一种吹吸气一体式气浮平台的制作方法

文档序号:26978083发布日期:2021-10-16 11:00阅读:55来源:国知局
一种吹吸气一体式气浮平台的制作方法

1.本实用新型涉及吸气平台技术领域,具体涉及一种吹吸气一体式气浮平台。


背景技术:

2.目前直写式激光曝光机吸气平台吸气区域一般为固定尺寸区域,无法实现随着pcb板尺寸大小改变吸气区域大小,当pcb板尺寸比吸气区域小时,就会有漏气现场存在,导致pcb板吸附不牢固,提高了曝光的不良率,为缓解此问题带来的来影响,一般会用塑料挡片,手工堵住漏气区域,但这样费时费力,降低了生产效率。


技术实现要素:

3.本实用新型提出的一种吹吸气一体式气浮平台,可解决上述技术问题。
4.为实现上述目的,本实用新型采用了以下技术方案:
5.一种吹吸气一体式气浮平台,包括平台底板,所述平台底板上设置吹气槽,吹气槽与气管连通;
6.吹气槽的一端设置活塞板和丝杆,活塞板可沿丝杆移动进而改变吹气槽的体积大小。
7.进一步的,丝杆的两端设有丝杆座,用于支撑丝杆,丝杆进行旋转运动,进而带动活塞板滑动。
8.进一步的,所述平台底板上设有旋转轴,旋转轴上设有锥齿轮b,用于和丝杆端部的锥齿轮a进行啮合。
9.进一步的,所述旋转轴端部还设有摇杆,手动摇动摇杆进而带动旋转轴进行旋转。
10.进一步的,所述吹气槽设置n个,n为大于1的自然数;
11.每个吹气槽内分别连通一个气管;
12.每个吹气槽的一端分别设置活塞板和丝杆。
13.进一步的,每个气管分连接一个电磁阀,电磁阀固定在平台底板上,达到单独控制不同的吹气槽区域进行吹气、吸气的目的。
14.进一步的,平台底板上设有吸盘垫,吸盘垫上设有吸气的致密孔,吸盘垫起到了密封和承载pcb板的作用。
15.由上述技术方案可知,本实用新型的一种吹吸气一体式气浮平台提供了一款吹、吸气一体式的,并可随pcb板尺寸大小手动调节吹、吸气区域的智能化平台,生产效率高。
16.本实用新型的吹吸气一体式气浮平台,无需进行手动堵住漏气区域,效率高;pcb板能进行牢固的吸附,提高良率;能自适应不同的板子尺寸,自动化程度高。
附图说明
17.图1是本实用新型的整体结构示意图;
18.图2是本实用新型的内部结构示意图。
具体实施方式
19.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
20.如图1和图2所示,本实施例所述的吹吸气一体式气浮平台,包括平台底板3,所述平台底板3上设置吹气槽,吹气槽与气管11连通;
21.吹气槽的一端设置活塞板2和丝杆7,活塞板2可沿丝杆7移动进而改变吹气槽的体积大小,进而改变吹气、吸气区域大小。活塞板2和平台底板3上的吹气槽位紧密配合,漏气量很小。
22.具体的说,
23.丝杆7的两端设有丝杆座5,用于支撑丝杆7,丝杆7进行旋转运动,进而带动活塞板2滑动;所述平台底板3上设有旋转轴10,旋转轴10上设有锥齿轮b9,用于和丝杆7端部的锥齿轮a6进行啮合。
24.所述旋转轴10端部还设有摇杆8,手动摇动摇杆8进而带动旋转轴10进行旋转,设置手动摇杆8,方便操作,也好控制。
25.本实施例的所述吹气槽设置多个,比如n个,n为大于1的自然数;每个吹气槽内分别连通一个气管11;每个吹气槽的一端分别设置活塞板2和丝杆7。
26.每个气管11分连接一个电磁阀4,电磁阀4固定在平台底板3上,达到单独控制不同的吹气槽区域进行吹气、吸气的目的。即平台底板3的各个吹气槽位之间是互不通气的,可通过电磁阀4单独控制各个槽位吹、吸气。
27.电磁阀4和气管11连接,气管11分布在不同的吹、吸气区域内,气管11在各自区域内布置均匀,实现吹吸气能够均匀化,特别是吸盘的四周和中部气体要均匀。
28.平台底板3上设有吸盘垫1,吸盘垫1上设有吸气的致密孔,吸盘垫1起到了密封和承载pcb板的作用。
29.具体工作过程如下:
30.根据实际的pcb板的长宽高尺寸,手动摇动摇杆8进行旋转,带动旋转轴10进行旋转,旋转轴10通过锥齿轮b9带动丝杆7进行旋转,丝杆7带动活塞2进行左右滑动,当活塞2移动到适合pcb板尺寸的位置时,停止旋转摇杆8,从而实现左右方向适应pcb板的尺寸。前后方向是通过电磁阀4分区控制实现自适应pcb板的尺寸。
31.综上,本实用新型的一种吹吸气一体式气浮平台提供了一款吹、吸气一体式的,并可随pcb板尺寸大小手动调节吹、吸气区域的智能化平台,生产效率高。
32.以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。


技术特征:
1.一种吹吸气一体式气浮平台,包括平台底板(3),其特征在于,所述平台底板(3)上设置吹气槽,吹气槽与气管(11)连通;吹气槽的一端设置活塞板(2)和丝杆(7),活塞板(2)可沿丝杆(7)移动进而改变吹气槽的体积大小。2.根据权利要求1所述的吹吸气一体式气浮平台,其特征在于:丝杆(7)的两端设有丝杆座(5),用于支撑丝杆(7),丝杆(7)进行旋转运动,进而带动活塞板(2)滑动。3.根据权利要求2所述的吹吸气一体式气浮平台,其特征在于:所述平台底板(3)上设有旋转轴(10),旋转轴(10)上设有锥齿轮b(9),用于和丝杆(7)端部的锥齿轮a(6)进行啮合。4.根据权利要求3所述的吹吸气一体式气浮平台,其特征在于:所述旋转轴(10)端部还设有摇杆(8),手动摇动摇杆(8)进而带动旋转轴(10)进行旋转。5.根据权利要求4所述的吹吸气一体式气浮平台,其特征在于:所述吹气槽设置n个,n为大于1的自然数;每个吹气槽内分别连通一个气管(11);每个吹气槽的一端分别设置活塞板(2)和丝杆(7)。6.根据权利要求4所述的吹吸气一体式气浮平台,其特征在于:每个气管(11)分连接一个电磁阀(4),电磁阀(4)固定在平台底板(3)上,达到单独控制不同的吹气槽区域进行吹气、吸气的目的。7.根据权利要求4所述的吹吸气一体式气浮平台,其特征在于:平台底板(3)上设有吸盘垫(1),吸盘垫(1)上设有吸气的致密孔,吸盘垫(1)起到了密封和承载pcb板的作用。

技术总结
本实用新型的一种吹吸气一体式气浮平台,包括平台底板,所述平台底板上设置吹气槽,吹气槽与气管连通;吹气槽的一端设置活塞板和丝杆,活塞板可沿丝杆移动进而改变吹气槽的体积大小。本实用新型的吹吸气一体式气浮平台,无需进行手动堵住漏气区域,效率高;PCB板能进行牢固的吸附,提高良率;能自适应不同的板子尺寸,自动化程度高。自动化程度高。自动化程度高。


技术研发人员:徐海东 俞庆平
受保护的技术使用者:安徽地势坤光电科技有限公司
技术研发日:2021.04.23
技术公布日:2021/10/15
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