一种龙门双面光刻系统的曝光方法与流程

本发明涉及双面光刻，具体涉及一种龙门双面光刻系统的曝光方法。

背景技术：

1、中国专利cn108873621b公开了一种悬臂式双台面的双面光刻机及双面光刻方法，双面光刻机包括安装架；分别设于安装架两侧的第一光刻组件和第二光刻组件；第一装载台和第二装载台；及驱动机构，驱动机构包括驱动组件，第一装载台和第二装载台分别在第一运动状态和第二运动状态通过光刻区。当光刻时，第一装载台以第一循环轨迹运动、并在第一运动状态时通过光刻区、以对第一待光刻件进行光刻，而第二装载台以第二循环轨迹运动、并在第二运动状态时通过光刻区、以对第二待光刻件进行光刻，第一装载台和第二装载台均循环运动，且第二待光刻件光刻时还能进行第一光刻成品的卸载或下一个第一待光刻件的装载；

2、但是上述的现有技术中，悬臂式双台面的双面光刻机存在着采用单边支撑的工作方式，而此种在光刻时，会发生若pcb板重量过大，导致晃动倾斜的问题；以及pcb板也是采用直接放置双面光刻，而这种也将会发生pcb板两侧发生卷边等问题；

3、以及目前采用的人工压紧或者气缸压紧板上下移动压紧，人工压紧存在费时费力的问题，而自动压紧需要pcb要移动到指定位置停止下来，并进行压紧工作，其影响pcb光刻节奏。

技术实现思路

1、本发明的目的就在于解决上述背景技术的问题，而提出一种龙门双面光刻系统的曝光方法。

2、本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

3、一种龙门双面光刻系统的曝光方法，包括以下步骤:

4、步骤1：组装好pcb组件，并将pcb组件放置到龙门式上平台；

5、步骤2：将龙门式上平台移动到ccd组件的位置处，通过上下两侧的对位相机对pcb板上下两面同时进行定位；

6、步骤3：将龙门式上平台移动到光刻组件的位置处，通过上下两侧的光刻镜头对pcb板上下两面同时进行光刻；

7、步骤4：光刻好的龙门式上平台上的pcb组件回复到原位置，待光刻的龙门式下平台上的pcb组件重复步骤1-3进行光刻。

8、作为本发明的进一步方案：在步骤1中，pcb组件组装的顺序为按照上玻璃板、pcb板和下玻璃板从低往上顺序排布。

9、作为本发明的进一步方案：在步骤2中，通过移动模组控制上ccd组件和下ccd组件沿着x轴和z轴进行移动，对应调节水平位置和高度位置，进行定位。

10、作为本发明的进一步方案：在步骤3中，通过移动模组控制上光刻组件和下光刻组件沿着x轴和z轴进行移动，对应调节水平位置和高度位置，进行光刻。

11、作为本发明的进一步方案：在步骤2中，在移动龙门式上平台过程中，对位于龙门式上平台上的上玻璃板进行压紧工作。

12、作为本发明的进一步方案：压紧工作具体过程如下：

13、首先运动到压紧机构位置时，压紧板与滑轮接触，随着平台的移动，使得滑轮沿着压紧板的弧面，移动到压紧板的底面上，从而将驱动立柱向下移动，使得压紧辊也将随着向下移动，并作用在pcb板组件上进行压紧工作，随着平台移动使得压紧辊对pcb板组件进行全面压紧，最后随着平台移动，压紧板将与滑轮分离，压紧机构复位，等待对下一个pcb板组件进行压紧工作。

14、作为本发明的进一步方案：当上玻璃板压紧结束后送去光刻时，启动驱动电机工作，带动基座转动，对装卸组件和压紧辊进行切换，使得装卸组件处于正下方。

15、作为本发明的进一步方案：在步骤4中，当龙门式上平台上的pcb板光刻结束后，pcb板组件移动到初始位置，再次移动到压紧机构的位置处时，此时控制升降气缸带动安装板向下移动，使得吸盘将吸附住后，升降气缸复位到原来的高度，将上玻璃板取下，同时，pcb板组件回复到上料的工位上。

16、作为本发明的进一步方案：启动双轴气缸工作，通过活动杆带动伸缩杆伸长，使得吸附住的上玻璃板向靠近pcb板组件上料工位的位置移动，即移动到压紧机构的前方。

17、作为本发明的进一步方案：当下一组pcb组件进行光刻时，移动到吸附的上玻璃板时，通过升降气缸将上玻璃板放置到pcb板上，再接着控制使得双轴气缸收缩，使得伸缩杆收缩到基座的安装槽内，并将控制驱动电机，使得压紧辊处于底部，等待对下一组pcb组件进行压紧工作。

