描绘方法、描绘装置、及程序与流程

1.本发明涉及一种将布线图案描绘于具有可挠性的基板的描绘方法、描绘装置、及程序。


背景技术：

2.近年来，在汽车或航空器等运输器中被使用的电子设备的数量不断増加。随此，向电子设备的电源供给或信号的发送/接收中所使用的线束的数量也在増加。另一方面，在运输器中，要求轻量化及内部的省空间化，线束増加所伴随的重量増加及空间増加成为了问题。
3.出于这样的问题，也研究了利用具有可挠性、并呈细长片状的柔性印刷电路基板(flexible printed circuit：fpc)来代替在运输器中使用的线束。
4.作为针对长条片状的基板的图案形成技术，例如，在非专利文献1中，公开了一种技术，其为了一边以辊对辊(roll to roll)方式不停止膜输送地连续输送一边进行处理，而并行地进行对准测量、重叠曝光及工件更换。
5.此外，在专利文献1中，公开了一种无掩膜曝光装置，包括：曝光部件，其包含光调制元件阵列；基板保持部件，其将长条基板的长度方向的一部分保持为平面状；相对移动部件，其使所述曝光部件与基板保持部件沿所述长条基板的长度方向相对移动；数据存储部件，其存储分割曝光图案数据，该分割曝光图案数据为将所述长条基板所对应的长条曝光图案数据沿所述长条基板的长度方向分割得到的数据；以及曝光控制部件，其一边通过所述相对移动部件使所述曝光部件与基板保持部件相对移动，一边按照被存储于所述数据存储部件的所述分割曝光图案数据，使所述曝光部件对所述长条基板进行曝光。在该专利文献1中，基于长条曝光图案数据，制作用于1次曝光步骤的分割曝光图案数据，此时，以在重叠区间中，分割曝光图案重复的方式制作分割曝光图案数据。然后，基于该分割曝光图案数据来驱动曝光单元，将分割曝光图案曝光于长条基板。
6.[现有技术文献]
[0007]
[专利文献]
[0008]
专利文献1:日本特开2016-224301号公报
[0009]
[非专利文献]
[0010]
非专利文献1:鬼头义昭及其他，“辊对辊方式高精度直接网格(direct web)曝光装置的开发，”影像信息媒体学会志，第71卷，第10号，第j230～j235页(2017)，一般社团法人影像信息媒体学会，2017年9月8日采录


技术实现要素：

[0011]
[发明要解决的技术问题]
[0012]
例如，为了将在汽车等运输器中使用的线束以fpc来代替，需要将数m(例如6m以上)的连续的布线图案形成于基板。在要将像这样地连续的长条的图案曝光于基板的情况
下，描绘数据的数据量会变得巨大。
[0013]
本发明鉴于上述情况而完成，其目的在于提供一种能够抑制将长条的布线图案描绘于基板时使用的描绘数据的数据量的描绘方法、描绘装置、及程序。
[0014]
[用于解决技术问题的技术手段]
[0015]
为了解决上述问题，作为本发明的一个方案的描绘方法为一种如下的描绘方法：一边将呈长条片状的基板沿该基板的长度方向输送，一边向该基板照射曝光用的光束，由此来使描绘布线图案的描绘装置执行该描绘方法，其中，所述描绘装置包括输送部件和至少1个曝光用头，该输送部件沿所述长度方向输送所述基板，该至少1个曝光用头被设置为与由所述输送部件输送的所述基板的一部分区域相对，并向该一部分区域射出曝光用的光束，所述布线图案包含第1区域和第2区域，该第1区域中，与所述长度方向正交的宽度方向上的图案在所述长度方向上变化，该第2区域中，所述宽度方向上的图案不在所述长度方向上变化，用于描绘所述布线图案的描绘数据包含2维图像数据、1维图像数据及信息，该2维图像数据表示所述第1区域的2维图案，该1维图像数据表示所述第2区域的宽度方向上的1维图案，该信息表示所述第2区域的所述长度方向的长度，通过基于所述2维图像数据，在所述宽度方向上扫描所述光束，并且输送所述基板，从而将所述第1区域的图案描绘于所述基板，通过基于所述1维图像数据，按所述宽度方向上的1维图案反复照射所述光束，并且将所述基板输送基于表示所述长度的信息决定的长度，从而将所述第2区域的图案描绘于所述基板。
[0016]
