光刻机承载台定位部件的布线结构及布线方法与流程

本发明涉及光刻机，特别涉及一种光刻机承载台定位部件的布线结构及布线方法。

背景技术：

1、光刻机承载台的粗定位发光部件属于慢消耗品，使用寿命达到5年后还会随着使用时长衰减，衰减到一定程度会导致承载台定位不准的问题发生，从而需要对粗定位发光部件进行更换。

2、可参考图1所示的安装有粗定位发光部件的基座立体图，以及图2的示意图，粗定位发光部件包括探头组件02和处理装置03，其中探头组件02设置在定盘01的顶部，由于现有技术中基座的设计结构，导致在更换过程中，不仅需要拆去露出的探头组件02，还需要拆去定盘01及底部的空压箱(未图示)、维护板04甚至是脚轮框架05的构件，使处理装置03与探头组件02的接口露出，才能将探头组件02的引线和对应的处理装置03拆除或连接，其中，拆除周围众多的附属件工事后，再重装和调配设备精度的时间至少需要3天，在拆装过程中还可能会引发组件损坏等其他问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种光刻机承载台定位部件的布线结构及布线方法，以解决探头组件更换时间长的问题。

2、为解决上述技术问题，本发明提供一种光刻机承载台的定位部件的布线结构，设置于光刻机的外壳围合成的工作腔室中，所述定位部件包括处理装置和探头组件，所述处理装置设置在所述工作腔室的内壁上，所述探头组件安装在所述承载台底部的基座上，所述探头组件接出有第一连接线束以与所述处理装置上的连接接口对接。

3、优选地，所述处理装置包括放大器和编码器。

4、优选地，所述基座还包括定盘、维护板，所述定盘的顶部开设有若干凹槽，所述探头组件设置在所述凹槽中，所述定盘的底部连接有所述维护板。

5、优选地，所述凹槽和所述维护板均配合所述第一连接线束开设有贯通孔，以使所述第一连接线束穿过。

6、优选地，还包括线套，所述线套套设在所述第一连接线束外，且所述线套的内壁与所述第一连接线束之间间隙配合，所述线套的两端与分别与所述凹槽和所述维护板上的所述贯通孔相连。

7、本发明还提供了一种光刻机，包括上述的光刻机承载台定位部件的布线结构。

8、本发明还提供了一种光刻机承载台定位部件的布线方法，所述定位部件设置于光刻机的外壳围合成的工作腔室中，所述定位部件包括处理装置和探头组件，所述处理装置设置在所述工作腔室的内壁上，所述探头组件安装在所述承载台底部的基座上，所述探头组件接出有第一连接线束，其中，所述第一连接线束远离所述探头组件的一端从所述基座的底部穿出，以与所述处理装置上的连接接口对接，还包括以下步骤：

9、升起承载台，露出其底部待拆除的探头组件；

10、断开连接所述待拆除的探头组件和所述第一连接线束，拆去所述待拆除的探头组件并露出所述第一连接线束的接头；

11、将新的探头组件上接出的第二连接线束的端部与所述第一连接线束的接头连接；

12、拖拽所述第一连接线束靠近所述处理装置的一端，直至牵引所述第二连接线束拖出到所述处理装置处，断开所述第一连接线束和所述处理装置之间的连接，连接所述第二连接线束和所述处理装置，并将所述新的探头组件安装在所述基座上。

13、优选地，所述处理装置包括放大器和编码器。

14、优选地，所述基座还包括定盘、维护板，所述定盘的顶部开设有若干凹槽，用于设置所述探头组件，所述定盘的底部连接有所述维护板。

15、优选地，所述凹槽和所述维护板均配合所述第一连接线束开设有贯通孔，以使所述第一连接线束穿过。

16、在本发明提供的光刻机承载台定位部件的布线结构及布线方法中，通过对现有的布线方式改造，调整处理装置的位置及与探头组件的布线，从而达到在更换探头组件的过程中，不需要再拆除空压箱等众多附属件，大幅度缩短工事时间，同时避免在拆装过程中引起的其他故障，例如工事后精度跳变，导致产品品质异常。

技术特征：

1.一种光刻机承载台定位部件的布线结构，设置于光刻机的外壳围合成的工作腔室中，其特征在于，所述定位部件包括处理装置和探头组件，所述处理装置设置在所述工作腔室的内壁上，所述探头组件安装在所述承载台底部的基座上，所述探头组件接出有第一连接线束以与所述处理装置上的连接接口对接。

2.如权利要求1所述的光刻机承载台定位部件的布线结构，其特征在于，所述处理装置包括放大器和编码器。

3.如权利要求1所述的光刻机承载台定位部件的布线结构，其特征在于，所述基座还包括定盘、维护板，所述定盘的顶部开设有若干凹槽，所述探头组件设置在所述凹槽中，所述定盘的底部连接有所述维护板。

4.如权利要求3所述的光刻机承载台定位部件的布线结构，其特征在于，所述凹槽和所述维护板均配合所述第一连接线束开设有贯通孔，以使所述第一连接线束穿过。

5.如权利要求4所述的光刻机承载台定位部件的布线结构，其特征在于，还包括线套，所述线套套设在所述第一连接线束外，且所述线套的内壁与所述第一连接线束之间间隙配合，所述线套的两端与分别与所述凹槽和所述维护板上的所述贯通孔相连。

6.一种光刻机，其特征在于，包括如上述权利要求1-5任一项所述的光刻机承载台定位部件的布线结构。

7.一种光刻机承载台定位部件的布线方法，其特征在于，所述定位部件设置于光刻机的外壳围合成的工作腔室中，所述定位部件包括处理装置和探头组件，所述处理装置设置在所述工作腔室的内壁上，所述探头组件安装在所述承载台底部的基座上，所述探头组件接出有第一连接线束，其中，所述第一连接线束远离所述探头组件的一端从所述基座的底部穿出，以与所述处理装置上的连接接口对接，还包括以下步骤：

8.如权利要求7所述的光刻机承载台定位部件的布线方法，其特征在于，所述处理装置包括放大器和编码器。

9.如权利要求7所述的光刻机承载台定位部件的布线方法，其特征在于，所述基座还包括定盘、维护板，所述定盘的顶部开设有若干凹槽，用于设置所述探头组件，所述定盘的底部连接有所述维护板。

10.如权利要求9所述的光刻机承载台定位部件的布线方法，其特征在于，所述凹槽和所述维护板均配合所述第一连接线束开设有贯通孔，以使所述第一连接线束穿过。

技术总结
本发明公开了一种光刻机承载台定位部件的布线结构及布线方法，属于光刻机技术领域，该光刻机承载台定位部件的布线结构，设置于光刻机的外壳围合成的工作腔室中，所述定位部件包括处理装置和探头组件，所述处理装置设置在所述工作腔室的内壁上，所述探头组件安装在所述承载台底部的基座上，所述探头组件接出有第一连接线束以与所述处理装置上的连接接口对接。通过调整处理装置的安装位置以及处理装置和探头组件之间的布线位置，从而在拆装探头组件时，只需拆下探头组件，使用待拆除的连接线束带动新连接线束至处理装置的连接接口处实现连接，从而达到缩短更换时长、提高工作效率的目的。

技术研发人员：陈亚龙,王猛,陆捷
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13