一种偏振光同轴调节结构的制作方法

本技术属于椭偏仪测量、光学精密测量，具体涉及一种偏振光同轴调节结构。

背景技术：

1、光谱椭偏仪是一种用途很广的科学仪器。它通过测量偏振光通过表面和经过表面薄膜反射后，偏振态的变化来推算出薄膜的厚度、薄膜的光学折射率以及薄膜的其他性能，灵敏度极高，可以测到1/10原子大小的膜厚的变化。

2、但是，现有技术中，偏振态光束由于机械加工误差和调试精度，实际光束状态与理想光束状态可能会出现不同轴的现象。为提高光谱椭偏仪的测量灵敏度，行业中的研发人员不断从光源、探测器、入射角和偏振态的被测参数，椭偏仪的结构(琼斯矩阵，穆勒矩阵)等方面改进，均无法解决上述问题。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本实用新型提供了一种偏振光同轴调节结构，可以抵消光束偏心及倾斜的影响，较大效率收取光束偏振态的变化至光谱仪探测区域，达到提高测量精度的目的。

2、为达到上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种偏振光同轴调节结构，包括俯仰调节基板、俯仰调节固定板，所述俯仰调节基板平行设置于与所述俯仰调节固定板上方，所述俯仰调节基板用于与探测器固定连接；

3、还包括固定珠、至少两个调节螺钉；

4、所述固定珠设置于所述俯仰调节固定板上表面的一个角落处，所述固定珠底端与所述俯仰调节固定板抵接，所述固定珠顶端与所述俯仰调节基板抵接；

5、两个所述调节螺钉分别设置于所述俯仰调节固定板上表面与固定珠相邻的两个角落处，所述调节螺钉固定端与所述俯仰调节固定板固定连接，所述调节螺钉调节端与所述俯仰调节基板固定连接。

6、作为优选的，所述俯仰调节固定板上表面与所述俯仰调节基板下表面均设有与所述固定珠相适配的凹槽。

7、作为优选的，所述固定珠为钢珠。

8、作为优选的，所述调节结构还包括多个弹簧，所述俯仰调节固定板上表面与固定珠相邻的两个角落处、以及与固定珠相对的角落处均设有所述弹簧，所述弹簧底端与所述俯仰调节固定板固定连接，所述弹簧顶端与所述俯仰调节基板固定连接。

9、作为优选的，所述俯仰调节固定板上表面与固定珠相邻的两个角落处、以及与固定珠相对的角落处各设有两个所述弹簧。

10、作为优选的，所述调节结构还包括夹套、调节件；

11、所述夹套用于固定透镜，所述俯仰调节固定板和所述俯仰调节基板中间均为穿孔结构，所述夹套顶端穿过所述俯仰调节固定板延伸至所述俯仰调节基板穿孔内，所述夹套包括下部和上部，所述下部外径小于所述上部外径，所述下部外侧套设有压缩弹簧，所述俯仰调节固定板穿孔内侧壁设有用于防止所述上部下滑的止位环，所述压缩弹簧底端与所述止位环上端面相抵触，所述压缩弹簧顶端与所述上部下端面相抵触；

12、所述调节件包括下调节部和上调节部，所述下调节部外侧壁设有外螺纹，所述俯仰调节基板穿孔内侧壁设有内螺纹，所述下调节部与所述俯仰调节基板穿孔内侧壁螺接，所述上调节部顶端延伸至所述俯仰调节基板上方，所述下调节部底端与所述上部顶端相抵触。

13、作为优选的，所述上调节部外侧壁为螺帽结构。

14、与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

15、本实用新型提供的一种偏振光同轴调节结构，其中，光束依次穿过俯仰调节固定板、俯仰调节基板，然后进入探测器内，如若光束发生偏心倾斜，可以通过调节两个调节螺钉，改变俯仰调节基板的角度，进而改变探测器的角度，保证光束垂直于俯仰调节基板，即可使得光束垂直进入探测器的探测面，从而抵消光束偏心及倾斜的影响，使得光束可以最大效率进入探测器，提高测量精度。

技术特征：

1.一种偏振光同轴调节结构，其特征在于，包括俯仰调节基板(1)、俯仰调节固定板(2)，所述俯仰调节基板(1)平行设置于与所述俯仰调节固定板(2)上方，所述俯仰调节基板(1)用于与探测器固定连接；

2.根据权利要求1所述的一种偏振光同轴调节结构，其特征在于，所述俯仰调节固定板(2)上表面与所述俯仰调节基板(1)下表面均设有与所述固定珠(3)相适配的凹槽。

3.根据权利要求1所述的一种偏振光同轴调节结构，其特征在于，所述固定珠(3)为钢珠。

4.根据权利要求1所述的一种偏振光同轴调节结构，其特征在于，所述调节结构还包括多个弹簧(5)，所述俯仰调节固定板(2)上表面与固定珠(3)相邻的两个角落处、以及与固定珠(3)相对的角落处均设有所述弹簧(5)，所述弹簧(5)底端与所述俯仰调节固定板(2)固定连接，所述弹簧(5)顶端与所述俯仰调节基板(1)固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种偏振光同轴调节结构，其特征在于，所述俯仰调节固定板(2)上表面与固定珠(3)相邻的两个角落处、以及与固定珠(3)相对的角落处各设有两个所述弹簧(5)。

6.根据权利要求1所述的一种偏振光同轴调节结构，其特征在于，所述调节结构还包括夹套(7)、调节件(9)；

7.根据权利要求6所述的一种偏振光同轴调节结构，其特征在于，所述上调节部(901)外侧壁为螺帽结构。

技术总结
本技术属于椭偏仪测量、光学精密测量技术领域，提供了一种偏振光同轴调节结构，包括俯仰调节基板、俯仰调节固定板；还包括固定珠、至少两个调节螺钉；所述固定珠设置于所述俯仰调节固定板上表面的一个角落处；两个所述调节螺钉分别设置于所述俯仰调节固定板上表面与固定珠相邻的两个角落处。该调节结构中，光束依次穿过俯仰调节固定板、俯仰调节基板，然后进入探测器内，如若光束发生偏心倾斜，可以通过调节两个调节螺钉，改变探测器的角度，保证光束垂直于俯仰调节基板，即可使得光束垂直进入探测器的探测面，从而抵消光束偏心及倾斜的影响，使得光束可以最大效率进入探测器，提高测量精度。还可以通过调节透镜的焦距，增加光束的通过率。

技术研发人员：高威,陈军,江攀
受保护的技术使用者：武汉颐光科技有限公司
技术研发日：20221110
技术公布日：2024/1/12