一种角度可调节的LDI镜头系统的制作方法

本技术涉及ldi镜头的，尤其涉及一种角度可调节的ldi镜头系统。

背景技术：

1、在半导体、pcb等相关行业的制程中，倾斜直写曝光机负责的图形转移制程是最为关键的步骤之一。光学成像镜头是直写曝光机的核心组件之一，光学成像镜头对直写曝光机最终的成像效果起着决定性的作用。

2、dmd(digitalmicromirrordevice)是倾斜直写曝光机中使用的器件，激光经过反光镜单元反射到dmd单元中，再经过dmd的反射后穿过光学成像镜头在基板上曝光形成系统中图形文件的图案。

3、dmd单元安装时需要与光写成像镜头平行，这样才能在曝光的时候图形不发生畸变。

4、因此，ldi镜头系统中dmd角度是一个至关重要的参数，现实运用中，都是通过法兰来调节镜筒和倍率调整件之间转动的角度，从而ldi镜头系统的角度，但是这也只能实现一个粗调，怎么更好的调节ldi镜头中dmd的角度是急需解决的技术问题。

技术实现思路

1、为更好的调节ldi镜头中dmd的角度，为此，本实用新型提出了一种角度可调节的ldi镜头系统，具体方案如下：

2、一种角度可调节的ldi镜头系统，包括反光镜单元、设置在反光镜单元上方的dmd单元，所述dmd单元和或反光镜单元上对应位置上设置有超过固定件直径的安装孔，所述dmd单元和反光镜单元侧面设置有侧板，所述侧板固定在反光镜单元外壳的侧面上，所述侧板与dmd单元之间设置有长度可调的顶升组件，所述顶升组件至少包括两个顶升部，沿着dmd单元中安装板的宽度方向设置。

3、具体地说，所述反光镜单元下方依次设置有镜筒和倍率调节单元，所述镜筒上端与反光镜单元底部固定连接，所述镜筒和倍率调节单元通过法兰连接。

4、具体地说，所述反光镜单元的侧面还设置有照明单元。

5、具体地说，所述dmd单元包括电路板组件、固定组件；

6、所述电路板组件包括dmd电路板、asm电路板，所述asm电路板设置在dmd电路板下方；

7、所述固定组件包括从上到下依次设置的锁紧压板、芯片垫、asm限位件、安装板；所述锁紧压板通过芯片垫固定在dmd电路板上板面；所述asm限位件固定在dmd电路板下方的asm限位件和安装板之间，所述锁紧压板、芯片垫、dmd电路板、asm限位件、安装板上相对位置均设置有固定孔。

8、具体地说，所述asm限位件和安装板相对面上均开设有限位槽，所述asm电路板限制于限位槽内。

9、具体地说，所述dmd单元还包括散热组件，所述散热组件包括芯片散热块，所述芯片散热块的下方依次穿过锁紧压板、芯片垫、dmd电路板、asm限位件，下端面与asm电路板上表面接触。

10、具体地说，所述芯片散热块侧面设置有耳板，所述固定组件还包括设置在锁紧压板上的芯片压板，所述芯片压板通过紧压耳板将芯片散热块上端部固定在锁紧压块上。

11、具体地说，所述散热组件还包括芯片水冷块，所述芯片水冷块设置在芯片散热块的上方。

12、具体地说，所述反光镜单元上的壳体侧面开设有检测孔，在检测孔上通过设置反光镜封板密封。

13、本实用新型的有益效果在于：

14、(1)本申请通过增加顶升组件中的顶升部来调节dmd单元的角度的方案，从而更好的实现dmd单元角度调节。

15、(2)芯片散热块和芯片水冷块的组合使用，可以更好的实现dmd单元的降温。

技术特征：

1.一种角度可调节的ldi镜头系统，其特征在于，包括反光镜单元(2)、设置在反光镜单元(2)上方的dmd单元，所述dmd单元和或反光镜单元(2)上对应位置上设置有超过固定件直径的安装孔，所述dmd单元和反光镜单元(2)侧面设置有侧板(3)，所述侧板(3)固定在反光镜单元(2)外壳的侧面上，所述侧板(3)与dmd单元之间设置有长度可调的顶升组件，所述顶升组件至少包括两个顶升部，沿着dmd单元中安装板(125)的宽度方向设置。

2.根据权利要求1所述的一种角度可调节的ldi镜头系统，其特征在于，所述反光镜单元(2)下方依次设置有镜筒(5)和倍率调节单元(6)，所述镜筒(5)上端与反光镜单元(2)底部固定连接，所述镜筒(5)和倍率调节单元(6)通过法兰(8)连接。

3.根据权利要求1所述的一种角度可调节的ldi镜头系统，其特征在于，所述反光镜单元(2)的侧面还设置有照明单元(7)。

4.根据权利要求1所述的一种角度可调节的ldi镜头系统，其特征在于，所述dmd单元包括电路板组件、固定组件；

5.根据权利要求4所述的一种角度可调节的ldi镜头系统，其特征在于，所述asm限位件(124)和安装板(125)相对面上均开设有限位槽，所述asm电路板(102)限制于限位槽内。

6.根据权利要求4所述的一种角度可调节的ldi镜头系统，其特征在于，所述dmd单元还包括散热组件，所述散热组件包括芯片散热块(112)，所述芯片散热块(112)的下方依次穿过锁紧压板(122)、芯片垫(123)、dmd电路板(101)、asm限位件(124)，下端面与asm电路板(102)上表面接触。

7.根据权利要求6所述的一种角度可调节的ldi镜头系统，其特征在于，所述芯片散热块(112)侧面设置有耳板(1121)，所述固定组件还包括设置在锁紧压板(122)上的芯片压板(121)，所述芯片压板(121)通过紧压耳板(1121)将芯片散热块(112)上端部固定在锁紧压块上。

8.根据权利要求6所述的一种角度可调节的ldi镜头系统，其特征在于，所述散热组件还包括芯片水冷块(111)，所述芯片水冷块(111)设置在芯片散热块(112)的上方。

9.根据权利要求1所述的一种角度可调节的ldi镜头系统，其特征在于，所述反光镜单元(2)上的壳体侧面开设有检测孔，在检测孔上通过设置反光镜封板(21)密封。

技术总结
一种角度可调节的LDI镜头系统，包括反光镜单元、设置在反光镜单元上方的DMD单元，所述DMD单元和或反光镜单元上对应位置上设置有超过固定件直径的安装孔，所述DMD单元和反光镜单元侧面设置有侧板，所述侧板固定在反光镜单元外壳的侧面上，所述侧板与DMD单元之间设置有长度可调的顶升组件，所述顶升组件至少包括两个顶升部，沿着DMD单元中安装板的宽度方向设置。本申请通过增加顶升组件中的顶升部来调节DMD单元的角度的方案，从而更好的实现DMD单元角度调节。

技术研发人员：陈修涛,高明,董辉,韩非
受保护的技术使用者：合肥众群光电科技有限公司
技术研发日：20211025
技术公布日：2024/1/12