技术特征：
1.一种用于晶圆烘烤单元的盘盖结构，其特征在于：包括加热装置、进气排风安装帽(2)、盘盖进气管(3)、盘盖排风管(5)、上层盘盖(8)、下层盘盖(11)及导气稳流装置，其中下层盘盖(11)的上表面安装有导气稳流装置，所述上层盘盖(8)与下层盘盖(11)通过该导气稳流装置相连，并在上层盘盖(8)与下层盘盖(11)之间留有导气通道；所述进气排风安装帽(2)安装于上层盘盖(11)上，该进气排风安装帽(2)上分别开设有相互独立的排风孔(13)及进气通道(14)，所述排风孔(13)延伸至所述下层盘盖(11)的底部，所述进气通道(14)位于排风孔(13)的外围，该进气通道(14)与所述导气通道相连通，由所述进气通道(14)进入的气体通过导气稳流装置整流；所述上层盘盖(8)的上表面安装有加热装置，该加热装置对由所述进气通道(14)进入的气体进行加热；所述盘盖进气管(3)的一端与进气通道(14)相连通，另一端连接气源；所述盘盖排风管(5)的一端与排风孔(13)相连通，另一端连接风机。2.根据权利要求1所述用于晶圆烘烤单元的盘盖结构，其特征在于：所述导气稳流装置包括外圈环状孔板(9)及内圈环状孔板(10)，该外圈环状孔板(9)及内圈环状孔板(10)安装于所述下层盘盖(11)的上表面，并分别与所述上层盘盖(8)固接；所述外圈环状孔板(9)及内圈环状孔板(10)的侧壁分别沿圆周方向均匀开设有进气孔(19)。3.根据权利要求2所述用于晶圆烘烤单元的盘盖结构，其特征在于：所述外圈环状孔板(9)与内圈环状孔板(10)同心设置，且轴向中心线与所述上层盘盖(8)、下层盘盖(11)的轴向中心线共线。4.根据权利要求2所述用于晶圆烘烤单元的盘盖结构，其特征在于：所述外圈环状孔板(9)及内圈环状孔板(10)的上部分别沿圆周方向均匀开设有多个螺栓孔c(18)，所述上层盘盖(8)上开设有多个螺栓孔b(17)，所述上层盘盖(8)通过螺栓分别与外圈环状孔板(9)及内圈环状孔板(10)固接。5.根据权利要求1所述用于晶圆烘烤单元的盘盖结构，其特征在于：所述导气稳流装置为多个导流鳍(12)，各所述导流鳍(12)安装于所述下层盘盖(11)的上表面，并分别与所述上层盘盖(8)固接，相邻导流鳍(12)之间形成所述导气通道。6.根据权利要求5所述用于晶圆烘烤单元的盘盖结构，其特征在于：所述导流鳍(12)的延展方向与下层盘盖(11)的直径之间具有夹角，使进气气流呈旋转状态。7.根据权利要求5所述用于晶圆烘烤单元的盘盖结构，其特征在于：各所述导流鳍(12)上沿长度方向分别均匀开设有多个螺栓孔d(20)，所述上层盘盖(8)上开设有多个螺栓孔b(17)，所述上层盘盖(8)通过螺栓分别与各导流鳍(12)固接。8.根据权利要求1所述用于晶圆烘烤单元的盘盖结构，其特征在于：所述加热装置包括加热压板(1)及加热丝，该加热压板(1)安装于所述上层盘盖(8)上，所述加热压板(1)内部设有加热丝槽(21)，该加热丝槽(21)中容置有加热丝。9.根据权利要求1所述用于晶圆烘烤单元的盘盖结构，其特征在于：所述上层盘盖(8)上安装有温度传感器(6)。10.根据权利要求1所述用于晶圆烘烤单元的盘盖结构，其特征在于：所述加热装置上安装有过温保护器(4)。
技术总结
本发明涉及一种用于晶圆烘烤单元的盘盖结构，下层盘盖的上表面安装有导气稳流装置，上、下层盘盖通过导气稳流装置相连，并在上、下层盘盖之间留有导气通道；进气排风安装帽安装于上层盘盖上，进气排风安装帽上分别开设有相互独立的排风孔及进气通道，排风孔延伸至下层盘盖的底部，进气通道位于排风孔的外围，进气通道与导气通道相连通，由进气通道进入的气体通过导气稳流装置整流；上层盘盖的上表面安装有对由进气通道进入的气体进行加热的加热装置；盘盖进气管的一端与进气通道相连通，另一端连接气源；盘盖排风管的一端与排风孔相连通，另一端连接风机。本发明改善盘盖内的气流走向及进气温度预热，进而改善盘面的温度均匀性。性。性。
技术研发人员：王惠生 朴勇男 孙元斌
受保护的技术使用者：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
技术研发日：2020.11.27
技术公布日：2022/6/1