驱动元件以及光偏转元件的制作方法

本发明涉及使可动部相对于转动轴进行转动的驱动元件以及使用该驱动元件的光偏转元件。

背景技术：

1、近年来，开发了使用mems(micro electro mechanical system)技术来使可动部转动的驱动元件。在这种驱动元件中，通过在可动部配置反射面，能够使入射到反射面的光以规定的偏转角扫描。这种驱动元件例如搭载于平视显示器、头戴式显示器等图像显示装置。此外，也能够对使用激光来检测物体的激光雷达等使用这种驱动元件。

2、在以下的专利文献1中，记载了通过所谓的音叉型振子来使可动部转动的方式的驱动元件。在该驱动元件中，在沿着转动轴延伸的一对臂部分别配置压电驱动体。通过对这些压电驱动体分别施加相位相差180°的(相反相位的)交流电压，一对臂部在相互相反方向伸缩。由此，可动部相对于转动轴转动，伴随于此，配置于可动部的反射面转动。音叉型振子经由沿着转动轴延伸的连接部，与外框连接。外框构成用于将驱动元件固定于被设置面的固定部。

3、在先技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：jp专利5045470号公报

技术实现思路

1、-发明要解决的课题-

2、在将上述结构的驱动元件例如用于激光扫描型的图像显示装置的情况下，需要以高频率并且高偏转角驱动配置有反射面的可动部。该情况下，在上述专利文献1的结构中，对用于将音叉型振子与外框连接的连接部施加较大的应力，担心由于该应力而在连接部产生损坏。

3、鉴于该课题，本发明的目的在于，提供一种即使以高频率并且高偏转角驱动可动部的情况下，也能够抑制由于驱动时产生的应力而在连接部产生损坏的驱动元件以及光偏转元件。

4、-解决课题的手段-

5、本发明的第1方式涉及一种驱动元件。该方式所涉及的驱动元件具备：可动部；驱动部，用于使所述可动部相对于转动轴转动；和连接部，将所述驱动部与固定部连接。所述可动部、驱动部以及固定部沿着所述转动轴并排。所述连接部至少经由一对接合面而与所述固定部连接。所述一对接合面与所述转动轴不正交并且关于所述转动轴对称。

6、通过本方式所涉及的驱动元件，由于关于转动轴对称的至少一对接合面与转动轴不垂直，因此相比于接合面与转动轴垂直的情况，可动部的转动时在接合面产生的应力容易在接合面扩展并分散，较高的应力局部存在于接合面的一部分的情况被缓和。因此，在以高频率并且高偏转角驱动可动部的情况下，也能够抑制由于驱动时产生的应力而在连接部产生损坏。

7、本发明的第2方式涉及一种光偏转元件。该方式所涉及的光偏转元件具备：第1方式所涉及的驱动元件、和配置于所述可动部的反射面。

8、通过本方式所涉及的驱动元件，由于具备第1方式所涉及的驱动元件，因此在以高频率并且高偏转角驱动可动部的情况下，也能够抑制由于驱动时产生的应力而在连接部产生损坏。因此，通过反射面，能够以高频率并且高偏转角来使光偏转以及扫描。

9、-发明效果-

10、如以上那样，通过本发明，能够提供以高频率并且高偏转角来驱动可动部的情况下也能够抑制由于驱动时产生的应力而在压电驱动体产生损伤的驱动元件以及光偏转元件。

11、本发明的效果乃至意义通过以下所示的实施方式的说明而更加明确。但是，以下所示的实施方式仅仅是将本发明实施化时的一个示例，本发明并不限制于以下的实施方式所述的方式。

技术特征：

1.一种驱动元件，具备：

2.根据权利要求1所述的驱动元件，其中，

3.根据权利要求1或者2所述的驱动元件，其中，

4.根据权利要求1或者2所述的驱动元件，其中，

5.根据权利要求1或者2所述的驱动元件，其中，

6.根据权利要求5所述的驱动元件，其中，

7.根据权利要求1至6的任一项所述的驱动元件，其中，

8.根据权利要求1至7的任一项所述的驱动元件，其中，

9.根据权利要求1至8的任一项所述的驱动元件，其中，

10.一种光偏转元件，具备：

技术总结
驱动元件(1)具备：可动部(30)；驱动部(11、21)，使可动部(30)相对于转动轴(R0)转动；和连接部(13、23)，将驱动部(11、21)与固定部(12、22)连接。可动部(30)、驱动部(11、21)以及固定部(12、22)沿着转动轴(R0)并排。连接部(13、23)经由与转动轴(R0)不正交并且关于转动轴(R0)对称的至少一对接合面(S11、S21)而与固定部(12、22)连接。

技术研发人员：水原健介,高山了一
受保护的技术使用者：松下知识产权经营株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15