基板处理装置以及利用其的基板处理方法与流程

本发明涉及基板处理装置以及利用其的基板处理方法。

背景技术：

1、通常，为了制造电子电路部件或诸如液晶显示面板的平板显示器(fpd：flatpanel display)，使用光阻剂液(pr：photoresist)或铜(cu)、银(ag)、铝(a1)等金属浆料(paste)来在玻璃表面或印刷电路板(pcb)上形成一定的图案，例如电极(electrodes)或点(dots)等。

2、作为用于在基板上形成一定的图案的方法，可以使用利用两个辊以胶印印刷方式将一定的图案直接图案化的方式或喷出墨滴的方式。其中，将墨滴喷出到基板上的喷墨打印系统与一般的喷墨打印机类似，采用使用喷嘴在基板上将一定的图案直接图案化的方法。

3、喷墨打印系统一边使基板沿一定方向移动一边将墨滴喷出至基板上。为了将墨滴喷出至所期望的位置，必须能够稳定地移动基板。在不沿直线方向一定地移动基板的情况下，可能无法将墨滴准确地喷出至所期望的位置。

技术实现思路

1、发明所要解决的课题

2、本发明要解决的课题为，提供能够稳定地移动基板并将墨喷出至准确的位置的基板处理装置以及利用其的基板处理方法。

3、本发明的课题不限于以上提及的课题，本领域技术人员可以通过下面的描述清楚地理解未提及的其它课题。

4、课题的解决手段

5、用于达成上述课题的本发明的基板处理装置的一个方面(aspect)包括：工作台，其沿第一方向延伸，并且基板沿着所述第一方向移动；移动单元，其分别配置在沿所述第一方向延伸的所述工作台的两侧，并使所述基板沿所述第一方向移动；以及控制单元，其对齐所述基板，所述移动单元包括分别吸附所述基板的一侧以及另一侧的第一夹持器以及第二夹持器，所述第一夹持器吸附所述基板的一侧之后，所述控制单元对齐所述基板，所述基板被对齐后，所述第二夹持器吸附所述基板的另一侧，并且所述基板沿所述第一方向移动。

6、在一些实施例中，所述第一夹持器能够以与所述第一方向垂直的第二方向为轴旋转。

7、在一些实施例中，所述第一夹持器以及第二夹持器能够一边沿所述第一方向移动所述基板一边对所述基板进行横摆(yaw)控制。

8、所述基板处理装置还包括：测量单元，其设置在所述工作台上并拍摄被配置在所述基板的顶点处的对齐标记。

9、在一些实施例中，所述控制单元利用所述测量单元拍摄到的所述对齐标记的图像来在所述对齐标记偏离预设基准点时，将所述对齐标记的位置设置为所述预设基准点。

10、所述基板处理装置还可以包括：头单元，其设置于在所述工作台上沿与所述第一方向不同的第二方向延伸的机架，并朝向所述基板喷出液滴，所述头单元能够沿所述第二方向移动。

11、在一些实施例中，所述工作台包括第一区域和第二区域，所述第一区域是装载所述基板并且所述第一夹持器以及第二夹持器分别吸附所述基板的第一面和第二面的区域，所述第二区域是对所述基板执行印刷工序的区域。

12、在一些实施例中，所述第一区域是朝向所述基板喷射气体的区域，所述第二区域是朝向所述基板喷射气体，并吸入所述基板与所述第二区域之间的气体的区域。

13、用于达成上述课题的本发明的基板处理装置的另一方面包括：工作台，其沿第一方向延伸，并且标有对齐标记的基板沿着所述第一方向移动；测量单元，其包括在所述工作台上与所述基板的对齐标记对应并拍摄所述对齐标记的摄像头；第一夹持器，其吸附所述基板的第一面，并能够以与所述第一方向垂直的第二方向为轴旋转；第二夹持器，其吸附与所述基板的所述第一面相向的第二面；以及控制单元，其控制所述第一夹持器，所述测量单元的摄像头在所述第一夹持器吸附所述第一面之后拍摄所述对齐标记，所述控制单元接收所述摄像头拍摄到的图像，并使所述第一夹持器旋转来对齐所述基板，对齐所述基板之后，所述第二夹持器吸附所述基板的第二面。

