一种集成电路制备用光刻机的制作方法

本实用新型涉及光刻机技术领域，尤其涉及一种集成电路制备用光刻机。

背景技术：

光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。

一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。

目前现有的集成电路的制作板在关键烘干这一重要步骤上的做的还不够完善，在光刻前一般集成电路板都已经烘干过，但在运输过程中会暴露在空气中，尤其在恒温恒湿的电子车间内，往往会在集成电路板运输过程中积留湿度，有水分残留。

技术实现要素：

基于现有的集成电路板在恒湿车间运输过程中会沾上湿度的技术问题，本实用新型提出了一种集成电路制备用光刻机。

本实用新型提出的一种集成电路制备用光刻机，包括箱体，所述箱体的一端内底壁固定安装有光刻机，所述箱体的内侧壁通过轴承分别固定安装有第一转轴、第二转轴和第三转轴。

所述第一转轴的表面固定套接有传送装置，所述传送装置包括传送带，所述传送带的上表面等间距设置有集成电路板。

所述第二转轴的表面固定套接有槽轮机构，所述槽轮机构中的槽轮盘与第一转轴的表面固定套接，所述槽轮机构中的拨盘轴心与第二转轴的表面固定套接。

所述箱体的内顶壁滑动插接有烘干机，所述烘干机位于集成电路板的正上方，所述烘干机的两侧外表面均固定连接有齿条，所述第三转轴的表面固定套接有齿轮，所述齿轮的表面与齿条的表面啮合，所述箱体靠近槽轮机构中槽轮的内侧壁固定安装有光电对射开关。

优选地，所述传送装置还包括第二电机，所述第二电机的输出轴通过联轴器与第二转轴的一端固定连接，所述第二电机通过底座与箱体的外表面固定连接。

优选地，所述箱体的外表面通过底座固定安装有第三电机，所述第三电机的输出轴通过联轴器与第三转轴的一端固定连接，所述光电对射开关与第三电机电性连接。

优选地，所述传送带的上表面与光刻机的光刻台位于同一水平面上，所述传送带的一端与光刻机的光刻台对齐。

优选地，所述光电对射开关与槽轮机构中的槽轮槽对齐。

优选地，所述光电对射开关的型号为lx12-，所述第三电机的型号为ch/cv。

优选地，所述箱体的内侧壁均固定安装有限位开关，所述限位开关与第三电机电性连接。

本实用新型中的有益效果为：

1、通过设置第二转轴的表面固定套接有槽轮机构，达到了对集成电路板进行间歇式输送，再次间隔的时间内方便光刻机光刻。

2、通过设置箱体靠近槽轮机构中槽轮的内侧壁固定安装有光电对射开关，光电对射开关与第三电机电性连接，达到了对集成电路板进行光刻前的烘干，槽轮机构中的槽轮对光电对射开关射线进行间歇性遮挡，遮挡时，第三电机通过齿轮与齿条啮合带动烘干机向上滑动并通过限位开关限位，离开集成电路板，方便集成电路板传送光刻，当光电对射开关又重新射线照射到一起时，第三电机自动控制烘干机下滑烘干，从而解决了现有的集成电路板在恒湿车间运输过程中会沾上湿度的技术问题。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种集成电路制备用光刻机的示意图；

图2为本实用新型提出的一种集成电路制备用光刻机的槽轮结构正视图；

图3为本实用新型提出的一种集成电路制备用光刻机的箱体结构侧视图。

图中：1、箱体；2、光刻机；3、第一转轴；4、第二转轴；5、第三转轴；6、传送带；7、集成电路板；8、槽轮机构；9、烘干机；10、齿条；11、光电对射开关；12、齿轮；13、第二电机；14、第三电机；15、限位开关。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-3，一种集成电路制备用光刻机，包括箱体1，所述箱体1的一端内底壁固定安装有光刻机2，所述箱体1的内侧壁通过轴承分别固定安装有第一转轴3、第二转轴4和第三转轴5。

所述第一转轴3的表面固定套接有传送装置，所述传送装置包括传送带6，所述传送带6的上表面等间距设置有集成电路板7，传送带6的上表面与光刻机2的光刻台位于同一水平面上，所述传送带6的一端与光刻机2的光刻台对齐；

传送装置还包括第二电机13，所述第二电机13的输出轴通过联轴器与第二转轴4的一端固定连接，所述第二电机13通过底座与箱体1的外表面固定连接。

所述第二转轴4的表面固定套接有槽轮机构8，所述槽轮机构8中的槽轮盘与第一转轴3的表面固定套接，所述槽轮机构8中的拨盘轴心与第二转轴4的表面固定套接；

通过设置第二转轴4的表面固定套接有槽轮机构8，达到了对集成电路板7进行间歇式输送，再次间隔的时间内方便光刻机2光刻。

所述箱体1的内顶壁滑动插接有烘干机9，所述烘干机9位于集成电路板7的正上方，所述烘干机9的两侧外表面均固定连接有齿条10，所述第三转轴5的表面固定套接有齿轮12，所述齿轮12的表面与齿条10的表面啮合，所述箱体1靠近槽轮机构8中槽轮的内侧壁固定安装有光电对射开关11；

