一种晶圆检测单镜头组件的制作方法

本发明涉及晶圆检测技术领域，具体为一种晶圆检测单镜头组件。

背景技术：

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅。

目前的晶圆检测用单镜头模组结构单一，使用便利性差，因此，有必要进行改进。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种晶圆检测单镜头组件，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种晶圆检测单镜头组件,包括安装座和连接座，所述安装座下端面开设安装孔，所述连接座通过装夹机构固定于安装孔内，所述连接座螺纹连接镜头套筒安装座，所述镜头套筒安装座上安装镜头套筒，所述镜头套筒上安装镜头，所述镜头一侧安装光源和喷吹装置。

优选的，

本技术：
提供的一种晶圆检测单镜头组件，其中，所述装夹机构包括第一装夹块、第二装夹块、第三装夹块和第四装夹块，所述第一装夹块与安装孔侧壁之间连接第一顶紧气缸，所述第二装夹块与安装孔侧壁之间连接第二顶紧气缸，所述第三装夹块与安装孔侧壁之间连接第三顶紧气缸，所述第四装夹块与安装孔侧壁之间连接第四顶紧气缸。

优选的，本申请提供的一种晶圆检测单镜头组件，其中，所述镜头从物方到像方依次包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、光阑、第五透镜以及第六透镜；第一透镜、第二透镜、第三透镜皆为负弯月型透镜；第四透镜为两面都是偶次非球面的负弯月型透镜；第五透镜为两面都是偶次非球面的正弯月型透镜；第六透镜为两面都是偶次非球面的双凹透镜。

优选的，本申请提供的一种晶圆检测单镜头组件，其中，所述喷吹装置包括连接管和喷吹管，所述喷吹管一端与镜头套筒侧壁连接并贯穿镜头套筒，所述喷吹管另一端与连接管一端连接，所述连接管另一端连接氮气源。

优选的，本申请提供的一种晶圆检测单镜头组件，其中，所述第一装夹块、第二装夹块、第三装夹块和第四装夹块均采用弧形结构，且装夹块内侧壁安装橡胶垫。

优选的，本申请提供的一种晶圆检测单镜头组件，其中，所述安装座一侧固定安装板，所述安装座上端面开设镜筒安装孔；所述安装座侧壁还安装信号插接孔。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明结构设计新颖，便于镜头的拆卸安装和保养，另外，采用的镜头有效的矫正了像差，大大的提高了成像质量，且具有较大的视场角，提高了晶圆检测精度；其中，本发明采用的装夹机构装夹效率高，稳定性好，能够提高镜头安装筒的拆装效率。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为本发明装夹机构结构示意图；

图3为本发明镜头结构示意图；

图中：安装座1、连接座2、安装孔3、镜头套筒安装座4、镜头套筒5、镜头6、光源7、第一装夹块8、第二装夹块9、第三装夹块10、第四装夹块11、第一顶紧气缸12、第二顶紧气缸13、第三顶紧气缸14、第四顶紧气缸15、第一透镜16、第二透镜17、第三透镜18、第四透镜19、光阑20、第五透镜21、第六透镜22、连接管23、喷吹管24、橡胶垫25。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

请参阅图1-3，本发明提供一种技术方案：一种晶圆检测单镜头组件,包括安装座1和连接座2，所述安装座1下端面开设安装孔3，安装座1一侧固定安装板26，所述安装座1上端面开设镜筒安装孔27；所述安装座1侧壁还安装信号插接孔28；所述连接座2通过装夹机构固定于安装孔3内，所述连接座2螺纹连接镜头套筒安装座4，所述镜头套筒安装座4上安装镜头套筒5，所述镜头套筒5上安装镜头6，所述镜头6一侧安装光源7和喷吹装置；喷吹装置包括连接管23和喷吹管24，所述喷吹管24一端与镜头套筒5侧壁连接并贯穿镜头套筒5，所述喷吹管24另一端与连接管23一端连接，所述连接管23另一端连接氮气源，喷吹装置的设置，能够快速清除附着在镜头表面的灰尘。

