一种纳米压印大尺寸拼版工作模具的制作方法与流程

本发明涉及纳米压印，尤其涉及一种纳米压印大尺寸拼版工作模具的制作方法。

背景技术：

1、随着电子信息技术的飞速发展，ar(增强现实)技术也取得了实质性的提升，ar技术因其自身的光学特性，可以在现实画面中投影虚拟景象，给使用者产生虚实结合的独特体验，ar技术可广泛应用于教育、医疗、娱乐、工业等行业，有着巨大的商业、教育价值。

2、现阶段ar显示模组的波导片主要采用4英寸母版直接生产，该方法通过母版压印柔性基材(例如pet、pc、pmma、柔性玻璃等)，将结构转印至柔性材料上形成柔性模板(简称软膜)，再通过软膜将结构转印至产品，该生产工艺，产能低，无法满足ar眼镜市场日益增长的需求。

3、而母版制作通常采用半导体工艺的方式，该方式4英寸母版制作成本高，耗时久，良率低，这些因素决定了无法使用该工艺直接制作8/12英寸的多拼母版。本文提供一种方法，可以在现有4英寸母版的基础上，做出大尺寸的拼版工作模具。

技术实现思路

1、基于背景技术存在的技术问题，本发明提出了一种纳米压印大尺寸拼版工作模具的制作方法。

2、本发明提出的一种纳米压印大尺寸拼版工作模具的制作方法，所述方法包括：

3、s1通过纳米压印的方式，将母版上的结构转印至第一软膜上；

4、s2通过纳米压印的方式，将第一软膜上的结构压印至晶圆玻璃上，制得第一工作模具；

5、s3通过纳米压印的方式，将第一工作模具的结构转印至第二软膜上，其中，第一工作模具的指定区域涂有胶水；

6、s4通过纳米压印的方式，将第二软膜的结构转印至晶圆玻璃上，制得第二工作模具上。

7、优选的，所述步骤s3采用喷涂的方式进行胶水涂布，喷涂完成后胶水会进行自流平，形成平整的膜面，将涂有稀释胶水的第一工作模具加热，将稀释剂挥发。

8、优选的，所述指定区域至少包括第一工作模具上设有结构的区域。

9、优选的，所述喷涂的方式具体为：通过注胶泵将胶水挤出，利用高频声波将液态胶水雾化，并通过向下的吹气动作将雾化的胶水往正下方吹，使雾化的胶水均匀的落在下方的第一工作模具上。

10、优选的，所述步骤s3包括：

11、对胶水进行稀释处理，具体为：在胶水中加入稀释剂，稀释剂为pgmea，稀释质量百分数为20％。

12、优选的，所述喷涂的参数：胶水流量150ul/min，喷阀移动速度20mm/s，喷涂间距1.5mm。

13、优选的，所述加热参数：80℃*1min，加热后，胶层厚度约1um，厚度均匀性±5％。

14、优选的，所述步骤s3纳米压印具体为：将第一工作模具放置于压印平台，压印平台以真空吸附的形式固定第一工作模具，并进行纳米压印。

15、优选的，所述步骤s3的压印方式为三种，具体为：

16、方式一：对第一工作模具涂胶，将多片第一工作模具以阵列的形式放置于压印平台上，并进行压印；

17、方式二：将多片第一工作模具放置于压印平台上，并同时涂胶，再进行压印；

18、方式三：

19、涂胶步骤：对第一工作模具进行涂胶并放置于压印平台上；

20、压印步骤：对第一工作模具进行压印；

21、变位步骤：改变第一工作模具在压印平台上的位置；

22、依次重复涂胶步骤、压印步骤和变位步骤，直至使第一工作模具的结构以阵列的形式转印至第二软膜上。

23、优选的，所述方法包括：

24、s21将第一工作模具切割为矩形。

25、本发明中，所述一种纳米压印大尺寸拼版工作模具的制作方法，在多个用于拼版的小片工作模具上，利用喷涂的方式，在所述工作模具指定区域进行喷涂软膜胶，使得软膜胶仅覆盖于工作模具的的光栅结构区域，通过合适的喷涂量及合适的压印参数，可保证胶水在压印过程中的完整性且不会产生溢胶，将喷涂好的工作模具通过纳米压印的方式实现拼版软膜的制作，最终实现大尺寸拼版工作模具的制作。

26、本发明将单个母版通过拼版工艺制作成大尺寸的纳米压印工作模具，使光波导生产效率得到提升，便于批量快速生产，实现工业化。

技术特征：

1.一种纳米压印大尺寸拼版工作模具的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的一种纳米压印大尺寸拼版工作模具的制作方法，其特征在于，所述步骤s3采用喷涂的方式进行胶水涂布，喷涂完成后胶水会进行自流平，形成平整的膜面，将涂有稀释胶水的第一工作模具加热，将稀释剂挥发。

3.根据权利要求1所述的一种纳米压印大尺寸拼版工作模具的制作方法，其特征在于，所述指定区域至少包括第一工作模具上设有结构的区域。

4.根据权利要求2所述的一种纳米压印大尺寸拼版工作模具的制作方法，其特征在于，所述喷涂的方式具体为：通过注胶泵将胶水挤出，利用高频声波将液态胶水雾化，并通过向下的吹气动作将雾化的胶水往正下方吹，使雾化的胶水均匀的落在下方的第一工作模具上。

5.根据权利要求1所述的一种纳米压印大尺寸拼版工作模具的制作方法，其特征在于，所述步骤s3包括：

6.根据权利要求2所述的一种纳米压印大尺寸拼版工作模具的制作方法，其特征在于，所述喷涂的参数：胶水流量150ul/min，喷阀移动速度20mm/s，喷涂间距1.5mm。

7.根据权利要求2所述的一种纳米压印大尺寸拼版工作模具的制作方法，其特征在于，所述加热参数：80℃*1min，加热后，胶层厚度约1um，厚度均匀性±5％。

8.根据权利要求1所述的一种纳米压印大尺寸拼版工作模具的制作方法，其特征在于，所述步骤s3纳米压印具体为：将第一工作模具放置于压印平台，压印平台以真空吸附的形式固定第一工作模具，并进行纳米压印。

9.根据权利要求1所述的一种纳米压印大尺寸拼版工作模具的制作方法，其特征在于，所述步骤s3的压印方式为三种，具体为：

10.根据权利要求1所述的一种纳米压印大尺寸拼版工作模具的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

技术总结
本发明公开了一种纳米压印大尺寸拼版工作模具的制作方法，所述方法包括：通过纳米压印的方式，将母版上的结构转印至第一软膜上；通过纳米压印的方式，将第一软膜上的结构压印至晶圆玻璃上，制得第一工作模具；通过纳米压印的方式，将第一工作模具的结构转印至第二软膜上，其中，第一工作模具的指定区域涂有胶水；通过纳米压印的方式，将第二软膜的结构转印至晶圆玻璃上，制得第二工作模具上。本发明将单个母版通过拼版工艺制作成大尺寸的纳米压印工作模具，使光波导生产效率得到提升，便于批量快速生产，实现工业化。

技术研发人员：孙如,陈跃,徐军,孟祥峰
受保护的技术使用者：浙江至格科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/1