光电对射开关11与槽轮机构8中的槽轮槽对齐，光电对射开关11的型号为lx12-，所述第三电机14的型号为ch/cv；

箱体1的外表面通过底座固定安装有第三电机14，所述第三电机14的输出轴通过联轴器与第三转轴5的一端固定连接，所述光电对射开关11与第三电机14电性连接；

箱体1的内侧壁均固定安装有限位开关15，所述限位开关15与第三电机14电性连接；

通过设置箱体1靠近槽轮机构8中槽轮的内侧壁固定安装有光电对射开关11，光电对射开关11与第三电机14电性连接达到了对集成电路板7进行光刻前的烘干，槽轮机构8中的槽轮对光电对射开关11射线进行间歇性遮挡，遮挡时，第三电机14通过齿轮12与齿条10啮合带动烘干机9向上滑动并通过限位开关15限位，离开集成电路板7，方便集成电路板7传送光刻，当光电对射开关11又重新射线照射到一起时，第三电机14自动控制烘干机9下滑烘干，从而解决了现有的集成电路板在恒湿车间运输过程中会沾上湿度的技术问题。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种集成电路制备用光刻机，包括箱体(1)，所述箱体(1)的一端内底壁固定安装有光刻机(2)，其特征在于：所述箱体(1)的内侧壁通过轴承分别固定安装有第一转轴(3)、第二转轴(4)和第三转轴(5)；

所述第一转轴(3)的表面固定套接有传送装置，所述传送装置包括传送带(6)，所述传送带(6)的上表面等间距设置有集成电路板(7)；

所述第二转轴(4)的表面固定套接有槽轮机构(8)，所述槽轮机构(8)中的槽轮盘与第一转轴(3)的表面固定套接，所述槽轮机构(8)中的拨盘轴心与第二转轴(4)的表面固定套接；

所述箱体(1)的内顶壁滑动插接有烘干机(9)，所述烘干机(9)位于集成电路板(7)的正上方，所述烘干机(9)的两侧外表面均固定连接有齿条(10)，所述第三转轴(5)的表面固定套接有齿轮(12)，所述齿轮(12)的表面与齿条(10)的表面啮合，所述箱体(1)靠近槽轮机构(8)中槽轮的内侧壁固定安装有光电对射开关(11)。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路制备用光刻机，其特征在于：所述传送装置还包括第二电机(13)，所述第二电机(13)的输出轴通过联轴器与第二转轴(4)的一端固定连接，所述第二电机(13)通过底座与箱体(1)的外表面固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路制备用光刻机，其特征在于：所述箱体(1)的外表面通过底座固定安装有第三电机(14)，所述第三电机(14)的输出轴通过联轴器与第三转轴(5)的一端固定连接，所述光电对射开关(11)与第三电机(14)电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路制备用光刻机，其特征在于：所述传送带(6)的上表面与光刻机(2)的光刻台位于同一水平面上，所述传送带(6)的一端与光刻机(2)的光刻台对齐。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路制备用光刻机，其特征在于：所述光电对射开关(11)与槽轮机构(8)中的槽轮槽对齐。

6.根据权利要求3所述的一种集成电路制备用光刻机，其特征在于：所述光电对射开关(11)的型号为lx12-，所述第三电机(14)的型号为ch/cv。

7.根据权利要求3所述的一种集成电路制备用光刻机，其特征在于：所述箱体(1)的内侧壁均固定安装有限位开关(15)，所述限位开关(15)与第三电机(14)电性连接。

技术总结
本实用新型属于光刻机技术领域，尤其是一种集成电路制备用光刻机，包括箱体，所述箱体的一端内底壁固定安装有光刻机，所述所述箱体的内侧壁通过轴承分别固定安装有第一转轴、第二转轴和第三转轴，所述第一转轴的表面固定套接有传送装置。该集成电路制备用光刻机，达到了对集成电路板进行光刻前的烘干，槽轮机构中的槽轮对光电对射开关射线进行间歇性遮挡，遮挡时，第三电机通过齿轮与齿条啮合带动烘干机向上滑动并通过限位开关限位，离开集成电路板，方便集成电路板传送光刻，当光电对射开关又重新射线照射到一起时，第三电机自动控制烘干机下滑烘干，从而解决了现有的集成电路板在恒湿车间运输过程中会沾上湿度的技术问题。

技术研发人员：不公告发明人
受保护的技术使用者：陈广焕
技术研发日：2019.04.02
技术公布日：2020.04.24