081]该软性光罩200优选但不限制为聚二甲基硅氧烷(PDMS)光罩，其尺寸可为2寸、4寸或6寸等，并不予以限制，该软性光罩200的外围可套设有一外框(未标示)。该软性光罩200可由上而下放置于光罩载台4的透孔42中，该软性光罩200可抵触于抵靠部43而定位。该软性光罩200与该光罩载台4之间可设置有一第二密封环44，藉以增加气密性。该软性光罩200的上方可设置有一压框45,该压框45可压制于软性光罩200上,且压框45可利用螺丝锁附等方式固定于光罩载台4上，藉以将软性光罩200固定于光罩载台4上。
[0082]当基板100放置于基板载台3的置放台32上，并且以负压吸附后，关上门体13，腔室11抽真空以形成负压，此时软性光罩200会因负压产生的吸力而微幅下垂凹陷变形。而后以升降机构2驱动基板载台3上升，让基板100接近软性光罩200，直至两者完全地贴合，该动作也可以反复多次。该动作为消泡动作，主要是为了避免在曝光时软性光罩200与基板100之间会有空气存在，影响曝光品质与良率。最后，利用曝光机进行曝光，在曝光步骤中将入射光通过软性光罩200进行选择性地感光，进而将该软性光罩200上的图案转移至基板100的光阻层上。曝光后以升降机构2驱动基板载台3下降，所有负压解除，门体13开启，即可取出基板100进入下个工艺。
[0083]本实施例主要利用本体I的腔室11形成负压，使软性光罩200上方的气压大于软性光罩200下方的气压，进而造成软性光罩200微幅下垂变形，以贴附该基板100进行曝光操作，使基板100与软性光罩200接触时可以顺利地排除之间可能存在的空气，以提高产品的良率。
[0084][第二实施例]
[0085]请参阅图9至图11，本实施例主要在光罩载台4的上方设置一罩体5，该罩体5设置有一上透孔51，上透孔51中配合有一透光体52，透光体52可为石英玻璃等透光率佳的材质。该罩体5紧密地罩设于光罩载台4的上方,使该罩体5内部形成一密闭空间。该罩体5连接有一第四接头53，可用以输送正压至该罩体5的内部(本实施例的腔室11不需抽真空形成负压)，使软性光罩200上方的气压大于软性光罩200下方的气压，同样可造成软性光罩200微幅下垂变形，使基板100与软性光罩200接触时可以顺利地排除之间可能存在的空气，以提闻广品的良率。
[0086]然而以上所述仅为本实用新型的优选实施例，非意欲局限本实用新型的专利保护范围，因此凡是运用本实用新型说明书及附图内容所做的等效变化，均同理皆包含于本实用新型的权利要求保护范围内，合予陈明。
【权利要求】
1.一种软性光罩曝光用装置，其特征在于，所述软性光罩曝光用装置包括: 一本体，所述本体的内部形成一腔室； 一升降机构，所述升降机构设置于所述本体的内部，所述升降机构具有一动力装置； 一基板载台，所述基板载台连接于所述动力装置，所述基板载台用于放置基板；以及 一光罩载台，所述光罩载台设置于所述本体的顶部，所述光罩载台设置有一透孔，所述透孔用于放置软性光罩，通过负压或正压的方式使所述软性光罩下垂变形，以贴附于所述基板进行曝光操作。
2.根据权利要求1所述的软性光罩曝光用装置，其特征在于，所述动力装置安装于一基座上，所述本体的内侧固定有多个架体，所述基座的四个角分别通过调整螺丝螺纹连接于所述架体。
3.根据权利要求1所述的软性光罩曝光用装置，其特征在于，所述基板载台包含一连接座及能更换地设置于所述连接座上的一置放台，所述连接座连接于所述动力装置，所述置放台为一负压吸盘。
4.根据权利要求3所述的软性光罩曝光用装置，其特征在于，所述连接座的顶部设置有一定位槽，所述置放台置入所述定位槽中，所述连接座设置有多个第一通孔，所述第一通孔贯穿至所述定位槽，所述第一通孔的一端连接于一第三接头，所述第三接头通过管路与一第二接头连接， 所述第二接头设置于所述本体的侧壁上。
5.根据权利要求4所述的软性光罩曝光用装置，其特征在于，所述定位槽的相对的两边各形成有一第一定位边，所述第一定位边相互平行，所述置放台的相对的两边各形成有一第二定位边，所述第二定位边相互平行，所述第一定位边与所述第二定位边相互抵触。
6.根据权利要求4所述的软性光罩曝光用装置，其特征在于，所述置放台的顶面形成有一容置槽及多个沟槽，所述置放台设置有多个第二通孔，所述第二通孔与所述沟槽相连通且贯穿至所述置放台的底部，所述第二通孔与所述第一通孔相连通。
7.根据权利要求1所述的软性光罩曝光用装置，其特征在于，所述本体的顶部形成有一通口，所述本体的一侧形成有一开口，所述开口配合有一门体，所述本体与所述门体之间设置有门锁及密封垫。
8.根据权利要求1所述的软性光罩曝光用装置，其特征在于，所述本体的侧壁设置有用于对所述腔室抽真空的第一接头。
9.根据权利要求1所述的软性光罩曝光用装置，其特征在于，所述光罩载台呈平板状，所述光罩载台固定于所述本体的顶部，所述光罩载台与所述本体之间设置有第一密封环。
10.根据权利要求1所述的软性光罩曝光用装置，其特征在于，所述透孔为一圆形孔，所述透孔的内壁形成阶梯状的抵靠部，所述软性光罩抵触于所述抵靠部而定位。
11.根据权利要求1所述的软性光罩曝光用装置，其特征在于，所述软性光罩与所述光罩载台之间设置有第二密封环。
12.根据权利要求1所述的软性光罩曝光用装置，其特征在于，所述软性光罩的上方设置有一压框，所述压框压制于所述软性光罩上。
13.根据权利要求1所述的软性光罩曝光用装置，其特征在于，所述光罩载台的上方设置有一罩体，所述罩体设置有一上透孔，所述上透孔中配合有一透光体，所述罩体的内部形成一密闭空间，所述罩体的内部输送正压。
14.根据权利要求13所述的软性光罩曝光用装置，其特征在于，所述罩体连接有用以输送正压至所述罩体的内部的一第四``接头。
【文档编号】G03F7/20GK203502736SQ201320605677
【公开日】2014年3月26日 申请日期:2013年9月27日 优先权日:2013年9月27日
【发明者】吴守满 申请人:迅得机械股份有限公司