OPC修正方法与流程

opc修正方法
技术领域
1.本发明涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种opc修正方法。


背景技术：

2.在光刻工艺中，掩模版即光罩(mask)上的版图对应的图形结构会通过曝光系统投影到光刻胶中并在光刻胶中形成对应的图形结构，但是由于曝光过程中的光学原因或者光刻胶的化学反应的原因，在光刻胶中形成的图形结构和掩模版上的图形结构存在偏差，这种偏差则需要通过opc修正预先对掩模版上的图形结构进行修改，采用经过opc修正的掩模版进行曝光时，在光刻胶中形成的图形结构则会和设计的图形结构相符，并符合工艺生产要求。
3.然而，由于版图的复杂性，同一层图形中可能既有长线条图形，也包含短线条图形。为保证长线条图形及短线条图形均有足够的曝光工艺窗口，在对曝光光源的优化过程中会考虑长线条图形及短线条图形的长度不同的问题，建立opc模型时需要收集大量长线条图形及短线条图形尺寸的数据，最终opc修正时也要针对不同长度图形进行区分处理，以保证所有种类图形的曝光工艺窗口。这就需要花费更多时间收集图形尺寸的数据，增加了更多的工作量，也面临着更多困难。而且，随着半导体技术的不断发展，关键尺寸不断减小，对opc模型及修正的要求越来越高，所以收集图形尺寸的数据的时间越来越长，收集数据的工作量越来越大，对图形尺寸的控制要求越来越高。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种opc修正方法，对版图中切割层图形的短线条图形进行处理，可以降低图形结构复杂度，减少收集版图图形尺寸的数据的时间，同时，还可以减少收集版图图形尺寸的数据的工作量，进一步可以降低opc模型及opc程序建立的难度，提高了对图形尺寸控制的准确度。
5.为了达到上述目的，本发明提供了一种opc修正方法，包括：
6.提供版图，所述版图包含切割层图形和被切割层图形，所述被切割层图形由若干个长线条图形和若干个短线条图形组成；
7.对所述短线条图形的两端均沿着所述短线条的径向延伸，使得所述短线条图形的两端均具有延伸部，所述短线条与所述延伸部的长度之和与所述长线条的长度相等或者所述短线条与所述延伸部的长度之和接近于所述长线条图形的长度；
8.判断在延伸方向任意相邻的两个所述延伸部的距离是否小于设定值；
9.如果是，则使用连接线将该相邻的两个所述延伸部连接，以得到短线条处理后的被切割层图形，在所述切割层添加所述延伸部及连接线的切割图形，对添加后的所述切割层图形以及短线条处理后的被切割层图形均进行opc修正；以及
10.如果不是，在所述切割层添加所述延伸部的切割图形，对添加后的所述切割层图形以及短线条处理后的被切割层图形均进行opc修正。
11.可选的，在所述的opc修正方法中，长度大于或等于6倍线宽设计规则的线条为长线条，长度小于6倍设计规则的线条为短线条。
12.可选的，在所述的opc修正方法中，所述长线条或所述短线条为长条形的形状。
13.可选的，在所述的opc修正方法中，所述设定值为线端间距设计规则。
14.可选的，在所述的opc修正方法中，所述延伸部的宽度和所述短线条的宽度相同。
15.可选的，在所述的opc修正方法中，所述延伸部与所述短线条的端部对齐。
16.可选的，在所述的opc修正方法中，同一所述短线条两端的延伸部的长度相同或不同。
17.可选的，在所述的opc修正方法中，对添加后的切割层图形以及所述被切割层图形均进行opc修正之后，还包括：在被所述切割层图形中将添加后的切割层所对应的图形进行切割。
18.可选的，在所述的opc修正方法中，所述延伸部的长度小于所述切割层的设计规则的线宽最大值。
19.可选的，在所述的opc修正方法中，所述连接线和所述延伸部的总长度小于所述切割层的设计规则的线宽最大值。
