MEMS1x2反射式光开关的制作方法

mems 1x2反射式光开关
技术领域
1.本实用新型涉及光器件领域，特别是一种mems 1x2反射式光开关。


背景技术：

2.目前市面上常采用的机械1x2光纤开关，通过将传入光信号从定向到选定的输出光纤来连接光信道。这是通过使用采用楔子来实现光束在光路中的改变。这种配置是通过控制继电器来选择信号的输出端。继电器锁存操作在驱动器信号被移除后保持所选择的光路。但是针对其技术也存在缺点：1.采用继电器的重复性能不够高。2.产品在高低温下的损耗稳定性不够精确。3.其产品体积偏大。
3.目前市场上有广泛需求，实现1个进光通道、2个出光通道的转化，且对于响应时间有更高的要求。如何针对以上问题，研发出新型mems 1x2反射式开关，以达到mems芯片和准直器的小型化，使得产品的整体更加小巧，用mems芯片代替继电器而取得更好的产品性能，以符合市场上建立多通道系统的要求，具有广阔的市场前景。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种mems 1x2反射式光开关，实现两个通道的光路传输，产品体积小、响应时间快。
5.为实现上述目的，本实用新型的mems 1x2反射式光开关，包括盒体、进光准直器、第一路出光准直器、第二路出光准直器、分束晶体、玻片、反射镜、mems芯片，所述进光准直器、第一路出光准直器、第二路出光准直器依次连接安装在盒体外部的同一侧；
6.所述进光准直器与第一路出光准直器之间依次设置有分束晶体、玻片、反射镜、mems芯片、分束晶体；
7.所述mems芯片与第二路出光准直器之间依次设置有反射镜、玻片、分束晶体。
8.进一步地，所述反射镜为高反反射镜。
9.进一步地，还包括排针，所述mems芯片通过排针连通电路。
10.进一步地，还包括与盒体配合密封的盒盖。
11.本实用新型的实质性特点和进步是：
12.本申请的mems 1x2反射式光开关，具有以下有益效果：
13.(1)光源从进光准直器进入，mems芯片在不加电的情况下，光路直接从相邻的第一路出光准直器光纤反射出来；给mems芯片加电压，则光路直接透射过mems芯片后通过高反反射镜反射从第二路出光准直器出来。利用mems芯片实现光束在公共端光路的改变，使出射光相对入射光产生反射，达到改变光路的效果。
14.(2)产品的插入损耗、偏振损耗、串扰损耗及回波损耗性能优良，高重复性和在高低温下的损耗稳定性高。
15.(3)产品的体积小、通道转换时间快，响应时间块、达到微秒级别。
附图说明
16.图1是本实用新型的结构示意图。
17.图中零部件序号及名称：
18.进光准直器1、第一路出光准直器2、第二路出光准直器3、分束晶体4、玻片5、反射镜6、mems芯片7、排针8、盒体9。
具体实施方式
19.以下结合附图描述本实用新型的结构以及工作原理：
20.见图1所示，本实用新型的mems 1x2反射式光开关，包括盒体9、进光准直器1、第一路出光准直器2、第二路出光准直器3、分束晶体4、玻片5、反射镜6、mems芯片7，所述进光准直器1、第一路出光准直器2、第二路出光准直器3依次连接安装在盒体9外部的同一侧；所述进光准直器1与第一路出光准直器2之间依次设置有分束晶体4、玻片5、反射镜6、 mems芯片7、分束晶体4；所述mems芯片7与第二路出光准直器3之间依次设置有反射镜6、玻片5、分束晶体4。
21.所述反射镜6为高反反射镜。
22.还包括排针8，所述mems芯片7通过排针8连通电路。
23.还包括与盒体9配合密封的盒盖。
24.本实用新型的工作原理：
25.(1)分束晶体4的作用为光纤分束；玻片5的作用为相位延迟(偏振方向旋转)；反射镜 6的作用为光纤偏折。通过分束晶体4、玻片5和反射镜6等光学晶体的配合，使光纤光路按照既定设计路线行进，达到预定目的。
26.(2)mems芯片7通过排针8连通电路，mems芯片7在不加电的情况下，光路通过mems 芯片7后从第一路出光准直器2出来；给mems芯片7加电压，则光路透射过mems芯片7后再通过反射镜6反射从第二路出光准直器3出来。
27.(3)利用高精度的五维调节架调试控制mems芯片7的位置，利用三维调节架来调节高反反射镜的位置，有效保证开关的稳定性。
28.(4)分束晶体4、玻片5、mems芯片7在调试好后使用性能稳定的胶水进行固定，并在合适的条件下烘烤，使胶水充分固化，实现牢固粘接。开关中无可动部件，也极大地提高了器件可靠性和使用寿命。
29.(5)本实用新型还包括与盒体9配合密封的盒盖。通过盒盖和盒体9的配合密封，对开关进行有效保护。
30.实施例1：
31.进光准直器1为输入端，第一路出光准直器2、第二路出光准直器3为输出端。mems芯片7在不加电的情况下：光束从进光准直器1进入，经过分束晶体4、玻片5后，由反射镜6 发生折射后，通过mems芯片7，由于mems芯片7不加电，使出射光相对入射光产生反射，则光束直接从第一路出光准直器2射出。
32.实施例2：
33.进光准直器1为输入端，第一路出光准直器2、第二路出光准直器3为输出端。mems芯片7在加电的情况下：光束从进光准直器1进入，经过分束晶体4、玻片5后，由反射镜6 发
生折射后，通过mems芯片7，由于mems芯片7加电，光束从mems芯片7透射出来，通过反射镜6发生折射后，经过分束晶体4从第二路出光准直器3射出。
34.以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。


