一种光刻机光源头组件的制作方法

本发明涉及光刻机光源组件，具体为一种光刻机光源头组件。

背景技术：

1、光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统和光刻系统等，是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，光刻机在使用时，需要通过光源装置发射光线，进而对特殊处理后的硅片进行照射，达到对硅片进行蚀刻的目的。

2、传统的光刻机光源头组件在使用时，通常直接将光源头组件固定在光刻机上，在线路接通后，光源头组件内灯盘发出的光通过直准板后直接照射在硅片上，在灯盘长时间使用后，寿命到达极限会出现损坏，此时需要通过螺丝对光源装置外壳进行拆卸，然后对灯盘进行更换，更换过程繁琐，因此，针对上述问题提出一种光刻机光源头组件。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种光刻机光源头组件，以解决灯盘更换过程繁琐的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一种光刻机光源头组件，包括光源装置、直准模组、风冷装置和水冷装置，所述光源装置后方与水冷装置固定连接，所述光源装置内设置有风冷装置，所述光源装置内一侧设置有直准模组，所述光源装置包括后板、卡合主体和夹持装置，所述后板一侧设有前板，所述前板内设有呈均匀分布的螺栓，所述螺栓一端与后板螺旋连接，所述前板内固定连接有灯盘，所述前板远离后板的一侧设有固定壳，所述直准模组设置在固定壳内，所述卡合主体的个数共有两个，且卡合主体固定在前板的两侧，所述夹持装置设置在卡合主体外侧，所述夹持装置的个数共有两个，且夹持装置与前板固定连接，所述夹持装置另一侧贯穿后板，所述卡合主体包括固定块，所述固定块一侧与固定壳固定连接，所述固定块一侧转动连接有连接杆，所述连接杆远离固定块的一端固定连接有卡合杆，所述卡合杆设置在夹持装置内，所述夹持装置包括安装块和夹持主体，所述安装块内设开设有滑槽，所述安装块所设滑槽内设有定位杆，所述定位杆一端固定连接有固定板，所述定位杆另一端外侧固定在夹持主体内，所述定位杆靠近固定板的一端外侧设有第一弹簧，所述夹持主体设置在安装块内。

4、优选的，所述夹持主体包括夹持板，所述夹持板两侧均转动连接有卡合轮，所述卡合轮一侧与卡合杆紧密贴合，所述卡合杆一侧与夹持板紧密贴合，所述夹持板一侧固定连接有固定杆，所述固定杆另一端设置在安装块内，所述固定杆外侧滑动连接有连接板，所述连接板与安装块紧密贴合，所述固定杆一端外侧设有第二弹簧。

5、优选的，所述螺栓的个数共有四个，且螺栓在灯盘外侧呈均匀分布，两个所述卡合主体关于灯盘中央位置处呈相互对称设置，两个所述夹持装置关于灯盘中央位置处呈相互对称设置。

6、优选的，直准模组包括直准板和定位装置，所述直准板两侧均固定连接有密封圈，所述直准板一侧设有前框，所述直准板另一侧设有后框，所述前框与后框紧密贴合，所述后框远离直准板的一侧紧密贴合有限位框，所述限位框后方与后板固定连接，所述定位装置两个为一组设置在直准板的四周，所述定位装置一侧设置在前框内，所述定位装置另一侧设置在后框内。

7、优选的，所述定位装置包括前限位板和滑板，所述前限位板设置在前框内，所述前限位板一侧固定连接有前定位板，所述前定位板外侧设有后定位板，所述后定位板另一侧固定连接有后限位板，所述后限位板设置在后框内，所述前定位板两侧均开设有定位槽，所述前定位板所开设定位槽内有定位轮，所述定位轮在滑板内转动连接，所述定位轮两侧内均设有滑杆，所述滑杆两端均与后定位板固定连接，所述滑杆远离滑板的一端内外侧设有第三弹簧。

8、优选的，所述风冷装置包括连接壳和均风主体，所述连接壳的个数共有两个，且连接壳与前板固定连接，所述均风主体与连接壳固定连接，所述连接壳一端固定连接有呈均匀分布的连接管，所述连接管另一端固定连接有呈均匀分布的导热管，所述连接壳另一端固定连接有呈均匀分布的导管，所述导管另一端固定连接有空气输送装置，所述导热管均匀的分布在灯盘表面，所述导热管内固定连接有呈均匀分布的导热杆，所述导热杆在灯盘表面呈均匀分布。