也可以是，在所述描绘方法中，所述2维图像数据为2维位图数据，所述1维图像数据为1维位图数据，表示所述长度的信息被付于所述1维位图数据的标头(header)。
[0017]
也可以是，在所述描绘方法中，所述输送部件包含输送鼓，该输送鼓呈圆筒形，在外周面的一部分区域中支撑所述基板，并且围绕圆筒的中心轴旋转，由此来输送所述基板，在基于所述1维图像数据反复照射所述光束的期间，所述输送鼓旋转基于表示所述长度的信息决定的时间或旋转角度。
[0018]
也可以是，在所述描绘方法中，按照所述布线图案所包含的每个区域读入用于描绘所述布线图案的描绘数据所包含的图像数据，对被读入的所述图像数据是否为所述2维图像数据与所述1维图像数据中的任意一个进行判定，并根据该判定的结果来描绘所述第1或第2区域的图案。
[0019]
作为本发明的另一方案的描绘装置为一种如下的描绘装置：一边将呈长条片状的基板沿该基板的长度方向输送，一边向该基板照射曝光用的光束，由此描绘布线图案；该描绘装置包括输送部件、至少1个曝光用头、存储部、以及控制部，该输送部件沿所述长度方向输送所述基板，该至少1个曝光用头被设置为与由所述输送部件输送的所述基板的一部分区域相对，并向该一部分区域射出曝光用的光束，该存储部存储用于将布线图案描绘于所述基板的描绘数据，该控制部基于所述描绘数据，对所述至少1个曝光用头及所述输送部件的动作进行控制，所述布线图案包含第1区域和第2区域，该第1区域中，与所述长度方向正交的宽度方向上的图案在所述长度方向上变化，该第2区域中，所述宽度方向上的图案不在所述长度方向上变化，所述描绘数据包含2维图像数据、1维图像数据及信息，该2维图像数据表示所述第1区域的2维图案，该1维图像数据表示所述第2区域的宽度方向上的1维图案，该信息表示所述第2区域的所述长度方向的长度，所述控制部进行使第1描绘动作和第2描
绘动作执行的控制，该第1描绘动作通过基于所述2维图像数据，在所述宽度方向上扫描所述光束，并且输送所述基板，从而将所述第1区域的图案描绘于所述基板，该第2描绘动作通过基于所述1维图像数据，按所述宽度方向上的1维图案反复照射所述光束，并且将所述基板输送基于表示所述长度的信息决定的长度，从而将所述第2区域的图案描绘于所述基板。
[0020]
作为本发明的另一方案的描绘程序为一种使描绘装置执行的如下的描绘程序：该描绘装置一边将呈长条片状的基板沿该基板的长度方向输送，一边向该基板照射曝光用的光束，由此来描绘布线图案；其中，所述描绘装置包括输送部件和至少1个曝光用头，该输送部件沿所述长度方向输送所述基板，该至少1个曝光用头被设置为与由所述输送部件输送的所述基板的一部分区域相对，并向该一部分区域射出曝光用的光束，所述布线图案包含第1区域和第2区域，该第1区域中，与所述长度方向正交的宽度方向上的图案在所述长度方向上变化，该第2区域中，所述宽度方向上的图案不在所述长度方向上变化，用于描绘所述布线图案的描绘数据包含2维图像数据、1维图像数据及信息，该2维图像数据表示所述第1区域的2维图案，该1维图像数据表示所述第2区域的宽度方向上的1维图案，该信息表示所述第2区域的所述长度方向的长度；该描绘程序执行第1描绘步骤和第2描绘步骤，该第1描绘步骤通过基于所述2维图像数据，在所述宽度方向上扫描所述光束，并且输送所述基板，从而将所述第1区域的图案描绘于所述基板，该第2描绘步骤通过基于所述1维图像数据，按所述宽度方向上的1维图案反复照射所述光束，并且将所述基板输送基于表示所述长度的信息决定的长度，从而将所述第2区域的图案描绘于所述基板。
[0021]
[发明效果]
[0022]
根据本发明，针对布线图案中的、基板的宽度方向上的图案不在长度方向上变化的第2区域，基于表示基板的宽度方向上的1维图案的1维图像数据、以及表示第2区域的长度方向的长度的信息进行描绘，因此能够抑制与第2区域有关的描绘数据的数据量。因此，能够整体上抑制在将连续的长条的布线图案描绘于基板时使用的描绘数据的数据量。
附图说明
[0023]
图1是表示本发明的实施方式的描绘装置的概略构成的示意图。
[0024]
