1.一种抗蚀剂组成物，含有：
2.根据权利要求1所述的抗蚀剂组成物，其中，该通式(p-1)中的非亲核性相对离子m0-由下述通式(e-0)表示；
3.根据权利要求1或2所述的抗蚀剂组成物，其中，该树脂(a)及该树脂(b)不含具有内酯结构的重复单元。
4.根据权利要求1或2所述的抗蚀剂组成物，其中，该抗蚀剂组成物更含有树脂(c)，且该树脂(c)不含因酸的作用而极性会变化并成为可溶于碱水溶液的重复单元。
5.根据权利要求4所述的抗蚀剂组成物，其中，该树脂(c)具有下述通式(c-1)表示的重复单元；
6.根据权利要求1或2所述的抗蚀剂组成物，其中，该抗蚀剂组成物更含有下述通式(e-1)表示的鎓盐(e)；
7.根据权利要求1或2所述的抗蚀剂组成物，其中，该溶剂(d)为选自丙二醇单甲醚乙酸酯及丙二醇二甲醚、乳酸乙酯、γ-丁内酯、4-羟基-4-甲基-2-戊酮中的2种或3种的混合溶剂。
8.一种图案形成方法，其特征为包含下列步骤：