一种匀胶机的光刻胶回收系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及光刻胶回收【技术领域】，公开了一种匀胶机的光刻胶回收系统，包括至少两个光刻胶喷嘴，与光刻胶喷嘴对应设置的旋转涂布杯罩，设于旋转涂布杯罩下侧的旋转涂布杯罩排液管，还包括与每个光刻胶喷嘴单独连通的光刻胶接漏壶下排管，与每个光刻胶接漏壶下排管单独连通的液体储存槽，以及设于旋转涂布杯罩排液管下端的管路匹配选择装置，所述管路匹配选择装置通过管道与液体储存槽连通，并且所述管路匹配选择装置还通过管道与光刻胶过滤器排泄管连通。本实用新型设置了与光刻胶喷嘴数量一致的液体储存槽，并采用管路匹配选择装置将不同光刻胶喷嘴所喷出的光刻胶单独的回收到相应的液体储存槽中，减少了光刻胶的浪费。
【专利说明】一种匀胶机的光刻胶回收系统
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及光刻胶回收【技术领域】，更具体地说，特别涉及一种匀胶机的光刻胶回收系统。
【背景技术】
[0002]在半导体光刻匀胶工艺中所使用的DNS80A匀胶机工艺机台装载有四种不同规格型号的光刻胶溶剂，但是此设备的光刻胶回收系统不能对多种型号的光刻胶进行单独回收。
[0003]如图1所示，现有的光刻胶回收系统主要包括以下三点:一、光刻胶喷嘴1'将光刻胶喷在晶圆片8'中心，晶圆片8'在旋转涂布杯罩3'中高速旋转产生离心力，将多余光刻胶甩掉由旋转涂布杯罩排液管4'导流进入涂布杯罩排液管5'流入液体储存槽7'，其中光刻胶喷嘴I,是通过光刻胶接漏壶下排管2'与液体储存槽7'连通的；二、为防止光刻胶因长时间不使用而凝结机器会做预喷胶动作，将光刻胶喷在光刻胶接漏壶中经光刻胶接漏壶 下排管2'流入液体储存槽7';三、光刻胶过滤器空气排泄时排出的光刻胶经过光刻胶过滤器空气排泄管6'流入液体储存槽7'。
[0004]由于光刻胶被誉为“液体黄金”，其价格昂贵并且在生产工艺中90%以上的液体都被排掉难以有效的回收利用，造成了极大的浪费。而现有的光刻胶回收系统也是共用同一路回收管路和储液槽，不能对多种不同型号光刻胶进行单独回收。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的在于提供一种可对多种不同型号的光刻胶进行单独回收的匀胶机的光刻胶回收系统。
[0006]为了解决以上提出的问题，本实用新型采用的技术方案为:一种匀胶机的光刻胶回收系统，包括至少两个光刻胶喷嘴，与光刻胶喷嘴对应设置的旋转涂布杯罩，设于旋转涂布杯罩下侧的旋转涂布杯罩排液管，还包括与每个光刻胶喷嘴单独连通的光刻胶接漏壶下排管，与每个光刻胶接漏壶下排管单独连通的液体储存槽，以及设于旋转涂布杯罩排液管下端的管路匹配选择装置，所述管路匹配选择装置通过管道与液体储存槽连通，并且所述管路匹配选择装置还通过管道与一光刻胶过滤器排泄管连通。
[0007]根据本实用新型的一优选实施例:所述管路匹配选择装置包括托盘，设于托盘上的至少两个涂布杯罩排液管，驱动所述托盘旋转的旋转动力装置，
[0008]以及驱动所述托盘上下移动的升降动力装置，所述涂布杯罩排液管的数量与光刻胶喷嘴的数量一致并且排列顺序一致。
[0009]根据本实用新型的一优选实施例:还包括固定板，所述旋转动力装置包括旋转动力源和皮带，所述旋转动力源和托盘固定安装于固定板上，所述旋转动力源的动力输出端通过皮带与托盘的轴连接；所述升降动力装置包括升降动力源，所述升降动力源的动力输出端与固定板固定连接。[0010]根据本实用新型的一优选实施例:所述旋转动力源为马达或旋转气缸或旋转油缸；所述升降动力源为升降气缸或升降油缸。
[0011]根据本实用新型的一优选实施例:所述光刻胶喷嘴、光刻胶接漏壶下排管、涂布杯罩排液管和液体储存槽的数量均为四个。
[0012]与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于:本实用新型设置了与光刻胶喷嘴数量一致的液体储存槽，并采用管路匹配选择装置将不同光刻胶喷嘴所喷出的光刻胶单独的回收到相应的液体储存槽中，减少了光刻胶的浪费。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1为现有技术中的匀胶机的光刻胶回收系统的结构示意图。
[0014]图2为本实用新型的匀胶机的光刻胶回收系统的结构示意图。
[0015]附图标记说明:1、光刻胶喷嘴，2、光刻胶接漏壶下排管，3、旋转涂布杯罩，4、旋转涂布杯罩排液管，5、涂布杯罩排液管,6、光刻胶过滤器空气排泄管,7、液体储存槽,8、晶圆片，9、托盘，10、皮带，11、固定板，12、旋转动力源，13、升降动力源，14、管路匹配选择装置。