图2是图1所示的描绘装置的俯视图。
[0025]
图3是表示图1所示的曝光头的内部的概略构成的示意图。
[0026]
图4是从基板侧观察图1所示的曝光头得到的示意图。
[0027]
图5是表示图1所示的控制装置的概略构成的框图。
[0028]
图6是例示被描绘于基板的布线图案的示意图。
[0029]
图7是例示第2区域的宽度方向上的1维图案的示意图。
[0030]
图8是表示本发明的实施方式的描绘方法的流程图。
具体实施方式
[0031]
以下，针对本发明的实施方式的描绘方法、描绘装置、及描绘程序，参照附图进行说明。另外，本发明并不被这些实施方式限定。此外，在各附图的记载中，针对相同的部分，标注相同的附图标记来表示。
[0032]
在以下说明中参照的附图只不过是可理解本发明的内容的程度地、概略地表示形
状、大小及位置关系。即，本发明并不仅仅被限定于在各图中例示的形状、大小及位置关系。此外，在附图相互之间，有时也包含彼此的尺寸关系或比例不同的部分。
[0033]
图1是表示本发明的实施方式的描绘装置的概略构成的示意图。图2是该描绘装置的俯视图。如图1及图2所示，描绘装置1包括：输送系统3，其输送呈长条片状的基板2；曝光单元4，其向基板2照射曝光用的光束l；以及控制装置5，其对输送系统3及曝光单元4的动作进行控制。描绘装置1是通过扫描光束l将布线图案直接描绘于基板2的、所谓直接曝光方式的描绘装置。
[0034]
在本实施方式中，将柔性印刷电路基板(flexible printed circuit：fpc)作为处理对象的基板2。fpc为将铜等金属箔贴合于聚酰亚胺等具有绝缘性的树脂制的基膜而成的、具有可挠性的基板。基板2例如为被成形为数m～数十m的带状的fpc，被从被辊状地卷绕于放卷卷轴31的状态放卷，在由输送系统3输送并由曝光单元4形成图案后，被卷取到卷取卷轴32。如此，将带状的工件从辊放卷，并在实施预定的处理后将其卷取到辊的输送方式也被称为辊对辊(roll to roll)方式。
[0035]
在输送系统3，设置有：旋转轴31a，其可旋转地支撑放卷卷轴31；旋转轴32a，其可旋转地支撑卷取卷轴32；输送鼓33；张紧轮34、35，其被分别设置于输送鼓33的上游侧(图的左侧)及下游侧(图的右侧)；以及多个引导辊36、37。
[0036]
输送鼓33整体上具有圆筒形状，并被旋转轴33a支撑，该旋转轴33a通过从驱动源供给的旋转驱动力来旋转。输送鼓33在外周面33b的大致上半部分的区域中支撑基板2，并且通过自身旋转来输送基板2。此外，在输送鼓33，设置有编码器33c，该编码器33c对输送鼓33的旋转量进行测定。
[0037]
2个张紧轮34、35被可沿上下方向移动地设置于比输送鼓33靠下方处。详细而言，各张紧轮34、35被可旋转地支撑于可沿上下方向移动的旋转轴34a、35a。各旋转轴34a、35a连结有张力调整机构，该张力调整机构对该旋转轴34a、35a向下方施力。通过该张力调整机构，介由旋转轴34a、35a对张紧轮34、35向下方施力，由此能够将被卷挂于输送鼓33的基板2以施加了预定张力的状态来输送。
[0038]
各引导辊36被旋转轴36a可旋转地支撑，将从放卷卷轴31放卷的基板2向上游侧的张紧轮34引导。各引导辊37被旋转轴37a可旋转地支撑，并将描绘有图案的基板2从下游侧的张紧轮35向卷取卷轴32引导。
[0039]
另外，作为输送基板2的输送部件，只要能够一边以辊对辊方式输送基板2一边将图案描绘于基板2，就不被限定于图1及图2所示的输送系统3的构成。例如，也可以是，在放卷卷轴31与卷取卷轴32之间，设置基板2被保持为平面状的区域，并在该平面状的区域中描绘基板2。此外，也可以是，针对图1及图2所示的输送系统3，还设置在基板2被从放卷卷轴31放卷后、至到达输送鼓33为止的期间，或在基板2被从输送鼓33输出后、至被卷取到卷取卷轴32为止的期间，进行其他处理的单元(前处理单元、后处理单元等)。另外，在输送系统3中，通常，为了防止基板输送时的蛇行，设置有边缘位置控制(edge position control：epc)装置，该边缘位置控制装置对基板2的端部位置进行检测，并使放卷装置或卷取装置微动。
