光学装置的制作方法

本发明涉及光学装置。

背景技术：

1、以往，已知具备处理部的光学装置，该处理部处理作为不需要的光的泄漏光(杂散光)(例如，专利文献1)。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：国际公开第2017/134911号

技术实现思路

1、发明要解决的课题

2、在激光的功率大的光学装置中，泄漏光的处理部接受的泄漏光的功率也增大，进而该泄漏光的处理部的温度有可能变高。

3、于是，本发明的课题之一在于得到例如在能够处理泄漏光的光学装置中例如能够抑制泄漏光的处理部的温度的上升这样的、不相宜的情况较少的被改善后的新的光学装置。

4、用于解决课题的方案

5、本发明的光学装置例如具备：至少一个光学部件，其将去往第一方向的第一光向第二方向反射，并且使去往第二方向的第二光透过，且产生去往所述第一方向的泄漏光，该泄漏光包含所述第一光中的朝向所述第一方向透过了的成分和所述第二光中的朝向所述第一方向反射了的成分；第一处理部，其吸收所述泄漏光，并且向规定方向反射所述泄漏光；以及至少一个第二处理部，其吸收来自所述第一处理部的所述泄漏光。

6、在所述光学装置中，也可以是，所述第二处理部处的所述泄漏光的反射率比所述第一处理部处的所述泄漏光的反射率低。

7、所述光学装置也可以作为所述第一处理部而具备在所述泄漏光的光路中串联配置的多个第一处理部。

8、在所述光学装置中，也可以是，所述多个第一处理部所包含的两个第一处理部中的位于所述泄漏光的光路的行进方向的前方的第一处理部处的所述泄漏光的反射率比所述两个第一处理部中的位于所述行进方向的后方的第一处理部处的所述泄漏光的反射率低。

9、所述光学装置也可以具备将在所述第一处理部或所述第二处理部处由于吸收所述泄漏光而产生的热量向散热部传递的热传递部。

10、所述光学装置也可以具备将所述第一处理部及所述第二处理部中的至少一个冷却的冷却机构。

11、所述光学装置也可以具备：作为所述光学部件的多个光学部件；以及供所述泄漏光分别从互不相同的所述光学部件入射的作为所述第一处理部的多个第一处理部，来自所述多个第一处理部的所述泄漏光向所述至少一个所述第二处理部入射。

12、在所述光学装置中，也可以是，所述第一光的波长与所述第二光的波长不同。

13、在所述光学装置中，也可以是，所述第一光的偏振面的朝向与所述第二光的偏振面的朝向不同。

14、在所述光学装置中，也可以是，所述第一光及所述第二光分别从不同的光源射出。

15、另外，本发明的光学装置例如具备：第一处理部，其吸收来自光学部件的向第一方向的泄漏光，并且向第三方向反射该泄漏光；以及第二处理部，其位于从所述第一处理部向所述第三方向分离开的位置，并吸收在所述第一处理部处反射了的所述泄漏光。

16、发明效果

17、根据本发明，能够得到例如能够抑制泄漏光的处理部中的温度的上升这样的、不相宜的情况较少的被改善后的新的光学装置。

技术特征：

1.一种光学装置，其中，

2.根据权利要求1所述的光学装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的光学装置，其中，

4.根据权利要求3所述的光学装置，其中，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的光学装置，其中，

6.根据权利要求1～5中任一项所述的光学装置，其中，

7.根据权利要求1～6中任一项所述的光学装置，其中，

8.根据权利要求1～7中任一项所述的光学装置，其中，

9.根据权利要求1～7中任一项所述的光学装置，其中，

10.根据权利要求1～9中任一项所述的光学装置，其中，

11.一种光学装置，其中，

技术总结
光学装置例如具备：至少一个光学部件，其将去往第一方向的第一光向第二方向反射，并且使去往第二方向的第二光透过，且产生去往第一方向的泄漏光，该泄漏光包含第一光中的朝向第一方向透过了的成分和第二光中的朝向第一方向反射了的成分；第一处理部，其吸收泄漏光，并且向规定方向反射该泄漏光；以及至少一个第二处理部，其吸收来自第一处理部的泄漏光。

技术研发人员：冈田彪利,石毛悠太
受保护的技术使用者：古河电气工业株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15