【具体实施方式】
[0016]下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。
[0017]参阅图2所示，本实用新型提供一种匀胶机的光刻胶回收系统，包括至少两个光刻胶喷嘴1，与光刻胶喷嘴I对应设置的旋转涂布杯罩3，设于旋转涂布杯罩3下侧的旋转涂布杯罩排液管4，其还包括与每个光刻胶喷嘴I单独连通的光刻胶接漏壶下排管2，与每个光刻胶接漏壶下排管2单独连通的液体储存槽7，以及设于旋转涂布杯罩排液管4下端的管路匹配选择装置14，其中，所述的管路匹配选择装置14通过管道与液体储存槽7连通，并且所述的管路匹配选择装置14还通过管道与一光刻胶过滤器排泄管6连通。
[0018]具体的，本实用新型中的管路匹配选择装置14包括托盘9，设于托盘9上的至少两个涂布杯罩排液管5，驱动托盘9旋转的旋转动力装置，以及驱动托盘9上下移动的升降动力装置，并且，所述的涂布杯罩排液管5的数量与光刻胶喷嘴I的数量一致并且排列顺序一致，这样可通过旋转动力装置驱动托盘9旋转以使不同的涂布杯罩排液管5与旋转涂布杯罩排液管4匹配，再通过升降动力装置使两者对接，即可对不同的光刻胶喷嘴I所喷出来的光刻胶进行回收利用。
[0019]具体的，本实用新型中的管路匹配选择装置14还包括固定板11，而所述的旋转动力装置包括旋转动力源12和皮带10，旋转动力源12和托盘9固定安装于固定板11上，旋转动力源12的动力输出端通过皮带10与托盘9的轴连接；所述的升降动力装置包括升降动力源13，升降动力源13的动力输出端与固定板11固定连接，通过旋转动力源12和皮带10的驱动，可使托盘9旋转以实现不同的涂布杯罩排液管5与旋转涂布杯罩排液管4匹配，而通过升降动力源13可使两者实现对接。
[0020]作为优选，本实施例所选用的旋转动力源12为马达或旋转气缸或旋转油缸；所选用的升降动力源13为升降气缸或升降油缸。
[0021]作为优选，本实施例所选用的光刻胶喷嘴1、光刻胶接漏壶下排管2、涂布杯罩排液管5和液体储存槽7的数量均为四个。
[0022]通过将本实用新型的方案应用在DNS80A匀胶机中，可对四种不同规格型号的光刻胶进行单独回收，降低了产品的生产成本，减少了资源的浪费，同时降低了对环境的污染，增加了产品的竞争优势。
[0023]上述实施例为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种匀胶机的光刻胶回收系统，包括至少两个光刻胶喷嘴(I)，与光刻胶喷嘴(I)对应设置的旋转涂布杯罩(3)，设于旋转涂布杯罩(3)下侧的旋转涂布杯罩排液管(4)，其特征在于:还包括与每个光刻胶喷嘴(I)单独连通的光刻胶接漏壶下排管(2)，与每个光刻胶接漏壶下排管(2)单独连通的液体储存槽(7)，以及设于旋转涂布杯罩排液管(4)下端的管路匹配选择装置(14)，所述管路匹配选择装置(14)通过管道与液体储存槽(7)连通，并且所述管路匹配选择装置(14)还通过管道与一光刻胶过滤器排泄管(6)连通。
2.根据权利要求1所述的匀胶机的光刻胶回收系统，其特征在于:所述管路匹配选择装置(14)包括托盘(9)，设于托盘(9)上的至少两个涂布杯罩排液管(5)，驱动所述托盘(9)旋转的旋转动力装置，以及驱动所述托盘(9)上下移动的升降动力装置，所述涂布杯罩排液管(5)的数量与光刻胶喷嘴(I)的数量一致并且排列顺序一致。
3.根据权利要求2所述的匀胶机的光刻胶回收系统，其特征在于:还包括固定板(11)，所述旋转动力装置包括旋转动力源(12)和皮带(10)，所述旋转动力源(12)和托盘(9)固定安装于固定板(11)上，所述旋转动力源(12)的动力输出端通过皮带(10)与托盘(9)的轴连接；所述升降动力装置包括升降动力源(13)，所述升降动力源(13)的动力输出端与固定板(11)固定连接。
4.根据权利要求3所述的匀胶机的光刻胶回收系统，其特征在于:所述旋转动力源(12)为马达或旋转气缸或旋转油缸；所述升降动力源(13)为升降气缸或升降油缸。
5.根据权利要求2所述的匀胶机的光刻胶回收系统，其特征在于:所述光刻胶喷嘴(I)、光刻胶接漏壶下排管(2)、涂布杯罩排液管(5)和液体储存槽(7)的数量均为四个。
【文档编号】G03F7/16GK203745794SQ201420000753
【公开日】2014年7月30日 申请日期:2014年1月1日 优先权日:2014年1月1日
【发明者】刘庆超, 徐海波 申请人:长沙创芯集成电路有限公司