[0040]
曝光单元4具有射出曝光用的光束l的1个以上(在本实施方式中，为4个)的曝光头41。各曝光头41被设置为与被输送的基板2的一部分区域(在本实施方式中，为被输送鼓33
支撑的基板2的部分)相对，并通过向该区域照射光束l，从而将电路或布线等的图案直接描绘于基板2。
[0041]
图3是表示图1所示的曝光头的内部的概略构成的示意图。如图3所示，在曝光头41的内部设置有：激光源411，其输出激光；光束成形光学系统412；反射镜413；多棱镜414；以及成像光学系统415。其中，在多棱镜414上，设置有驱动装置，该驱动装置使该多棱镜414围绕旋转轴414a旋转。
[0042]
光束成形光学系统412包含准直透镜、圆柱透镜、调整光量用的滤光器、以及偏振滤光器等光学元件，使从激光源411输出的激光成形为具有点状的光束形状的光束l。反射镜413使由光束成形光学系统412成形的光束l向多棱镜414的方向反射。多棱镜414围绕旋转轴414a旋转，使从反射镜413的方向入射的光束l在与旋转轴414a正交的面内向多个方向反射。成像光学系统统415包含fθ透镜或远心fθ透镜等光学元件，使由多棱镜414反射的光束l在被输送鼓33的外周面支撑的基板2的曝光面p1上成像。在这种曝光头41中，能够通过控制多棱镜414的旋转来在预定的扫描范围sr内一维地扫描从曝光头41射出的光束l。
[0043]
另外，关于曝光头41的构成，只要能够使光束l成像于曝光面p1并1维地进行扫描，就不被限定于图3中例示的构成。例如，也可以是，通过在多棱镜414与成像光学系统415之间配置反射镜，从而使光束l的出射方向变化。以下，也将基板2的长度方向(输送方向)称为x方向。此外，也将与该长度方向正交的方向，即基板2的宽度方向称为y方向。光束l的扫描范围sr被设定为与宽度方向平行。
[0044]
图4是从基板2侧观察被设置于曝光单元4的多个曝光头41得到的示意图。在图4中，示出了4个曝光头41，但曝光头41的数量不被限定于4个。曝光头41的数量为1个以上即可，能够根据基板2的宽度或曝光头41的扫描范围sr(参照图3)及光束的输出等来适当设定。
[0045]
各曝光头41介由调整台42被安装于支撑机构，该支撑机构被设置在曝光单元4内。调整台42用于以手动对曝光头41的x方向及y方向上的位置和相对于铅垂方向的角度进行微调整。通过像这样将多个曝光头41沿基板2的宽度方向排列，从而能够利用多个光束l对基板2的宽度方向的较大范围进行扫描。
[0046]
图5是表示控制装置5的概略构成的框图。控制装置5为总体地对描绘装置1的各部分动作进行控制的装置，包括外部接口51、存储部52及控制部53。
[0047]
外部接口51为用于将各种外部设备连接于该控制装置5的接口。作为被连接于控制装置5的外部设备，例如可举出曝光头41、编码器33c、驱动输送系统3的基板输送驱动装置61、键盘、鼠标或操作按钮等输入设备62、液晶监视器等显示设备63、以及用于将描绘数据等读入到该控制装置5的数据读入装置64等。
[0048]
存储部52用rom、ram这样的半导体存储器或盘驱动器等计算机可读取的存储介质来构成。存储部52对各种程序、或在这些程序的执行中被使用的各种数据及设定信息等进行存储。
[0049]
详细而言，存储部52包含程序存储部521和描绘数据存储部522。除了操作系统程序及驱动器程序以外，程序存储部521还对用于使该控制装置5执行预定的动作的程序进行存储。具体而言，可举出用于将连续的长条的布线图案描绘于基板2的描绘程序。描绘数据存储部522对描绘数据进行存储，该描绘数据表示使曝光单元4描绘的布线图案。
[0050]
图6是例示被描绘于基板2的布线图案的示意图。在本实施方式中，例如对描绘被作为运输器中的布线来使用那样的、连续的长条的图案的情况进行说明。在布线图案2a中，包含：第1区域pa1、pa2、pa3、pa4、pa5，其基板2的宽度方向(y方向)上的图案会在长度方向上变化；以及第2区域pb1、pb2、pb3、pb4，其宽度方向上的图案不在长度方向上变化。