20.在本发明提供的opc修正方法中，对版图被切割层图形的短线条图形进行了延伸，以向长线条图形的长度靠近甚至与长线条图形的长度相同，降低了图形结构复杂度，从而减少了收集版图图形尺寸的数据的时间，同时，减少了收集版图图形尺寸的数据的工作量，降低了opc模型及opc程序建立的难度，提高了对图形尺寸控制的准确度。
附图说明
21.图1是本发明实施例的opc修正方法的流程图；
22.图2至图4是本发明实施例的opc修正的示意图；
23.图中：110-长线条图形、111-第一长线条图形、112-第二长线条图形、120-短线条图形、121-第一短线条图形、122-第二短线条图形、123-第三短线条图形、124-第四短线条图形、131-第一延伸部、132-第二延伸部、133-第三延伸部、134-第四延伸部、135-第五延伸部、136-第六延伸部、137-第七延伸部、138-第八延伸部、140-连接线。
具体实施方式
24.下面将结合示意图对本发明的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
25.在下文中，术语“第一”“第二”等用于在类似要素之间进行区分，且未必是用于描述特定次序或时间顺序。要理解，在适当情况下，如此使用的这些术语可替换。类似的，如果本文所述的方法包括一系列步骤，且本文所呈现的这些步骤的顺序并非必须是可执行这些步骤的唯一顺序，且一些所述的步骤可被省略和/或一些本文未描述的其他步骤可被添加到该方法。
26.请参照图1，本发明提供了一种opc修正方法，包括：
27.s11：提供版图，所述版图包含切割层图形和被切割层图形，所述被切割层图形由
若干个长线条图形和若干个短线条图形组成；
28.s12：对所述短线条图形的两端均沿着所述短线条的径向延伸，使得所述短线条图形的两端均具有延伸部，所述短线条与所述延伸部的长度之和与所述长线条的长度相等或者所述短线条与所述延伸部的长度之和接近于所述长线条图形的长度；
29.s13：判断在延伸方向任意相邻的两个所述延伸部的距离是否小于设定值；
30.s14：如果是，则使用连接线将该相邻的两个所述延伸部连接，以得到短线条处理后的被切割层图形，在所述切割层添加所述延伸部及连接线的切割图形，对添加后的所述切割层图形以及短线条处理后的被切割层图形均进行opc修正；以及
31.s15：如果不是，在所述切割层添加所述延伸部的切割图形，对添加后的所述切割层图形以及短线条处理后的被切割层图形均进行opc修正。
32.本发明实施例中，长度大于或等于6倍线宽设计规则的线条为长线条，长度小于6倍设计规则的线条为短线条。版图图形分为多个层，这里是针对被切割层的线条进行处理，被切割层有线宽设计规则，本发明实施例以长度是否为线宽设计规则的6倍为分界线对设计层上的版图图形进行长线条图形和短线条图形的划分，在本发明的其他实施例中，划分规则可以不同。将短线条图形找到并对短线条图形进行处理是本发明实施例的重点。
33.本发明实施例中，所述长线条或所述短线条为长条形的形状。所有版图图形均可以划分成多个长方形线条的形状。
34.本发明实施例中，所述设定值为线端间距设计规则。线端间距设计规则是版图被切割层图形需要满足的线端间距规则。
35.本发明实施例中，所述延伸部的宽度和所述短线条的宽度相同。所述延伸部与所述短线条的端部对齐。同一所述短线条两端的延伸部的长度相同或者不同都可以。由于长线条图形和短线条图形的尺寸数据太多，且可能各种各样，影响了数据收集的效率，也就是说模型建立需要收集不同长度结构的数据，收集尺寸数据的时间太长工作量太大，因此，在opc修正处理之前，对短线条图形进行了处理，使得其与长线条图形的差距缩小，减少了不同长度图形结构的种类，减少尺寸数据的量，从而减少数据收集的时间和工作量，降低了opc模型及opc程序建立的难度，提高了对图形尺寸控制的准确度。请参照图2，版图图形由若干个长线条图形110和短线条图形120组成，由于版图图形实际的长线条图形110和短线条图形120数量庞大，图中只选取两个长条形图形110和四个短线条图形120作为示例。