一种拍摄装置的制作方法

本技术涉及显微成像，特别是涉及一种拍摄装置。

背景技术：

1、显微镜主要是一种用于将微小物体放大到使人的肉眼能够清楚的看到的仪器。

2、在显微成像技术领域，由于使用的基本都是高倍率显微镜，因此成像系统的景深都比较小，一般只有十几到几十微米量级。在利用高倍率显微镜对晶圆检测的过程中，需要用到多种波段进行不同类型缺陷的区分。现有的拍摄装置若想实现晶圆缺陷的复判检测，需要利用多个高倍率显微镜组合使用。因此造成检测工位多，拍照复杂，空间密集的影响。除此之外，多个检测工位导致整体重量、设备复杂度以及成本的提高，打光光源的布置也成为了问题，不同工位还需要准确标定相对位置，从而实现不同相机对同一缺陷的拍照和后续的标记工作。

3、因此，如何在提高测试精度的同时减少系统的复杂度以及系统重量，是本领域技术人员急需解决的问题。

技术实现思路

1、基于上述问题，本申请提供了一种拍摄装置，通过使不同成像系统共用一套主镜，取消了不同工位之间的标定，将多套光学系统集成到一套内，减少了z轴高度控制，倍率切换等部件，实现了在提高测试精度的同时减少系统的复杂度以及重量。

2、本实用新型实施例提供了一种拍摄装置，包括：主相机、物镜、镜头结构、第一反射棱镜单元、第二反射棱镜单元、第三反射棱镜单元、第四反射棱镜单元、辅相机以及复判相机；

3、所述镜头结构一端与所述主相机连接，另一端与所述物镜连接；

4、所述第一反射棱镜单元和第三反射棱镜单元置于所述镜头结构内；

5、所述主相机，用于接收从所述第三反射棱镜单元透射过的光线；

6、所述第二反射棱镜单元置于所述镜头结构外，用于反射所述第一反射棱镜单元反射的光线；

7、所述辅相机与所述第二反射棱镜单元对应，用于接收所述第二反射棱镜单元反射的光线；

8、所述第四反射棱镜单元置于所述镜头结构外，用于反射所述第三反射棱镜单元反射的光线；

9、所述复判相机与所述第四反射棱镜单元对应，用于接收所述第四反射棱镜单元反射的光线。

10、可选的，所述辅相机置于所述主相机的第一方向上；所述复判相机置于所述主相机的第二方向上。

11、可选的，所述第一方向与所述第二方向垂直。

12、可选的，所述第二反射棱镜单元，包括：

13、第一反射子棱镜、第二反射子棱镜以及第三反射子棱镜。

14、可选的，所述第一反射子棱镜、所述第二反射子棱镜以及所述第三反射子棱镜之间相互平行。

15、可选的，所述第一反射子棱镜、所述第二反射子棱镜以及所述第三反射子棱镜与水平面之间的夹角为45度。

16、可选的，所述第一反射子棱镜、所述第二反射子棱镜以及所述第三反射子棱镜之间的距离相等。

17、可选的，所述第一反射棱镜单元与所述第三反射棱镜单元相互垂直。

18、可选的，所述第一反射棱镜单元置于所述第三反射棱镜单元的下方。

19、可选的，所述第四反射棱镜单元与水平面之间的夹角为45度。

20、从以上技术方案可以看出，相较于现有技术，本实用新型具有以下优点：

21、综上所述，本实用新型公开了一种拍摄装置，可应用于显微成像技术领域，包括：主相机、物镜、镜头结构、第一反射棱镜单元、第二反射棱镜单元、第三反射棱镜单元、第四反射棱镜单元、辅相机以及复判相机；所述镜头结构一端与所述主相机连接，另一端与所述物镜连接；所述第一反射棱镜单元和第三反射棱镜单元置于所述镜头结构内；所述主相机，用于接收从所述第三反射棱镜单元透射过的光线；所述第二反射棱镜单元置于所述镜头结构外，用于反射所述第一反射棱镜单元反射的光线；所述辅相机与所述第二反射棱镜单元对应，用于接收所述第二反射棱镜单元反射的光线；所述第四反射棱镜单元置于所述镜头结构外，用于反射所述第三反射棱镜单元反射的光线；所述复判相机与所述第四反射棱镜单元对应，用于接收所述第四反射棱镜单元反射的光线。由此，通过使不同成像系统共用一套主镜，取消了不同工位之间的标定，将多套光学系统集成到一套内，减少了z轴高度控制，倍率切换等部件，实现了在提高测试精度的同时减少系统的复杂度以及重量。

技术特征：

1.一种拍摄装置，其特征在于，包括：主相机、物镜、镜头结构、第一反射棱镜单元、第二反射棱镜单元、第三反射棱镜单元、第四反射棱镜单元、辅相机以及复判相机；

2.根据权利要求1所述的一种拍摄装置，其特征在于，所述辅相机置于所述主相机的第一方向上；所述复判相机置于所述主相机的第二方向上。

3.根据权利要求2所述的一种拍摄装置，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向垂直。

4.根据权利要求1所述的一种拍摄装置，其特征在于，所述第二反射棱镜单元，包括：

5.根据权利要求4所述的一种拍摄装置，其特征在于，所述第一反射子棱镜、所述第二反射子棱镜以及所述第三反射子棱镜之间相互平行。

6.根据权利要求4所述的一种拍摄装置，其特征在于，所述第一反射子棱镜、所述第二反射子棱镜以及所述第三反射子棱镜与水平面之间的夹角为45度。

7.根据权利要求4所述的一种拍摄装置，其特征在于，所述第一反射子棱镜、所述第二反射子棱镜以及所述第三反射子棱镜之间的距离相等。

8.根据权利要求1所述的一种拍摄装置，其特征在于，所述第一反射棱镜单元与所述第三反射棱镜单元相互垂直。

9.根据权利要求1所述的一种拍摄装置，其特征在于，所述第一反射棱镜单元置于所述第三反射棱镜单元的下方。

10.根据权利要求1所述的一种拍摄装置，其特征在于，所述第四反射棱镜单元与水平面之间的夹角为45度。

技术总结
本技术公开了一种拍摄装置，可应用于显微成像技术领域，包括：主相机、物镜、镜头结构、第一反射棱镜单元、第二反射棱镜单元、第三反射棱镜单元、第四反射棱镜单元、辅相机以及复判相机；镜头结构一端与主相机连接，另一端与物镜连接；第一反射棱镜单元和第三反射棱镜单元置于镜头结构内；第二反射棱镜单元置于镜头结构外，用于向辅相机反射第一反射棱镜单元反射的光线；第四反射棱镜单元置于镜头结构外，用于向复判相机反射第三反射棱镜单元反射的光线。由此，不同成像系统共用一套主镜，取消了不同工位之间的标定，多套光学系统集成到一套内，减少了Z轴高度控制，倍率切换等部件，实现了在提高测试精度的同时减少系统的复杂度以及重量。

技术研发人员：朱小明,周振兴,蒯多杰
受保护的技术使用者：苏州镁伽科技有限公司
技术研发日：20221215
技术公布日：2024/1/12