一种纳米压印设备自动定位装置的制作方法

1.本实用新型涉及纳米压印技术领域，尤其涉及一种纳米压印设备自动定位装置。


背景技术：

2.随着光学领域的快速发展，纳米压印技术得到广泛应用并逐步产业化，要想实现精准的转印，需要对基片进行精确对位。以往的定位方式是靠人工手动定位，这种方式会存在误差，从而降低产能。为提高产品良率和生产效率，因此需要对基片定位方式提出进行改进。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于克服以上技术缺陷，提出一种纳米压印设备自动定位装置。
4.本实用新型为实现其技术目的所采取的技术方案是：一种纳米压印设备自动定位装置，包括压印台盘，在所述压印台盘上设有定位平台，在所述定位平台上设有滑动轨道，在所述滑动轨道内设有定位杆，所述定位杆上设有滑块，所述滑块能够带动所述定位杆在所述滑动轨道内滑动；
5.所述定位杆一端伸向所述压印台盘中央，并且该端设有定位夹，另一端伸向所述压印台盘外沿，在所述压印台盘上、所述定位杆外沿端外侧，还设有伸缩杆。
6.优选的，所述定位杆包括三套，
7.优选的，所述定位杆在所述压印台盘上呈圆周排列，并且相邻定位杆之间夹角为120度。
8.优选的，在所述定位杆向所述压印台盘中央的延伸端，设有喇叭口形状定位夹。
9.优选的，在所述定位杆向所述压印台盘外沿的延伸端外侧，均设有伸缩杆。
10.优选的，所述伸缩杆包括与所述所述定位杆相对应的三套。
11.本实用新型的有益效果是：该装置通过三点确定位置的方式，对4-12寸的基片进行精准定位。实现自动精准定位，避免人工操作的误差，使得生产进行的加顺利。
附图说明
12.图1为本实用新型整体俯视图；
13.图2为本实用新型整体立体示意图；
14.图3为滑动轨道、滑块、定位杆组合状态示意图；
15.图4为滑动轨道与滑块结构示意图；
16.图5为定位杆结构示意图。
17.图中标记为：1、压印台盘；2、定位平台；3、滑动轨道；4、定位杆；41、喇叭口形状定位夹；5、滑块；6、定位夹；7、伸缩杆；8、基片；9、顶针。
具体实施方式
18.下面结合附图实施例对本实用新型做进一步说明。
19.实施例一
20.如图1-5所示：
21.一种纳米压印设备自动定位装置，包括压印台盘1，在所述压印台盘1上设有定位平台2，在所述定位平台2上设有滑动轨道3，在所述滑动轨道3内设有定位杆4，所述定位杆4上设有滑块5，所述滑块5能够带动所述定位杆4在所述滑动轨道3内滑动；
22.所述定位杆4一端伸向所述压印台盘1中央，并且该端设有定位夹6，另一端伸向所述压印台盘1外沿，在所述压印台盘1上、所述定位杆4外沿端外侧，还设有伸缩杆7。
23.所述定位杆4包括三套，在所述压印台盘1上间隔排列，并且相邻定位杆之间夹角为120度。
24.在所述定位杆4向所述压印台盘1中央的延伸端，设有喇叭口形状定位夹41。
25.在所述定位杆4向所述压印台盘1外沿的延伸端外侧，均设有伸缩杆7，所述伸缩杆7也包括三套。
26.本实用新型的工作原理及工作过程如下：
27.本实用新型所述定位装置，在压印台盘1上装有三个定位杆，在压印设备整机系统参数页面上，设置基片尺寸，该定位装置会通过识别参数信号，移动到相应尺寸位置。以六寸基片为例，将基片8放置在压印台盘1升起的顶针9上，三个伸缩杆7上升至指定高度，滑块5带动定位杆4在滑动轨道3上移动到指定位置，三个喇叭口形状定位夹41将基片8对准到压印位置。对准后，滑块5带动定位杆4复位，伸缩杆7下降复位。顶针9降落，基片8被真空吸附在台盘上，定位结束。


技术特征：
1.一种纳米压印设备自动定位装置，包括压印台盘，其特征在于：在所述压印台盘上设有定位平台，在所述定位平台上设有滑动轨道，在所述滑动轨道内设有定位杆，所述定位杆上设有滑块，所述滑块能够带动所述定位杆在所述滑动轨道内滑动；所述定位杆一端伸向所述压印台盘中央，并且该端设有定位夹，另一端伸向所述压印台盘外沿，在所述压印台盘上、所述定位杆外沿端外侧，还设有伸缩杆。2.根据权利要求1所述的纳米压印设备自动定位装置，其特征在于：所述定位杆包括三套。3.根据权利要求2所述的纳米压印设备自动定位装置，其特征在于：所述定位杆在所述压印台盘上呈圆周排列，并且相邻定位杆之间夹角为120度。4.根据权利要求2所述的纳米压印设备自动定位装置，其特征在于：在所述定位杆向所述压印台盘中央的延伸端，设有喇叭口形状定位夹。5.根据权利要求2所述的纳米压印设备自动定位装置，其特征在于：在所述定位杆向所述压印台盘外沿的延伸端外侧，均设有伸缩杆。6.根据权利要求5所述的纳米压印设备自动定位装置，其特征在于：所述伸缩杆包括与所述定位杆相对应的三套。

技术总结
本实用新型公开了一种纳米压印设备自动定位装置，包括压印台盘，在所述压印台盘上设有定位平台，在所述定位平台上设有滑动轨道，在所述滑动轨道内设有定位杆，所述定位杆上设有滑块，所述滑块能够带动所述定位杆在所述滑动轨道内滑动；所述定位杆一端伸向所述压印台盘中央，并且该端设有定位夹，另一端伸向所述压印台盘外沿，在所述压印台盘上、所述定位杆外沿端外侧，还设有伸缩杆。本实用新型的有益效果是：该装置通过三点确定位置的方式，对4-12寸的基片进行精准定位。实现自动精准定位，避免人工操作的误差，使得生产进行的加顺利。使得生产进行的加顺利。使得生产进行的加顺利。


技术研发人员：冀然
受保护的技术使用者：青岛天仁微纳科技有限责任公司
技术研发日：2021.12.02
技术公布日：2023/1/5