一种光刻机安装用辅助调平装置的制作方法

1.本发明涉及底座调平技术领域，具体为一种光刻机安装用辅助调平装置。


背景技术：

2.光刻机在安装时需要保持一定的水平度，需要根据安装场地的地面水平进行自适应调节，根据专利号为cn102854751 a所述的中国专利光刻机调焦调平机构以及光刻机调平机构，解决了现有调焦调平机构的欠约束问题。在压电陶瓷驱动器组件的驱动下，调焦调平机构的输入数等于机构的自由度数，但是在进行调节时，调节不够精准，在调节完毕之后长时间使用时，对底座的支撑力度不够，容易导致后期倾斜定位发生偏移。


技术实现要素：

3.针对现有技术的不足，本发明提供了一种光刻机安装用辅助调平装置，解决了上述提出的问题。
4.为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种光刻机安装用辅助调平装置，包括固定底座和调节座，所述调节座的底部固定连接有调节块，所述固定底座的内腔开设有与调节块的表面卡接的调节槽，所述固定底座的顶部固定连接有液压缸，所述液压缸活塞杆的顶端与调节座的底部转动连接，所述固定底座的内腔开设有活动槽，所述活动槽的内腔活动连接有抵接杆，所述抵接杆的一端与调节块的表面抵接，所述活动槽的一端螺纹连接有调节杆，所述调节杆的一端固定连接有顶杆，所述顶杆的一端贯穿并延伸至抵接杆的内腔，所述抵接杆的内腔开设有与顶杆的表面适配的顶槽。
5.作为本发明进一步的方案：所述调节杆位于活动槽外侧的表面固定连接有转动座。
6.作为本发明进一步的方案：所述抵接杆的表面固定连接有导向块，所述导向块的一侧贯穿并延伸至固定底座的内腔，所述固定底座的内腔开设有与导向块的表面滑动连接的导向槽。
7.作为本发明进一步的方案：所述抵接杆的表面开设有与调节块的表面抵接凹槽。
8.作为本发明进一步的方案：所述调节块的底面为圆弧形。
9.在使用时，通过启动液压缸带动其活塞杆运动带动调节座运动，调节座运动时带动调节块在调节槽内上下运动，角度调节完毕之后，然后转动转动座，带动调节杆在活动槽内，转动，调节杆在活动槽内朝向固定底座的中心处运动，通过顶杆挤压在抵接杆一侧的顶槽内，挤压抵接杆运动，抵接杆通过顶部的导向块限位，导向块在导向槽内滑动，抵接杆只能水平运动抵接在调节块的表面，将调节块顶起，此时调节块因为调节与调节槽之间产生的缝隙被抵接杆封堵住，此时抵接杆从四周给予调节块压力，同时液压缸从四周将调节座拉住，固定完毕。
10.本发明与现有技术相比具备以下有益效果：通过将调节座与固定底座分体式设置，通过液压缸定位完毕之后，通过多根抵接杆的共同协作将调节块顶住进行限位，抵接杆
施加推力，液压缸施加压力和拉力，可以快速的对调节座进行调平后的固定，并且固定效果好，受力点多。
附图说明
11.图1为本发明的结构剖视图；
12.图2为本发明图1中a处的局部放大图；
13.图3为本发明图1中b处的局部放大图；
14.图4为本发明的结构主视图。
15.图中：1、固定底座；2、调节槽；3、调节块；4、调节座；5、液压缸；6、活动槽；7、调节杆；8、转动座；9、抵接杆；10、顶杆；11、顶槽；12、导向块；13、导向槽。
具体实施方式
16.为更进一步阐述本发明为实现预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。
17.请参阅图1-4，本发明提供一种技术方案：一种光刻机安装用辅助调平装置，包括固定底座1和调节座4，调节座4的底部固定连接有调节块3，固定底座1的内腔开设有与调节块3的表面卡接的调节槽2，固定底座1的顶部固定连接有液压缸5，液压缸5活塞杆的顶端与调节座4的底部转动连接，固定底座1的内腔开设有活动槽6，活动槽6的内腔活动连接有抵接杆9，抵接杆9的一端与调节块3的表面抵接，活动槽6的一端螺纹连接有调节杆7，调节杆7的一端固定连接有顶杆10，顶杆10的一端贯穿并延伸至抵接杆9的内腔，抵接杆9的内腔开设有与顶杆10的表面适配的顶槽11，通过将调节座4与固定底座1分体式设置，通过液压缸5定位完毕之后，通过多根抵接杆9的共同协作将调节块3顶住进行限位，抵接杆9施加推力，液压缸5施加压力和拉力，可以快速的对调节座4进行调平后的固定，并且固定效果好，受力点多。
18.调节杆7位于活动槽6外侧的表面固定连接有转动座8，通过转动座8的设计可以快速的对调节杆7的位置进行调节，更加省力。
19.抵接杆9的表面固定连接有导向块12，导向块12的一侧贯穿并延伸至固定底座1的内腔，固定底座1的内腔开设有与导向块12的表面滑动连接的导向槽13，通过导向块12进行限位，使得抵接杆9只能水平进行运动。
20.抵接杆9的表面开设有与调节块3的表面抵接凹槽，设置的凹槽增大接触面积，固定更加牢固。
21.调节块3的底面为圆弧形。
22.在使用时，通过启动液压缸5带动其活塞杆运动带动调节座4运动，调节座4运动时带动调节块3在调节槽2内上下运动，角度调节完毕之后，然后转动转动座8，带动调节杆7在活动槽6内，转动，调节杆7在活动槽6内朝向固定底座1的中心处运动，通过顶杆10挤压在抵接杆9一侧的顶槽11内，挤压抵接杆9运动，抵接杆9通过顶部的导向块12限位，导向块12在导向槽13内滑动，抵接杆9只能水平运动抵接在调节块3的表面，将调节块3顶起，此时调节块3因为调节与调节槽2之间产生的缝隙被抵接杆9封堵住，此时抵接杆9从四周给予调节块3压力，同时液压缸5从四周将调节座4拉住，固定完毕。
23.以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本发明，任何本领域技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简介修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。