18、本发明的有益效果：

19、本发明的光刻系统，只需要在设备的一侧增加一个工位即可，便可以实现对两个平台进行交叉的光刻工作，从而提高pcb板的光刻工作量；以及分别设置上下两个的光刻组件和ccd组件，从而可以对pcb板同时进行两面光刻工作，将提高pcb板的光刻效率；

20、本发明的压紧机构，利用pcb板进行光刻时进行移动作为动力源，实现对压紧机构的压紧辊下降压紧工作，具有节能高效的优点，以及两组相互配合，实现对pcb板进行全面的压紧，具有压紧效果好的优点，还有就是利用pcb板移动的时间，便可以实现对压紧工作，有效节省光刻时间；

21、本发明基座将压紧机构和装卸机构连接在一起，实现了对pcb板进行压紧工作和拿取上玻璃工作，并且两者分别进行自动化操作，大大节省了人力，以及，两者之间根据pcb板光刻工序的节奏，进行相应切换使其可以有序的工作；还有装卸机构通过设置伸缩杆，使得该装卸机构具有方便收缩，使得其占有设备较小空间。

技术特征：

1.一种龙门双面光刻系统的曝光方法，其特征在于，包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种龙门双面光刻系统的曝光方法,其特征在于，在步骤1中，pcb组件(9)组装的顺序为按照上玻璃板(92)、pcb板(91)和下玻璃板(93)从低往上顺序排布。

3.根据权利要求1所述的一种龙门双面光刻系统的曝光方法,其特征在于，在步骤2中，通过移动模组控制上ccd组件(7)和下ccd组件(8)沿着x轴和z轴进行移动，对应调节水平位置和高度位置，进行定位。

4.根据权利要求1所述的一种龙门双面光刻系统的曝光方法,其特征在于，在步骤3中，通过移动模组控制上光刻组件(5)和下光刻组件(6)沿着x轴和z轴进行移动，对应调节水平位置和高度位置，进行光刻。

5.根据权利要求4所述的一种龙门双面光刻系统的曝光方法,其特征在于，在步骤2中，在移动龙门式上平台(31)和龙门式下平台(41)过程中，对位于龙门式上平台(31)和龙门式下平台(41)上的上玻璃板(92)进行压紧工作。

6.根据权利要求5所述的一种龙门双面光刻系统的曝光方法,其特征在于，压紧工作具体过程如下：

7.根据权利要求6所述的一种龙门双面光刻系统的曝光方法,其特征在于，当上玻璃板(92)压紧结束后送去光刻时，启动驱动电机工作，带动基座(111)转动，对装卸组件和压紧辊(103)进行切换，使得装卸组件处于正下方。

8.根据权利要求7所述的一种龙门双面光刻系统的曝光方法,其特征在于，在步骤(4)中，当龙门式上平台(31)上的pcb板(91)光刻结束后，pcb板组件(9)移动到初始位置，再次移动到压紧机构(10)的位置处时，此时控制升降气缸(117)带动安装板(116)向下移动，使得吸盘(113)将吸附住后，升降气缸(117)复位到原来的高度，将上玻璃板(92)取下，同时，pcb板组件(9)回复到上料的工位上。

9.根据权利要求8所述的一种龙门双面光刻系统的曝光方法,其特征在于，启动双轴气缸(115)工作，通过活动杆(114)带动伸缩杆(112)伸长，使得吸附住的上玻璃板(92)向靠近pcb板组件(9)上料工位的位置移动，即移动到压紧机构(10)的前方。

10.根据权利要求9所述的一种龙门双面光刻系统的曝光方法,其特征在于，当下一组pcb组件(9)进行光刻时，移动到吸附的上玻璃板(92)时，通过升降气缸(117)将上玻璃板(92)放置到pcb板(91)上，再接着控制使得双轴气缸(115)收缩，使得伸缩杆(112)收缩到基座(111)的安装槽内，并将控制驱动电机，使得压紧辊(103)处于底部，等待对下一组pcb组件(9)进行压紧工作。

技术总结
本发明公开了一种龙门双面光刻系统的曝光方法，包括以下步骤:组装好PCB组件，并将PCB组件放置到龙门式上平台；将龙门式上平台移动到CCD组件的位置处，通过上下两侧的对位相机对PCB板上下两面同时进行定位；将龙门式上平台移动到光刻组件的位置处，通过上下两侧的光刻镜头对PCB板上下两面同时进行光刻；光刻好的龙门式上平台上的PCB组件回复到原位置，待光刻的龙门式下平台上的PCB组件重复步骤1‑3进行光刻，本发明的光刻系统，只需要在设备的一侧增加一个工位即可，便可对两个平台进行交叉的光刻工作；以及分别设置上下两个的光刻组件和CCD组件，从而可以对PCB板同时进行两面光刻工作。

技术研发人员：王华,陈志特,朱敏,甘泉,黄海浩
受保护的技术使用者：广东科视光学技术股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12