9、优选的，所述均风主体包括连接块，所述连接块内开设有呈均匀分布的通风孔，所述连接块通过所开设通风孔固定连接有固定环，所述连接块通过所开设通风孔固定连接有固定架，所述固定环一侧固定连接有密封环，所述固定环内设有密封气门钉，所述密封气门钉贯穿固定架，所述固定架远离固定环的一侧固定连接有橡胶块，所述橡胶块呈锥台形设置，所述橡胶块外侧设有第四弹簧，所述第四弹簧另一端设有固定球，所述固定球内靠近橡胶块的一侧与密封气门钉固定连接，所述密封气门钉贯穿橡胶块。

10、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

11、1、本发明中，通过设置的后板、前板、固定壳、卡合主体和夹持装置，可以方便的对灯盘进行防，通过设置的固定块、连接杆、卡合杆、安装块、滑槽、固定板、定位杆、第一弹簧和夹持主体，可以直接推动卡合杆，通过卡合杆推动夹持主体移动，在卡合杆底部与安装块相接触后，松开卡合杆，夹持主体可以在第一弹簧的作用下对卡合杆进行卡合，同时推动卡合杆移动，实现对固定壳的快速安装，通过设置的夹持板、卡合轮、固定杆、连接板和第二弹簧，可以在对卡合杆进行卡合的同时，在固定杆和第二弹簧的作用下对夹持板上方进行限位，使夹持板移动更加平稳；

12、2、本发明中，通过设置的直准板、密封圈、前框、后框、限位框和定位装置，可以对直准板进行组装，之后通过固定壳将直准板安装在灯盘一侧，通过设置的前限位板、后限位板、前定位板、后定位板、定位槽、滑板、定位轮、滑杆和第三弹簧，可以在前框和后框对直准板进行卡合后，分别将前定位板和后定位板分别插入前框和后框内，之后前定位板插入到后定位板内，之后第三弹簧通过滑板推动定位轮，使定位轮进入前定位板所开设定位槽内，从而实现对前定位板和后定位板的定位，进而可以对前框和后框进行定位，方便磨损后的直准板更换；

13、3、本发明中，通过设置的连接壳、均风主体、导管和空气输送装置，可以在灯盘长时间使用后，对灯盘前方所设灯珠进行散热，使灯盘使用更加稳定，寿命更长，通过设置的连接块、通风孔、固定环、固定架、密封环、密封气门钉、橡胶块、固定球和第四弹簧，可以在空气进入到连接壳内后，均匀的进入连接块所开设通风孔内，随着连接壳内空气增多，连接壳内的气压逐渐增加，之后气压推动密封气门钉移动，当密封气门钉与密封环不接触时，气流空气穿过连接块所开设的通风孔，之后气流将导热管和导热杆内的热量吸收并且排出，实现对灯盘所设灯珠本体的散热，使灯盘使用更加稳定。

