一种LED制造用光罩板的制作方法

本实用新型属于光罩板技术领域，具体涉及一种led制造用光罩板。

背景技术：

众多的半导体制程中，黄光制程无疑占据着重要地位，甚至可以说黄光占据着前段制程周期中一半以上的时间。以发光二极管制程为例,黄光制程占约60％的时间，led制造用光罩板多用于黄光制造。

但是目前市场上的led制造用光罩板在使用的过程中仍然存在一定的缺陷，例如，使用led制造用光罩板时，由于led制造用光罩板表面光滑难以便于光罩板叠加运输，同时难以保证光罩板便于取用，影响了led制造用光罩板的使用效果，同时使用led制造用光罩板时，led制造用光罩板不便于取下晶圆曝光部，影响了led制造用光罩板使用的便捷性。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种led制造用光罩板，以解决上述背景技术中提出的使用led制造用光罩板时，由于led制造用光罩板表面光滑难以便于光罩板叠加运输，同时难以保证光罩板便于取用，以及led制造用光罩板不便于取下晶圆曝光部的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种led制造用光罩板，包括非晶圆曝光部，其特征在于：所述非晶圆曝光部的内侧开设有晶圆安装通槽，所述晶圆安装通槽的内侧连接有连接条，所述连接条的末端连接有晶圆曝光部，所述非晶圆曝光部的前侧设置有前侧荧光层，所述非晶圆曝光部的后侧与前侧荧光层的对应位置处设置有后标记层，所述前侧荧光层的外侧设置有前防震胶层，所述后标记层的外侧设置有后防震胶层，所述非晶圆曝光部的内侧开设有矩形取物槽，所述矩形取物槽共设置有两个，两个所述矩形取物槽分别位于前侧荧光层的两侧，所述晶圆曝光部的两侧贴设有不透光保护膜。

优选的，所述前侧荧光层设置为矩形框状涂层。

优选的，所述前防震胶层设置为透明胶层。

优选的，所述后防震胶层的外侧设置有防滑纹。

优选的，所述前防震胶层与后防震胶层的厚度相等。

优选的，所述不透光保护膜的外侧设置有静电保护膜。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)本实用新型非晶圆曝光部的前侧设置有前侧荧光层，前侧荧光层的外侧设置有前防震胶层，非晶圆曝光部的内侧开设有矩形取物槽，多块晶圆放置时，使用者可将晶圆叠加放置，一块晶圆的后防震胶层叠加到另一块的前防震胶层上，胶层之间以产生相互粘粘，使得晶圆叠加的更加牢固，便于运输，当使用者需要拿取晶圆时，可通过矩形取物槽拿取，解决了使用led制造用光罩板时，由于led制造用光罩板表面光滑难以便于光罩板叠加运输，同时难以保证光罩板便于取用，影响了led制造用光罩板的使用效果的问题。

(2)本实用新型晶圆安装通槽的内侧连接有连接条，使用者可通过剪断连接条，取下晶圆曝光部，便于使用者取用晶圆曝光部，解决了使用led制造用光罩板时，led制造用光罩板不便于取下晶圆曝光部，影响了led制造用光罩板使用的便捷性的问题

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的晶圆曝光部结构示意图；

图3是本实用新型的前防震胶层结构示意图。

图中：1-后防震胶层、2-非晶圆曝光部、3-矩形取物槽、4-晶圆安装通槽、5-连接条、6-晶圆曝光部、7-后标记层、8-前防震胶层、9-前侧荧光层、10-不透光保护膜、11-静电保护膜。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3所示，本实用新型提供一种技术方案：一种led制造用光罩板，包括非晶圆曝光部2，其特征在于：非晶圆曝光部2的内侧开设有晶圆安装通槽4，晶圆安装通槽4的内侧连接有连接条5，连接条5的末端连接有晶圆曝光部6，非晶圆曝光部2的前侧设置有前侧荧光层9，非晶圆曝光部2的后侧与前侧荧光层9的对应位置处设置有后标记层7，前侧荧光层9的外侧设置有前防震胶层8，后标记层7的外侧设置有后防震胶层1，非晶圆曝光部2的内侧开设有矩形取物槽3，矩形取物槽3共设置有两个，两个矩形取物槽3分别位于前侧荧光层9的两侧，晶圆曝光部6的两侧贴设有不透光保护膜10。

前侧荧光层9设置为矩形框状涂层。

前防震胶层8设置为透明胶层。

后防震胶层1的外侧设置有防滑纹。

前防震胶层8与后防震胶层1的厚度相等。

不透光保护膜10的外侧设置有静电保护膜11。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型在使用时，多块晶圆放置时，使用者可将晶圆叠加放置，一块晶圆的后防震胶层1叠加到另一块的前防震胶层8上，胶层之间以产生相互粘粘，使得晶圆叠加的更加牢固，便于运输，当使用者需要拿取晶圆时，可通过矩形取物槽3拿取，同时，使用者可通过剪断连接条5，取下晶圆曝光部6，便于使用者取用晶圆曝光部6。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个......限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种led制造用光罩板，包括非晶圆曝光部(2)，其特征在于：所述非晶圆曝光部(2)的内侧开设有晶圆安装通槽(4)，所述晶圆安装通槽(4)的内侧连接有连接条(5)，所述连接条(5)的末端连接有晶圆曝光部(6)，所述非晶圆曝光部(2)的前侧设置有前侧荧光层(9)，所述非晶圆曝光部(2)的后侧与前侧荧光层(9)的对应位置处设置有后标记层(7)，所述前侧荧光层(9)的外侧设置有前防震胶层(8)，所述后标记层(7)的外侧设置有后防震胶层(1)，所述非晶圆曝光部(2)的内侧开设有矩形取物槽(3)，所述矩形取物槽(3)共设置有两个，两个所述矩形取物槽(3)分别位于前侧荧光层(9)的两侧，所述晶圆曝光部(6)的两侧贴设有不透光保护膜(10)。

2.根据权利要求1所述的一种led制造用光罩板，其特征在于：所述前侧荧光层(9)设置为矩形框状涂层。

3.根据权利要求1所述的一种led制造用光罩板，其特征在于：所述前防震胶层(8)设置为透明胶层。

4.根据权利要求1所述的一种led制造用光罩板，其特征在于：所述后防震胶层(1)的外侧设置有防滑纹。

5.根据权利要求1所述的一种led制造用光罩板，其特征在于：所述前防震胶层(8)与后防震胶层(1)的厚度相等。

6.根据权利要求1所述的一种led制造用光罩板，其特征在于：所述不透光保护膜(10)的外侧设置有静电保护膜(11)。

技术总结
本实用新型公开了一种LED制造用光罩板，包括非晶圆曝光部，所述非晶圆曝光部的内侧开设有晶圆安装通槽，所述晶圆安装通槽的内侧连接有连接条，所述连接条的末端连接有晶圆曝光部，所述非晶圆曝光部的前侧设置有前侧荧光层，所述非晶圆曝光部的后侧设置有后标记层，所述前侧荧光层的外侧设置有前防震胶层，所述后标记层的外侧设置有后防震胶层，所述非晶圆曝光部的内侧开设有矩形取物槽，实用新型前侧荧光层的外侧设置有前防震胶层，可通过矩形取物槽拿取，解决了使用LED制造用光罩板时，由于LED制造用光罩板表面光滑难以便于光罩板叠加运输，同时难以保证光罩板便于取用，影响了LED制造用光罩板的使用效果的问题。

技术研发人员：李锦新
受保护的技术使用者：李锦新
技术研发日：2019.11.12
技术公布日：2020.07.03