接近式光刻机的载台调平装置的制作方法

本发明涉及光刻专用设备，特别涉及一种接近式光刻机的载台调平装置。

背景技术：

1、光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

2、在相关技术中，在接近式光刻机领域里，为提高曝光质量须保证掩膜板与产品载台的平行度，需要用到调平装置。传统的载台调平装置调平产品载台与掩膜台之间的平行度误差大，需要反复进行调平，调平精度低。

技术实现思路

1、本发明的主要目的是提出一种接近式光刻机的载台调平装置，旨在提高调节产品载台与掩膜台之间平行度的调平精度。

2、为实现上述目的，本发明提出的接近式光刻机的载台调平装置，该接近式光刻机的载台调平装置包括：

3、掩膜台；

4、产品载台，设置于所述掩膜台的下方；

5、至少三个接触球，设置于所述产品载台上，每个所述接触球的直径一致，各个所述接触球不全在一条直线上；

6、至少三个音圈电机，所述音圈电机设置于所述产品载台的下方；

7、所述音圈电机用于顶升所述产品载台，而使所述接触球沿竖直方向的两端分别抵接所述掩膜台的下表面与所述产品载台的上表面，以调节所述产品载台相对所述掩膜台的一面与所述掩膜台相对所述产品载台的一面平行。

8、在一实施例中，所述音圈电机的输出端安装有可旋转的球头，所述球头与所述产品载台点接触。

9、在一实施例中，所述载台调平装置还包括底座，所述音圈电机安装于所述底座上，且位于所述底座与所述产品载台之间。

10、在一实施例中，所述载台调平装置还包括载具支撑部件，所述载具支撑部件包括支撑台以及可伸缩地安装于所述支撑台的伸缩组件，所述伸缩组件设置有可旋转的连接部，所述连接部连接所述产品载台，所述支撑台连接所述底座。

11、在一实施例中，所述接触球的数量为三个，三个所述接触球呈等边三角形式均匀排布。

12、在一实施例中，各个所述音圈电机不全在一条直线上。

13、在一实施例中，所述音圈电机的数量为三个，三个所述音圈电机呈等边三角形式均匀排布。

14、在一实施例中，三个所述接触球的中心线与所述产品载台的中心线重合；

15、和/或，三个所述音圈电机的中心线与所述产品载台的中心线重合。

16、在一实施例中，所述产品载台的横截面为圆角方形。

17、在一实施例中，所述掩膜台的横截面为正方形。

18、本发明技术方案通过采用该接近式光刻机的载台调平装置包括掩膜台、产品载台、至少三个接触球以及至少三个音圈电机；所述产品载台设置于所述掩膜台的下方；所述接触球设置于所述产品载台上，各个所述接触球不全在一条直线上；所述音圈电机设置于所述产品载台的下方；所述音圈电机用于顶升所述产品载台，而使所述接触球沿竖直方向的两端分别抵接所述掩膜台的下表面与所述产品载台的上表面，以调节所述产品载台相对所述掩膜台的一面与所述掩膜台相对所述产品载台的一面平行。如此设置，多个音圈电机同步发出相同力矩，在音圈电机的推动下，产品载台上升，将产品载板抵近掩膜台，接触球被压紧夹设于掩膜台的下表面及产品载台的上表面之间，此时根据不共线的三点确定一个平面原理及掩膜台的下表面与掩膜台的上表面之间的距离处处等于接触球的直径，产品载板和掩膜台两部件相对面保持平行，产品载台所在平面被确定，音圈电机记录压紧时各自位置并保持，接触球撤出，如此之后产品载台在调平装置外机械结构驱动时，在有效行程内，仍可实现产品载板和掩膜台的相对面始终保持平行，避免每次曝光时需重新调整平行度，提高调平精度，加快加工效率。

技术特征：

1.一种接近式光刻机的载台调平装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的接近式光刻机的载台调平装置，其特征在于，所述音圈电机的输出端安装有可旋转的球头，所述球头与所述产品载台点接触。

3.如权利要求2所述的接近式光刻机的载台调平装置，其特征在于，所述载台调平装置还包括底座，所述音圈电机安装于所述底座上，且位于所述底座与所述产品载台之间。

4.如权利要求3所述的接近式光刻机的载台调平装置，其特征在于，所述载台调平装置还包括载具支撑部件，所述载具支撑部件包括支撑台以及可伸缩地安装于所述支撑台的伸缩组件，所述伸缩组件设置有可旋转的连接部，所述连接部连接所述产品载台，所述支撑台连接所述底座。

5.如权利要求4所述的接近式光刻机的载台调平装置，其特征在于，所述接触球的数量为三个，三个所述接触球呈等边三角形式均匀排布。

6.如权利要求5所述的接近式光刻机的载台调平装置，其特征在于，各个所述音圈电机不全在一条直线上。

7.如权利要求6所述的接近式光刻机的载台调平装置，其特征在于，所述音圈电机的数量为三个，三个所述音圈电机呈等边三角形式均匀排布。

8.如权利要求7所述的接近式光刻机的载台调平装置，其特征在于，三个所述接触球的中心线与所述产品载台的中心线重合；

9.如权利要求1所述的接近式光刻机的载台调平装置，其特征在于，所述产品载台的横截面为圆角方形。

10.如权利要求1所述的接近式光刻机的载台调平装置，其特征在于，所述掩膜台的横截面为正方形。

技术总结
本发明公开一种接近式光刻机的载台调平装置，该接近式光刻机的载台调平装置包括掩膜台、产品载台、至少三个接触球以及至少三个音圈电机；所述产品载台设置于所述掩膜台的下方；所述接触球设置于所述产品载台上，每个所述接触球的直径一致，各个所述接触球不全在一条直线上；所述音圈电机设置于所述产品载台的下方；所述音圈电机用于顶升所述产品载台，而使所述接触球沿竖直方向的两端分别抵接所述掩膜台的下表面与所述产品载台的上表面，以调节所述产品载台相对所述掩膜台的一面与所述掩膜台相对所述产品载台的一面平行。本发明技术方案能够实现接近式光刻机中产品载台的快速调平，提高调平精度，保证曝光质量。

技术研发人员：蒋绍毅,王金鹏,霍荣标,方文韬
受保护的技术使用者：深圳市海目芯微电子装备科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13