一种掩模工艺强光灯罩的制作方法

本发明涉及灯罩技术领域，具体为一种掩模工艺强光灯罩。

背景技术：

掩模是半导体业、集成电路制作时所需的一种模具，可将掩模上的图形经过曝光制程复制于晶圆上。掩模厂根据客户设计的图形，将图形数据转化后，利用掩模曝光机在感光石英基材上进行曝光，经显影、蚀刻制程使其表面产生透光与不透光的极细微的逻辑图形。在掩模显影、湿法蚀刻、去胶、目检，通过增加强光灯罩子可以减少pacticle的掉落，避免产品二次返工，提高产品出货效率。

技术实现要素：

针对背景技术的不足，本发明提供了一种掩模工艺强光灯罩，解决了上述背景技术提出的问题。

本发明提供如下技术方案：一种掩模工艺强光灯罩，该强光灯罩是用于掩模制作工艺过程中目检掩模板的防护工具，该强光灯罩包括强光灯罩主体，该所述强光灯罩主体由灯罩顶部、第一挡帘与第二挡帘构成，所述灯罩顶部的一侧设置有第一t型卡扣与第二t型卡扣，且于第一挡帘的下端设置有与所述第一t型卡扣与第二t型卡扣适配的第三t型卡扣与第四t型卡扣，所述第一t型卡扣与第二t型卡扣分别活动连接于所述第三t型卡扣与第四t型卡扣上，所述灯罩顶部的前端安装有第五t型卡扣，所述第二挡帘的下端安装有与第五t型卡扣适配的第六t型卡扣，所述第二挡帘的中间位置开设有前部观察窗，所述第一挡帘的中间位置开设有侧部观察窗，所述灯罩顶部的中间位置安装有两个顶部卡扣。

优选的，该灯罩尺寸为长40cm*宽30cm*高50cm。

优选的，所述灯罩的主体框架为304不锈钢材质。

优选的，所述灯罩顶部是特氟龙材质，所述第一挡帘与第二挡帘是pu材质。

优选的，所述灯罩顶部中间开设有透气孔。

优选的，所述第二挡帘的数量为一面两个，且设置于所述强光灯罩主体的前后两侧。

本发明具备以下有益效果：该掩模工艺强光灯罩，在现有强光灯下加装一个隔离罩，可以大大减少产品在强光目检时，有pacticle掉落在掩模版或膜上，避免对产品进行二次返工，能有效提高产品出货效率，此装置简单易制作，方便可移动，操作简单且安全。

附图说明

图1为本发明整体结构示意图；

图2为本发明主视图；

图中：1、强光灯罩主体；2、灯罩顶部；3、第一挡帘；4、第二挡帘；5、侧部观察窗；6、前部观察窗；7、第一t型卡扣；8、第三t型卡扣；9、第二t型卡扣；10、第四t型卡扣；11、第五t型卡扣；12、第六t型卡扣；13、顶部卡扣。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例中的附图：图中不同种类的剖面线不是按照国标进行标注的，也不对元件的材料进行要求，是对图中元件的剖视图进行区分。

请参阅图1-2，一种掩模工艺强光灯罩，该强光灯罩是用于掩模制作工艺过程中目检掩模板的防护工具，该强光灯罩包括强光灯罩主体1，该所述强光灯罩主体1由灯罩顶部2、第一挡帘3与第二挡帘4构成，所述灯罩顶部2的一侧设置有第一t型卡扣7与第二t型卡扣9，且于第一挡帘3的下端设置有与所述第一t型卡扣7与第二t型卡扣9适配的第三t型卡扣8与第四t型卡扣10，所述第一t型卡扣7与第二t型卡扣9分别活动连接于所述第三t型卡扣8与第四t型卡扣10上，所述灯罩顶部2的前端安装有第五t型卡扣11，所述第二挡帘4的下端安装有与第五t型卡扣11适配的第六t型卡扣12，所述第二挡帘4的中间位置开设有前部观察窗6，所述第一挡帘3的中间位置开设有侧部观察窗5，所述灯罩顶部2的中间位置安装有两个顶部卡扣13。

