技术特征：
1.一种单激光器双头分光结构，包括箱体组件（1），其特征在于，所述箱体组件（1）的内部一端对称设置有用于对激光进行反射导向的第一反射组件（3）和第二反射组件（4），所述箱体组件（1）的内部且位于第一反射组件（3）和第二反射组件（4）的前端设置有用于对激光进行分光的分光组件（2），所述箱体组件（1）的外部且对应第一反射组件（3）和第二反射组件（4）的位置安装有结构相同的第一激光系统（5）和第二激光系统（6），所述箱体组件（1）的内部且位于第一反射组件（3）和第二反射组件（4）之间设置有用于对内部进行散热的散热组件（7）。2.根据权利要求1所述的一种单激光器双头分光结构，其特征在于，所述箱体组件（1）包括箱体（11）和顶盖（12），所述顶盖（12）通过螺栓安装在箱体（11）的顶端，所述箱体（11）的内部底端安装有两组振镜控制卡（13），所述箱体（11）的侧壁开设有第一通孔（14）和第二通孔（15）。3.根据权利要求1所述的一种单激光器双头分光结构，其特征在于，所述分光组件（2）包括安装在箱体（11）的内部底端的激光器（21）和分光镜（22），所述激光器（21）用于发出激光，且发射端倾斜朝向分光镜（22）。4.根据权利要求1所述的一种单激光器双头分光结构，其特征在于，所述第一反射组件（3）包括用于反射激光的反射镜a（31）以及用于改变激光光束直径和发散角的扩束镜a（32），所述反射镜a（31）和扩束镜a（32）之间设置有用于反射激光的振镜a（33），所述振镜a（33）的顶部通过支架连接有驱动装置。5.根据权利要求4所述的一种单激光器双头分光结构，其特征在于，所述反射镜a（31）倾斜位于分光镜（22）的左侧，所述扩束镜a（32）的激光出口端朝向第一通孔（14），且位置相对应。6.根据权利要求1所述的一种单激光器双头分光结构，其特征在于，所述第二反射组件（4）包括用于反射激光的反射镜b（41）以及用于改变激光光束直径和发散角的扩束镜b（42），所述反射镜b（41）和扩束镜b（42）之间设置有用于反射激光的振镜b（43），所述振镜b（43）的顶部通过支架连接有驱动装置。7.根据权利要求6所述的一种单激光器双头分光结构，其特征在于，所述反射镜b（41）倾斜位于分光镜（22）的右侧，所述扩束镜b（42）的激光出口端朝向第二通孔（15），且位置相对应。8.根据权利要求1所述的一种单激光器双头分光结构，其特征在于，所述散热组件（7）包括安装在箱体（11）内部底端的陶瓷散热系统（71）以及安装在箱体（11）外侧面的水冷散热器（72），且陶瓷散热系统（71）和水冷散热器（72）通过管道（73）相连，所述陶瓷散热系统（71）位于振镜a（33）和振镜b（43）之间。9.根据权利要求1所述的一种单激光器双头分光结构，其特征在于，所述第一激光系统（5）包括扫描头（51），所述扫描头（51）的底部设置有场镜（52），所述扫描头（51）的侧面设置有进口端（53），且进口端（53）与第一通孔（14）的位置相对应。
技术总结
本发明公开了一种单激光器双头分光结构，本发明涉及激光加工技术领域，包括箱体组件，所述箱体组件的内部一端对称设置有用于对激光进行反射导向的第一反射组件和第二反射组件，通过分光镜将激光器发生的单束激光分为双束激光，并通过反射镜A和反射镜B将双束激光分别反射至扩束镜A和扩束镜B的方向，通过调整振镜A和振镜B的角度，从而控制第一激光系统和第二激光系统同步工作或不工作，以及单一激光系统进行工作，并在单一激光系统工作或第一激光系统和第二激光系统同步不工作时，激光经振镜反射到陶瓷散热系统上，进而启动水冷散热器完成激光能量的吸收作业，振镜旋转快速、无冲击、无振动，采用专用散热系统，散热效果好。散热效果好。散热效果好。
技术研发人员：严章美 梁帅
受保护的技术使用者：深圳嵘坤半导体装备有限公司
技术研发日：2022.11.11
技术公布日：2023/1/31