技术特征：
1.一种光刻机安装用辅助调平装置，包括固定底座(1)和调节座(4)，其特征在于：所述调节座(4)的底部固定连接有调节块(3)，所述固定底座(1)的内腔开设有与调节块(3)的表面卡接的调节槽(2)，所述固定底座(1)的顶部固定连接有液压缸(5)，所述液压缸(5)活塞杆的顶端与调节座(4)的底部转动连接，所述固定底座(1)的内腔开设有活动槽(6)，所述活动槽(6)的内腔活动连接有抵接杆(9)，所述抵接杆(9)的一端与调节块(3)的表面抵接，所述活动槽(6)的一端螺纹连接有调节杆(7)，所述调节杆(7)的一端固定连接有顶杆(10)，所述顶杆(10)的一端贯穿并延伸至抵接杆(9)的内腔，所述抵接杆(9)的内腔开设有与顶杆(10)的表面适配的顶槽(11)。2.根据权利要求1所述的一种光刻机安装用辅助调平装置，其特征在于：所述调节杆(7)位于活动槽(6)外侧的表面固定连接有转动座(8)。3.根据权利要求1所述的一种光刻机安装用辅助调平装置，其特征在于：所述活动槽(6)设置有多个，且在固定底座(1)的内腔对称分布。4.根据权利要求1所述的一种光刻机安装用辅助调平装置，其特征在于：所述抵接杆(9)的表面固定连接有导向块(12)，所述导向块(12)的一侧贯穿并延伸至固定底座(1)的内腔，所述固定底座(1)的内腔开设有与导向块(12)的表面滑动连接的导向槽(13)。5.根据权利要求1所述的一种光刻机安装用辅助调平装置，其特征在于：所述抵接杆(9)的表面开设有与调节块(3)的表面抵接凹槽。6.根据权利要求1所述的一种光刻机安装用辅助调平装置，其特征在于：所述调节块(3)的底面为圆弧形。

技术总结
本发明公开了一种光刻机安装用辅助调平装置，包括固定底座和调节座，所述调节座的底部固定连接有调节块，所述固定底座的内腔开设有与调节块的表面卡接的调节槽，所述固定底座的顶部固定连接有液压缸，所述液压缸活塞杆的顶端与调节座的底部转动连接，本发明涉及底座调平技术领域。该光刻机安装用辅助调平装置，通过将调节座与固定底座分体式设置，通过液压缸定位完毕之后，通过多根抵接杆的共同协作将调节块顶住进行限位，抵接杆施加推力，液压缸施加压力和拉力，可以快速的对调节座进行调平后的固定，并且固定效果好，受力点多。受力点多。受力点多。


技术研发人员：赵江民
受保护的技术使用者：合肥玖福半导体技术有限公司
技术研发日：2022.10.19
技术公布日：2022/12/1