该灯罩尺寸为长40cm*宽30cm*高50cm；灯罩的主体框架为304不锈钢材质；灯罩顶部2是特氟龙材质，所述第一挡帘3与第二挡帘4是pu材质；灯罩顶部2中间开设有透气孔；第二挡帘4的数量为一面两个，且设置于所述强光灯罩主体1的前后两侧。

该强光灯罩在使用时，先清洁操作桌面和灯罩，安装防护灯罩，把基板放到强光灯下；

如图1，把两个顶部卡扣13卡好，从第一挡帘3的侧部观察窗5进行操作基板，调整基板的角度，从如图2前部观察窗观看基板表面情况；

取出时，可把第一t型卡扣7、第三t型卡扣8、第二t型卡扣9、第四t型卡扣10、第五t型卡扣11、第六t型卡扣12上下扣好，从正面或侧面都取出基板；

该强光灯罩安装方便，操作简单，在目检时能有效防止人体与外围环境中的颗粒影响掩模板；

同时可以大大减少产品在强光目检时二次掉pacticle，避免产品二次返工，提高产品出货效率，此装置简单易制作，方便可移动，经济还实惠。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种掩模工艺强光灯罩，该强光灯罩是用于掩模制作工艺过程中目检掩模板的防护工具，该强光灯罩包括强光灯罩主体(1)，其特征在于：该所述强光灯罩主体(1)由灯罩顶部(2)、第一挡帘(3)与第二挡帘(4)构成，所述灯罩顶部(2)的一侧设置有第一t型卡扣(7)与第二t型卡扣(9)，且于第一挡帘(3)的下端设置有与所述第一t型卡扣(7)与第二t型卡扣(9)适配的第三t型卡扣(8)与第四t型卡扣(10)，所述第一t型卡扣(7)与第二t型卡扣(9)分别活动连接于所述第三t型卡扣(8)与第四t型卡扣(10)上，所述灯罩顶部(2)的前端安装有第五t型卡扣(11)，所述第二挡帘(4)的下端安装有与第五t型卡扣(11)适配的第六t型卡扣(12)，所述第二挡帘(4)的中间位置开设有前部观察窗(6)，所述第一挡帘(3)的中间位置开设有侧部观察窗(5)，所述灯罩顶部(2)的中间位置安装有两个顶部卡扣(13)。

2.根据权利要求1所述的一种掩模工艺强光灯罩，其特征在于：该灯罩尺寸为长40cm*宽30cm*高50cm。

3.根据权利要求1所述的一种掩模工艺强光灯罩，其特征在于：所述灯罩的主体框架为304不锈钢材质。

4.根据权利要求1所述的一种掩模工艺强光灯罩，其特征在于：所述灯罩顶部(2)是特氟龙材质，所述第一挡帘(3)与第二挡帘(4)是pu材质。

5.根据权利要求1所述的一种掩模工艺强光灯罩，其特征在于：所述灯罩顶部(2)中间开设有透气孔。

6.根据权利要求1所述的一种掩模工艺强光灯罩，其特征在于：所述第二挡帘(4)的数量为一面两个，且设置于所述强光灯罩主体(1)的前后两侧。

技术总结
本发明公开了一种掩模工艺强光灯罩，包括强光灯罩主体，该所述强光灯罩主体由灯罩顶部、第一挡帘与第二挡帘构成，所述灯罩顶部的一侧设置有第一T型卡扣与第二T型卡扣，且于第一挡帘的下端设置有与所述第一T型卡扣与第二T型卡扣适配的第三T型卡扣与第四T型卡扣，所述第一T型卡扣与第二T型卡扣分别活动连接于所述第三T型卡扣与第四T型卡扣上。该一种掩模工艺强光灯罩，在现有强光灯下加装一个隔离罩，可以大大减少产品在强光目检时，有pacticle掉落在掩模版或膜上，避免对产品进行二次返工，能有效提高产品出货效率，此装置简单易制作，方便可移动，操作简单且安全。

技术研发人员：韦庆宇;华卫群
受保护的技术使用者：无锡中微掩模电子有限公司
技术研发日：2020.06.28
技术公布日：2020.09.18