14、所述基板处理装置在所述第二夹持器吸附所述基板之后，沿所述第一方向移动所述基板，并对所述基板执行印刷工序。

15、在一些实施例中，所述第一夹持器以及第二夹持器能够一边沿所述第一方向移动所述基板一边对所述基板进行横摆(yaw)控制。

16、在一些实施例中，所述工作台包括第一区域和第二区域，所述第一区域是装载所述基板并且所述第一夹持器以及第二夹持器吸附所述基板的区域，所述第二区域是对所述基板执行印刷工序的区域。

17、在一些实施例中，所述第一区域是朝向所述基板喷射气体的区域，所述第二区域是朝向所述基板喷射气体并吸入所述基板与所述第二区域之间的气体的区域。

18、所述基板处理装置还包括：头单元，其设置于在所述工作台上沿与所述第一方向以及所述第二方向不同的第三方向延伸的机架，并朝向所述基板喷出液滴，所述测量单元设置在所述工作台的所述第一区域上，所述头单元设置在所述工作台的所述第二区域上。

19、在一些实施例中，所述对齐标记被配置在所述基板的顶点处。

20、用于解决上述课题的本发明的基板处理方法的一个方面包括：在工作台的第一区域装载包括对齐标记的基板，利用第一夹持器来吸附所述基板的沿第一方向延伸的第一面，拍摄所述基板的对齐标记，使所述第一夹持器旋转来对齐所述基板，利用与所述第一夹持器不同的第二夹持器来吸附与所述基板的第一面相向的第二面，沿所述第一方向移动所述基板，在所述工作台的第二区域中对所述基板执行印刷工序。

21、在一些实施例中，所述对齐标记被配置在所述基板的顶点处。

22、在一些实施例中，所述工作台的第一区域是朝向所述基板喷射气体的区域，所述工作台的第二区域是朝向所述基板喷射气体并吸入所述基板与所述第二区域之间的气体的区域。

23、所述基板处理方法还包括：一边沿所述第一方向移动所述基板一边对所述基板进行横摆控制。

24、在一些实施例中，对齐所述基板是利用拍摄所述对齐标记得到的图像来在所述对齐标记偏离预设基准点时，将所述对齐标记的位置设置为所述预设基准点。

25、其它实施例的具体事项包括在详细的说明及附图中。

技术特征：

1.一种基板处理装置，包括：

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

4.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

5.根据权利要求4所述的基板处理装置，其中，

6.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

7.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

8.根据权利要求7所述的基板处理装置，其中，

9.一种基板处理装置，包括：

10.根据权利要求9所述的基板处理装置，其中，

11.根据权利要求9所述的基板处理装置，其中，

12.根据权利要求9所述的基板处理装置，其中，

13.根据权利要求12所述的基板处理装置，其中，

14.根据权利要求12所述的基板处理装置，其中，

15.根据权利要求10所述的基板处理装置，其中，

16.一种基板处理方法，包括：

17.根据权利要求16所述的基板处理方法，其中，

18.根据权利要求16所述的基板处理方法，其中，

19.根据权利要求16所述的基板处理方法，其中，

20.根据权利要求16所述的基板处理方法，其中，

技术总结
本发明提供能够稳定地移动基板，并将墨水喷出至准确的位置的基板处理装置以及利用其的基板处理方法。本发明的基板处理装置包括：机架，其沿第一方向延伸，并且基板沿所述第一方向移动；移动单元，其分别配置在沿所述第一方向延伸的所述工作台的两侧，并使所述基板沿所述第一方向移动；以及控制单元，其对齐所述基板，所述移动单元包括分别吸附所述基板的一侧以及另一侧的第一夹持器以及第二夹持器，所述第一夹持器吸附所述基板的一侧之后，所述控制单元对齐所述基板，所述基板被对齐之后，所述第二夹持器吸附所述基板的另一侧，并且所述基板沿所述第一方向移动。

技术研发人员：成普滥璨,李彦锡
受保护的技术使用者：细美事有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13