图中：长条形图形110包括第一长条形图形111和第二长条形图形112，短条形图形120包括第一短条形图形121、第二短条形图形122、第三短条形图形123和第四短条形图形124。具体的第一长条形图形111、第二长条形图形112、第一短条形图形121、第二短条形图形122、第三短条形图形123和第四短条形图形124的具体的位置不做限定。接着，请参照图3，对第一短条形图形121、第二短条形图形122、第三短条形图形123和第四短条形图形124均进行延伸，尽量使得延伸后的短条形图形和延伸部的长度之和与长条形图形的长度相同或接近。延伸后，第一短条形图形121的两端分别具有第一延伸部131和第二延伸部132，第二短条形图形122的两端分别具有第三延伸部133和第四延伸部134，第三短条形图形123的两端分别具有第五延伸部135和第六延伸部136，第四短条形图形124的两端分别具有第七延伸部137和第八延伸部138。第一短条形图形121、第二短条形图形122、第三短条形图形123和第四短条形图形124的长度可能均不一样，同时，第一延伸部131、第三延伸部133、第五延伸部135和第
七延伸部137的长度也可能均不相同。接着，如果在延伸方向若相邻的两个所述延伸部的距离小于设定值，则使用连接线将相邻的两个所述延伸部连接。例如，请参照图4，如果第六延伸部136和第七延伸部137的距离小于设定值，则需要使用连接线140将第六延伸部136和第七延伸部137连接。如果所有相邻的延伸部之间的距离均大于设定值，就不需要使用连接线连接延伸部这一步骤。接着，对短线条图形120处理后的版图图形进行opc修正。
36.本发明实施例中，对添加后的所述切割层图形进行opc修正之后，还包括：在被切割层图形中将添加后的切割层所对应的图形进行切割，即在被切割层图中切除被切割层图形与添加后的切割层图形重合的部分。切割层在被切割层的短线条图形进行处理之前就可能具有图形，在对被切割层的短线条图形进行处理后，就可以对被切割层进行opc修正，但是opc修正之后需要将被切割层的图形复原，也就是说复原到短线条图形处理之前。因此，需要对延伸部和将延伸部连接的连接线进行切割。因此，切割层除了包括在短线条图形处理前的已有的需要切割的部分还包括延伸部和连接线的部分。而对切割层处理也就是说要进行切割，需要满足一定的规则，例如，切割层的线宽，所以切割层设置有切割设计规则，切割设计规则可能是一个范围。所以本发明实施例中，增加到切割层待切割的延伸部和连接线也要满足切割设计规则。也就是说，虽然短线条图形需要尽量延伸到与长线条图形的长度相同，但是为了满足切割层设计规则，会对延伸部在短条形图形的径向上的长度进行限定，延伸部的长度不能超过切割层设计规则的线宽最大值。即，本发明实施例中所述延伸部的长度小于切割设计规则的最大值。同理，短线条图形在延伸后，短条形图形加上两端的延伸部的长度可能和长条形图形的长度相同，也可能为了满足延伸部的长度小于切割设计规则的最大尺寸，使得短条形图形加上两端的延伸部的长度没有达到长条形图形的长度。但是不管是哪种情况，都可能出现一个短条形图形的延伸部接近另一个短条形图形的延伸部，如果出现了，则需要对两个延伸部使用连接线连接，连接线及延伸部又需要进行切割，所以连接线及延伸部的总长度需要小于切割层线宽设计规则的最大值。切割层图形处理完之后，就可以对切割层进行opc修正。
37.综上，在本发明实施例提供的opc修正方法中，对版图图形的短线条图形进行了延伸，以向长线条图形的长度靠近甚至与长线条图形的长度相同，减少了不同长度图形结构的种类，从而减少了收集版图图形尺寸的数据的时间，同时，减少了收集版图图形尺寸的数据的工作量，降低了opc模型及opc程序建立的难度，提高了对图形尺寸控制的准确度。
38.上述仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。