[0051]
在本实施方式中，描绘数据在第1区域与第2区域之间由不同形式的图像数据构成，该描绘数据为了将布线图案2a描绘于基板2而被使用。即，第1区域pa1、pa2、pa3、pa4、pa5的图案由表示2维图案的2维图像数据(例如，2维位图数据)来表示。另一方面，第2区域pb1、pb2、pb3、pb4的图案由表示宽度方向上的1维图案的1维图像数据(例如，1维位图数据)、以及表示该第2区域的长度方向的长度l1、l2、l3、l4的信息(例如，像素数)来表示。表示长度l1、l2、l3、l4的信息例如被附于1维图案rp1、rp2、rp3、rp4(参照图7)所对应的1维图像数据的标头。
[0052]
图7是例示第2区域pb1、pb2、pb3、pb4的宽度方向上的1维图案的示意图。表示第2区域pb1、pb2、pb3、pb4的宽度方向上的1维图案rp1、rp2、rp3、rp4的1维图像数据为具有照射有曝光用的光束l的点sp的宽度方向(y方向)上的位置信息的图像数据。基于这样的1维图像数据、以及表示第2区域pb1、pb2、pb3、pb4的长度l1、l2、l3、l4的信息来描绘第2区域pb1、pb2、pb3、pb4的各图案。
[0053]
控制部53用cpu(central processing unit：中央处理器)等硬件构成，通过读入被存储于程序存储部521的程序，从而进行向控制装置5及描绘装置1的各部分的数据传输或指示，并总体地控制描绘装置1的动作，使其执行向基板2的图案描绘。
[0054]
在通过控制部53执行描绘程序来实现的功能部中，包含描绘控制部531。描绘控制部531基于从描绘数据存储部522读出的描绘数据，生成各曝光头41进行的光束l的输出及扫描、以及输送系统3对基板2的输送速度等的控制数据，并向曝光头41及基板输送驱动装置61输出。由此，基板2由输送系统3以预定的速度来输送，并且从各曝光头41射出的光束l会被照射到基板2的预定曝光区域，在基板2上描绘布线图案。
[0055]
详细而言，描绘控制部531进行用于执行以下动作的控制：第1描绘动作，其基于与第1区域有关的2维图像数据；以及第2描绘动作，其基于与第2区域有关的1维图像数据及表示该区域的长度的信息。描绘动作的切换例如基于被附于从描绘数据存储部522依次读入的图像数据的标头的信息来进行。
[0056]
作为第1描绘动作，描绘控制部531进行如下的控制：基于2维图像数据，在宽度方向上扫描光束l，并且输送基板2。由此，宽度方向上的图案在长度方向上变化的第1区域pa1、pa2、pa3、pa4、pa5的图案被描绘于基板2。
[0057]
此外，作为第2描绘动作，描绘控制部531进行如下的控制：按基于1维图像数据的宽度方向上的1维图案反复照射光束l，并且将基板2输送基于表示长度的信息决定的长度的量。由此，宽度方向上的图案不在长度方向上变化的第2区域pb1、pb2、pb3、pb4的图案，即沿长度方向连续的长条的图案被遍及长度l1、l2、l3、l4地描绘于基板2。
[0058]
另外，这种控制装置5既可以通过1个硬件构成，也可以组合多个硬件来构成。
[0059]
图8是表示本发明的实施方式的描绘方法的流程图。
[0060]
首先，描绘控制部531针对构成布线图案(例如图6所示的布线图案2a)的每个区域(例如图6所示的第1或第2区域pa1、pb1、pa2、pb2、
…
)，从描绘数据存储部522依次读入图像
数据(步骤s1)。接着，描绘控制部531对被读入的图像数据是否为2维图像数据进行判断(步骤s2)。
[0061]
在被读入的图像数据为2维图像数据的情况下(步骤s2：是)，描绘控制部531使描绘装置1的各部分执行上述第1描绘动作。例如，在与图6所示的第1区域pa1有关的2维图像数据被读入的情况下，描绘控制部531进行如下控制：基于该2维图像数据，沿宽度方向扫描从曝光头41射出的光束l，并且输送基板2。
[0062]