技术特征：
1.一种mems 1x2反射式光开关，其特征在于：包括盒体(9)、进光准直器(1)、第一路出光准直器(2)、第二路出光准直器(3)、分束晶体(4)、玻片(5)、反射镜(6)、mems芯片(7)，所述进光准直器(1)、第一路出光准直器(2)、第二路出光准直器(3)依次连接安装在盒体(9)外部的同一侧；所述进光准直器(1)与第一路出光准直器(2)之间依次设置有分束晶体(4)、玻片(5)、反射镜(6)、mems芯片(7)、分束晶体(4)；所述mems芯片(7)与第二路出光准直器(3)之间依次设置有反射镜(6)、玻片(5)、分束晶体(4)。2.根据权利要求1所述的mems 1x2反射式光开关，其特征在于：所述反射镜(6)为高反反射镜。3.根据权利要求1所述的mems 1x2反射式光开关，其特征在于：还包括排针(8)，所述mems芯片(7)通过排针(8)连通电路。4.根据权利要求1所述的mems 1x2反射式光开关，其特征在于：还包括与盒体(9)配合密封的盒盖。

技术总结
本实用新型公开了一种MEMS 1x2反射式光开关，包括盒体、进光准直器、第一路出光准直器、第二路出光准直器、分束晶体、玻片、反射镜、MEMS芯片，所述进光准直器、第一路出光准直器、第二路出光准直器依次连接安装在盒体外部的同一侧；所述进光准直器与第一路出光准直器之间依次设置有分束晶体、玻片、反射镜、MEMS芯片、分束晶体；所述MEMS芯片与第二路出光准直器之间依次设置有反射镜、玻片、分束晶体。本实用新型光开关的插入损耗、偏振损耗、串扰损耗及回波损耗性能优良，高重复性和在高低温下的损耗稳定性高。产品的体积小、通道转换时间快，响应时间块、达到微秒级别。达到微秒级别。达到微秒级别。


技术研发人员：肖盛哲
受保护的技术使用者：广西安捷讯电子科技有限公司
技术研发日：2021.12.31
技术公布日：2022/7/4