一种实现波导上光的偏振旋转的结构的制作方法

本技术涉及一种实现波导上光的偏振旋转的结构，属于薄膜铌酸锂光波导。

背景技术：

1、光波导是一种可以将光限制并且引导光传输的介质结构，波导中传输的光是以特定的模式进行传输。铌酸锂薄膜作为一种全新的集成光学材料，可以很好地将材料优异的电光、声光、非线性等性能与结构紧凑的光波导相结合。薄膜铌酸锂的可用性有助于制作具有大折射率反差(大约比离子扩散波导大一个数量级)和强模式约束的单片脊波导。哈佛大学课题组通过使用ar+离子icp-rie刻蚀工艺，成功制备了超低损耗的薄膜铌酸锂光波导，该波导损耗可低至0.027db/cm，华东师范大学研究组利用飞秒激光加工辅助的化学机械研磨研发了一种高效、大规模制备超低损耗的铌酸锂波导的方法，该方法制备的铌酸锂波导损耗极低，约0.03db/cm。光经过波导传输的损耗一直通过研究在不断降低，然而在有关光偏振旋转的需求方面还有待提高，目前在片上偏振方向的旋转困难，有一定局限性。

技术实现思路

1、为了克服上述现有技术的不足，本实用新型提供了一种将法拉第旋转镜与薄膜铌酸锂光波导光学端面贴合的结构。

2、本实用新型所采用的技术方案是：一种实现波导上光的偏振旋转的结构，在光波导端面贴合一个法拉第旋转镜，入射光经过光纤进入光波导中，再直接进入法拉第旋转镜，法拉第旋转镜把光旋转45°，光经过法拉第旋转镜遇到法拉第旋转镜的反射镜后再反射回去，经过法拉第旋转镜时再旋转45°，最后返回波导时一共偏振旋转了90°，改变了入射光的方向，且法拉第旋转镜与光波导端面直接贴合，增加了光的传输效率。

3、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

4、通过设置法拉第旋转镜以及反射镜能够使入射光偏振旋转90°，以及通过光在法拉第旋转镜和铌酸锂薄膜器件的来回传输实现的光偏振进行补偿调制，提高光转换效率。

技术特征：

1.一种实现波导上光的偏振旋转的结构，其特征在于：包括光波导(1)、法拉第旋转镜(2)和反射膜(3)，入射光通过光纤进入薄光波导(1)，法拉第旋转镜(2)连接在光波导(1)的一端，入射光进入法拉第旋转镜(2)，反射膜(3)安装在法拉第旋转镜(2)的末端；

2.根据权利要求1所述的一种实现波导上光的偏振旋转的结构，其特征在于：所述光波导(1)为薄膜铌酸锂光波导。

3.根据权利要求1所述的一种实现波导上光的偏振旋转的结构，其特征在于：所述法拉第旋转镜(2)将光轴旋转45°。

4.根据权利要求1所述的一种实现波导上光的偏振旋转的结构，其特征在于：所述光波导(1)的中心波长为1550nm。

技术总结
本技术涉及一种实现波导上光的偏振旋转的结构，属于铌酸锂光波导技术领域。为了解决片上偏振方向旋转困难的问题，本技术在薄膜铌酸锂波导光学端面贴合了一个一面镀高反膜的法拉第旋转镜，通过法拉第旋转镜改变光的偏振方向，使光偏振旋转90°，再返回到原波导中，实现光波导中偏振方向的旋转，通过光在法拉第旋转镜和铌酸锂薄膜器件的来回传输实现的光偏振进行补偿调制，提高光转换效率。

技术研发人员：邱晨,李子琰,宝剑锋
受保护的技术使用者：苏州康冠光电科技有限公司
技术研发日：20221228
技术公布日：2024/1/13