然后，描绘控制部531对接下来应读入的图像数据是否结束进行判断(步骤s4)。在图像数据未结束的情况下(步骤s4：否)，描绘控制部531的动作回到步骤s1。另一方面，在图像数据结束的情况下(步骤s4：是)，描绘控制部531结束动作。
[0063]
此外，在被读入的图像数据不为2维图像数据的情况下(步骤s2：否)，即，为1维图像数据的情况下，描绘控制部531使各部分执行上述第2描绘动作。例如，在与图6所示的第2区域pb1有关的1维图像数据被读入的情况下，描绘控制部531进行如下控制：以基于该1维图像数据的宽度方向上的1维图案rp1，将光束l反复照射长度l1的区间。在该控制期间，描绘控制部531既可以通过使输送鼓33旋转基于长度l1和基板2的输送速度决定的时间来输送基板2，也可以通过使输送鼓33旋转基于长度l1和输送鼓33的半径决定的旋转角度来输送基板2。
[0064]
像这样，描绘控制部531基于从描绘数据存储部522依次读入的图像数据，使各部分执行第1及第2描绘动作。具体而言，在图6所示的布线图案2a的情况下，在第2区域pb1的描绘后，通过基于2维图像数据的第1描绘动作，描绘第1区域pa2的图案。接着，通过基于表示1维图案rp2的1维图像数据的第2描绘动作，将第2区域pb2的图案描绘于长度l2的区间。同样，依次执行基于2维图像数据的第1区域pa3的图案的描绘、基于表示1维图案rp3的1维图像数据的长度l3的区间中的第2区域pb3的图案的描绘、基于2维图像数据的第1区域pa4的图案的描绘、基于表示1维图案rp4的1维图像数据的长度l4的区间中的第2区域pb4的图案的描绘、以及基于2维图像数据的第1区域pa5的图案的描绘。由此，形成长条的布线图案2a。
[0065]
如以上说明的那样，在本实施方式中，针对布线图案中的、基板2的宽度方向上的图案会在长度方向上变化的第1区域，基于2维图像数据，沿宽度方向扫描光束，并且输送基板2，由此来描绘图案。另一方面，针对宽度方向上的图案不在长度方向上变化的第2区域，基于1维图像数据和表示该区域的长度的信息，按宽度方向上的1维图案将光束反复照射预定的长度，由此来描绘图案。因此，与使用直接表示2维图案的2维图像数据的情况相比，能够大幅地抑制与第2区域有关的图像数据的数据量。因此，根据本实施方式，能够整体上抑制在对连续的长条的布线图案进行曝光时使用的描绘数据的数据量。
[0066]
此外，根据本实施方式，通过将1维图案连续地反复描绘于预定区间来形成第2区域的图案，因此与将2维的同一图案错开位置地反复描绘的情况不同，能够平滑地形成连续的图案。进而，在本实施方式中，在形成第2区域的图案时，无需进行在反复描绘2维的同一图案的情况下所需的对位，因此也能够降低运算负荷。
[0067]
以上说明的本发明并不被限定于上述实施方式，能够通过对上述实施方式所公开的多个构成要素进行适当组合来形成各种发明。例如，既可以从上述实施方式所示的全部构成要素中排除一些构成要素来形成，也可以对上述实施方式所示的构成要素适当进行组
合来形成。
[0068]
[附图标记说明]
[0069]1…
描绘装置、2
…
基板、2a
…
布线图案、3
…
输送系统、4
…
曝光单元、5
…
控制装置、31
…
放卷卷轴、32
…
卷取卷轴、31a、32a、33a、34a、36a、37a
…
旋转轴、33
…
输送鼓、33b
…
外周面、33c
…
编码器、34、35
…
张紧轮、36、37
…
引导辊、41
…
曝光头、41a
…
光束出射口、42
…
调整台、51
…
外部接口、52
…
存储部、53
…
控制部、61
…
基板输送驱动装置、62
…
输入设备、63
…
显示设备、64
…
数据读入装置、411
…
激光光源、412
…
光束成形光学系统、413
…
反射镜、414a
…
旋转轴、414
…
多棱镜、415
…
成像光学系统、521
…
程序存储部、522
…
描绘数据存储部、531
…
描绘控制部、pa1、pa2、pa3、pa4、pa5
…
第1区域、pb1、pb2、pb3、pb4
…
第2区域、rp1、rp2、rp3、rp4
…
1维图案。