一种气浮轴承辅助支撑装置的制作方法

本技术涉及半导体设备，特别地涉及一种气浮轴承辅助支撑装置。

背景技术：

1、随着半导体行业的发展，光刻机的加工精度要求越来越高。其中双工件台是光刻机中最核心设备之一，属于超高精度运动平台。在光刻过程中，为提高工作效率，承片台承载着硅片高精度且高速运动，而线缆台的主要作用就是跟随承片台，为其提供蚀刻硅片过程中各种工作、运输和维护环境输入的信号及动力线缆，冷却水及动力气体输入的接口，所以线缆台即需要具有较大的速度与加速度来保证其跟随承片台的能力，又需要具有良好的运动稳定性能，属于极高精度的运动过程。根据线缆台的高性能运动需求，满足这一严苛的工作条件，需要设计平面运动气浮轴承的特殊支撑装置，来降低运动阻力和摩擦损耗，而现有技术，气浮支撑面在大载荷和变化载荷下受力时易出现变形不均匀的情况，从而导致多个气浮轴承并行时的共面度较差，为了使气浮轴承更好的贴合气浮导向面，使结构运动平稳，满足线缆台运动的平稳性，当多个气浮并行使用时，亟需一种气浮轴承辅助支撑装置。

技术实现思路

1、针对上述现有技术中的问题，本申请提出了一种气浮轴承的辅助支撑装置，能够减少气浮轴承所受由速度快速变化而产生的冲击负载，吸收振动，保证气浮轴承的平稳性，防止气浮轴承脱落或剐蹭气浮导向面。

2、本实用新型的一种气浮轴承的辅助支撑装置，包括分别与气浮轴承以及滑台底板连接的支撑框架，所述支撑框架通过辅助支撑部与所述滑台底板连接，所述辅助支撑部的末端具有配合在所述滑台底板的槽体内的调节部，所述调节部与所述槽体的底部弧面接触，以使所述调节部能够在所述槽体内偏转。

3、在一个实施方式中，所述槽体的槽壁与其槽底采用弧面过渡，以形成所述槽体内部的弧面结构；通过本实施方式，方便所述调节部在所述槽体内偏转。

4、在一个实施方式中，所述槽体的槽底为下凹的弧面；通过本实施方式，使调节部顶部的圆弧段能够与槽体的中心处的圆弧段贴合，且其顶部的圆弧段与槽体的中心处周围的圆弧段之间存在间隙，该区域组成了所述调节部的可调节范围，即所述调节部能够在可调节范围内自适应改变自身的倾斜角度。

5、在一个实施方式中，所述调节部至少部分位于所述槽体内；通过本实施方式，使得将所述调节部放入所述槽体内时，所述调节部可以完全位于所述槽体内，也可以部分位于所述槽体内；即当调节部的部分本体位于所述槽体外时，其在自适应调节过程中，能够保证调节部与槽体之间的稳定性。

6、在一个实施方式中，还包括弹性补偿部，所述弹性补偿部位于所述支撑框架与所述滑台底板之间的空隙内，所述弹性补偿部用于在所述调节部偏转时使所述辅助支撑部复位；通过本实施方式，在气浮轴承的承载力大幅变化时，弹性补偿部能够进一步减少气浮轴承受到的冲击力，不仅能够防止气浮轴承脱落，保证其气浮面能够始终与气浮导轨面贴合；还能够在多个气浮轴承并行使用时，保证多个气浮轴承之间的共面性。

7、在一个实施方式中，所述弹性补偿部由多个弹性件组合而成，多个所述弹性件沿所述辅助支撑部环绕设置；通过本实施方式，多个弹性件构成弹性补偿部，且多个弹性件沿所述辅助支撑部环绕设置，便于均匀地减少气浮轴承受到的冲击力，吸收对所述气浮轴承的冲击负载。

8、在一个实施方式中，每个所述弹性件均为弧形结构的弹簧片；通过本实施方式，弹簧片能够在不超过最大弹性限度的情况下自动复位，且弹簧片为弧形结构，进一步保证气浮轴承的气浮面能够更好的与气浮导轨面贴合，防止气浮轴承脱落或剐蹭气浮导向面，提高了气浮轴承的工作性能，保证了气浮轴承的正常工作状态。