本发明中，装夹机构包括第一装夹块8、第二装夹块9、第三装夹块10和第四装夹块11，所述第一装夹块8与安装孔3侧壁之间连接第一顶紧气缸12，所述第二装夹块9与安装孔3侧壁之间连接第二顶紧气缸13，所述第三装夹块10与安装孔3侧壁之间连接第三顶紧气缸14，所述第四装夹块11与安装孔3侧壁之间连接第四顶紧气缸15；第一装夹块8、第二装夹块9、第三装夹块10和第四装夹块11均采用弧形结构，且装夹块内侧壁安装橡胶垫25。

此外，本发明中，镜头6从物方到像方依次包括第一透镜16、第二透镜17、第三透镜18、第四透镜19、光阑20、第五透镜21以及第六透镜22；第一透镜16、第二透镜17、第三透镜18皆为负弯月型透镜；第四透镜19为两面都是偶次非球面的负弯月型透镜；第五透镜21为两面都是偶次非球面的正弯月型透镜；第六透镜22为两面都是偶次非球面的双凹透镜。

综上所述，本发明结构设计新颖，便于镜头的拆卸安装和保养，另外，采用的镜头有效的矫正了像差，大大的提高了成像质量，且具有较大的视场角，提高了晶圆检测精度；其中，本发明采用的装夹机构装夹效率高，稳定性好，能够提高镜头安装筒的拆装效率。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

技术特征：

1.一种晶圆检测单镜头组件,包括安装座（1）和连接座（2），其特征在于：所述安装座（1）下端面开设安装孔（3），所述连接座（2）通过装夹机构固定于安装孔（3）内，所述连接座（2）螺纹连接镜头套筒安装座（4），所述镜头套筒安装座（4）上安装镜头套筒（5），所述镜头套筒（5）上安装镜头（6），所述镜头（6）一侧安装光源（7）和喷吹装置。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测单镜头组件，其特征在于：所述装夹机构包括第一装夹块（8）、第二装夹块（9）、第三装夹块（10）和第四装夹块（11），所述第一装夹块（8）与安装孔（3）侧壁之间连接第一顶紧气缸（12），所述第二装夹块（9）与安装孔（3）侧壁之间连接第二顶紧气缸（13），所述第三装夹块（10）与安装孔（3）侧壁之间连接第三顶紧气缸（14），所述第四装夹块（11）与安装孔（3）侧壁之间连接第四顶紧气缸（15）。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆检测单镜头组件，其特征在于：所述镜头（6）从物方到像方依次包括第一透镜（16）、第二透镜（17）、第三透镜（18）、第四透镜（19）、光阑（20）、第五透镜（21）以及第六透镜（22）；第一透镜（16）、第二透镜（17）、第三透镜（18）皆为负弯月型透镜；第四透镜（19）为两面都是偶次非球面的负弯月型透镜；第五透镜（21）为两面都是偶次非球面的正弯月型透镜；第六透镜（22）为两面都是偶次非球面的双凹透镜。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆检测单镜头组件，其特征在于：所述喷吹装置包括连接管（23）和喷吹管（24），所述喷吹管（24）一端与镜头套筒（5）侧壁连接并贯穿镜头套筒（5），所述喷吹管（24）另一端与连接管（23）一端连接，所述连接管（23）另一端连接氮气源。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆检测单镜头组件，其特征在于：所述第一装夹块（8）、第二装夹块（9）、第三装夹块（10）和第四装夹块（11）均采用弧形结构，且装夹块内侧壁安装橡胶垫（25）。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆检测单镜头组件，其特征在于：所述安装座（1）一侧固定安装板（26），所述安装座（1）上端面开设镜筒安装孔（27）；所述安装座（1）侧壁还安装信号插接孔（28）。

技术总结
本发明公开了一种晶圆检测单镜头组件，包括安装座和连接座，安装座下端面开设安装孔，连接座通过装夹机构固定于安装孔内，连接座螺纹连接镜头套筒安装座，镜头套筒安装座上安装镜头套筒，镜头套筒上安装镜头，镜头一侧安装光源和喷吹装置，本发明结构设计新颖，便于镜头的拆卸安装和保养，另外，采用的镜头有效的矫正了像差，大大的提高了成像质量，且具有较大的视场角，提高了晶圆检测精度。

技术研发人员：梅力;胡冬云
受保护的技术使用者：江苏卓玉智能科技有限公司
技术研发日：2020.12.15
技术公布日：2021.03.16