9、在一个实施方式中，所述支撑框架底部在水平面上的投影完全位于所述弹性补偿部在水平面上的投影内，通过本实施方式，使得所述弹性补偿部能够完全作用于所述支撑框架。

10、在一个实施方式中，所述滑台底板上还具有下凹的缺口，所述缺口与所述支撑框架的底部对应设置，所述弹性补偿部安装在所述辅助支撑部上，且所述弹性补偿部的端部能够在所述调节部偏转时与所述缺口的壁面接触；通过本实施方式，将弹性补偿部与辅助支撑部构成一体，方便安装弹性补偿部。

11、在一个实施方式中，所述弹性件均沿所述辅助支撑部的轴线对称设置，且每个所述弹性件的开口方向均朝向所述支撑框架；通过本实施方式，使得多个弹性补偿部之间在吸收冲击负载时能够相互配合，使得所述气浮轴承更加平稳。

12、上述技术特征可以各种适合的方式组合或由等效的技术特征来替代，只要能够达到本实用新型的目的。

13、本实用新型提供的一种气浮轴承的辅助支撑装置，与现有技术相比，至少具备有以下有益效果：

14、当各气浮轴承承载力不同或者承载力大幅度变化时，通过辅助支撑部以及弹性补偿部的相互配合，迅速衰减加减速度运动引起的冲击负载，起到平稳吸振的作用，使得气浮面能够始终与气浮导轨面贴合，并且保证各气浮轴承之间的共面性。

技术特征：

1.一种气浮轴承辅助支撑装置，其特征在于，包括分别与气浮轴承以及滑台底板连接的支撑框架，所述支撑框架通过辅助支撑部与所述滑台底板连接，所述辅助支撑部的末端具有配合在所述滑台底板的槽体内的调节部，所述调节部与所述槽体的底部弧面接触，以使所述调节部能够在所述槽体内偏转。

2.根据权利要求1所述的气浮轴承辅助支撑装置，其特征在于，所述槽体的槽壁与其槽底采用弧面过渡，以形成所述槽体内部的弧面结构。

3.根据权利要求1所述的气浮轴承辅助支撑装置，其特征在于，所述槽体的槽底为下凹的弧面。

4.根据权利要求1至3任一项所述的气浮轴承辅助支撑装置，其特征在于，所述调节部至少部分位于所述槽体内。

5.根据权利要求1所述的气浮轴承辅助支撑装置，其特征在于，还包括弹性补偿部，所述弹性补偿部位于所述支撑框架与所述滑台底板之间的空隙内，所述弹性补偿部用于在所述调节部偏转时使所述辅助支撑部复位。

6.根据权利要求5所述的气浮轴承辅助支撑装置，其特征在于，所述弹性补偿部由多个弹性件组合而成，多个所述弹性件沿所述辅助支撑部环绕设置。

7.根据权利要求6所述的气浮轴承辅助支撑装置，其特征在于，每个所述弹性件均为弧形结构的弹簧片。

8.根据权利要求5所述的气浮轴承辅助支撑装置，其特征在于，所述支撑框架底部在水平面上的投影完全位于所述弹性补偿部在水平面上的投影内。

9.根据权利要求5所述的气浮轴承辅助支撑装置，其特征在于，所述滑台底板上还具有下凹的缺口，所述缺口与所述支撑框架的底部对应设置，所述弹性补偿部安装在所述辅助支撑部上，且所述弹性补偿部的端部能够在所述调节部偏转时与所述缺口的壁面接触。

10.根据权利要求6所述的气浮轴承辅助支撑装置，其特征在于，所述弹性件均沿所述辅助支撑部的轴线对称设置，且每个所述弹性件的开口方向均朝向所述支撑框架。

技术总结
本技术提供了一种气浮轴承的辅助支撑装置，包括分别与气浮轴承以及滑台底板连接的支撑框架，所述支撑框架通过辅助支撑部与所述滑台底板连接，所述辅助支撑部的末端具有配合在所述滑台底板的槽体内的调节部，所述调节部与所述槽体的底部弧面接触，以使所述调节部能够在所述槽体内偏转，所述槽体的槽壁与其槽底采用弧面过渡，以形成所述槽体内部的弧面结构。基于本技术的技术方案，能够迅速衰减加减速度运动引起的冲击负载，起到平稳吸振的作用，使得气浮面能够始终与气浮导轨面贴合，并且保证各气浮轴承之间的共面性。

技术研发人员：张海涛,张利,谢青
受保护的技术使用者：北京华卓精科科技股份有限公司
技术研发日：20220927
技术公布日：2024/1/13