技术特征：

1.一种光刻机光源头组件，包括光源装置（1）、直准模组（2）、风冷装置（3）和水冷装置（4），其特征在于：所述光源装置（1）后方与水冷装置（4）固定连接，所述光源装置（1）内设置有风冷装置（3），所述光源装置（1）内一侧设置有直准模组（2），所述光源装置（1）包括后板（11）、卡合主体（15）和夹持装置（16），所述后板（11）一侧设有前板（12），所述前板（12）内设有呈均匀分布的螺栓（17），所述螺栓（17）一端与后板（11）螺旋连接，所述前板（12）内固定连接有灯盘（13），所述前板（12）远离后板（11）的一侧设有固定壳（14），所述直准模组（2）设置在固定壳（14）内，所述卡合主体（15）的个数共有两个，且卡合主体（15）固定在前板（12）的两侧，所述夹持装置（16）设置在卡合主体（15）外侧，所述夹持装置（16）的个数共有两个，且夹持装置（16）与前板（12）固定连接，所述夹持装置（16）另一侧贯穿后板（11），所述卡合主体（15）包括固定块（151），所述固定块（151）一侧与固定壳（14）固定连接，所述固定块（151）一侧转动连接有连接杆（152），所述连接杆（152）远离固定块（151）的一端固定连接有卡合杆（153），所述卡合杆（153）设置在夹持装置（16）内，所述夹持装置（16）包括安装块（161）和夹持主体（166），所述安装块（161）内设开设有滑槽（162），所述安装块（161）所设滑槽（162）内设有定位杆（164），所述定位杆（164）一端固定连接有固定板（163），所述定位杆（164）另一端外侧固定在夹持主体（166）内，所述定位杆（164）靠近固定板（163）的一端外侧设有第一弹簧（165），所述夹持主体（166）设置在安装块（161）内。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机光源头组件，其特征在于：所述夹持主体（166）包括夹持板（1661），所述夹持板（1661）两侧均转动连接有卡合轮（1662），所述卡合轮（1662）一侧与卡合杆（153）紧密贴合，所述卡合杆（153）一侧与夹持板（1661）紧密贴合，所述夹持板（1661）一侧固定连接有固定杆（1663），所述固定杆（1663）另一端设置在安装块（161）内，所述固定杆（1663）外侧滑动连接有连接板（1664），所述连接板（1664）与安装块（161）紧密贴合，所述固定杆（1663）一端外侧设有第二弹簧（1665）。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机光源头组件，其特征在于：所述螺栓（17）的个数共有四个，且螺栓（17）在灯盘（13）外侧呈均匀分布，两个所述卡合主体（15）关于灯盘（13）中央位置处呈相互对称设置，两个所述夹持装置（16）关于灯盘（13）中央位置处呈相互对称设置。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机光源头组件，其特征在于：直准模组（2）包括直准板（21）和定位装置（26），所述直准板（21）两侧均固定连接有密封圈（22），所述直准板（21）一侧设有前框（23），所述直准板（21）另一侧设有后框（24），所述前框（23）与后框（24）紧密贴合，所述后框（24）远离直准板（21）的一侧紧密贴合有限位框（25），所述限位框（25）后方与后板（11）固定连接，所述定位装置（26）两个为一组设置在直准板（21）的四周，所述定位装置（26）一侧设置在前框（23）内，所述定位装置（26）另一侧设置在后框（24）内。

5.根据权利要求4所述的一种光刻机光源头组件，其特征在于：所述定位装置（26）包括前限位板（261）和滑板（266），所述前限位板（261）设置在前框（23）内，所述前限位板（261）一侧固定连接有前定位板（263），所述前定位板（263）外侧设有后定位板（264），所述后定位板（264）另一侧固定连接有后限位板（262），所述后限位板（262）设置在后框（24）内，所述前定位板（263）两侧均开设有定位槽（265），所述前定位板（263）所开设定位槽（265）内有定位轮（267），所述定位轮（267）在滑板（266）内转动连接，所述定位轮（267）两侧内均设有滑杆（268），所述滑杆（268）两端均与后定位板（264）固定连接，所述滑杆（268）远离滑板（266）的一端内外侧设有第三弹簧（269）。

6.根据权利要求1所述的一种光刻机光源头组件，其特征在于：所述风冷装置（3）包括连接壳（31）和均风主体（32），所述连接壳（31）的个数共有两个，且连接壳（31）与前板（12）固定连接，所述均风主体（32）与连接壳（31）固定连接，所述连接壳（31）一端固定连接有呈均匀分布的连接管（35），所述连接管（35）另一端固定连接有呈均匀分布的导热管（36），所述连接壳（31）另一端固定连接有呈均匀分布的导管（33），所述导管（33）另一端固定连接有空气输送装置（34），所述导热管（36）均匀的分布在灯盘（13）表面，所述导热管（36）内固定连接有呈均匀分布的导热杆（37），所述导热杆（37）在灯盘（13）表面呈均匀分布。

7.根据权利要求6所述的一种光刻机光源头组件，其特征在于：所述均风主体（32）包括连接块（321），所述连接块（321）内开设有呈均匀分布的通风孔（322），所述连接块（321）通过所开设通风孔（322）固定连接有固定环（323），所述连接块（321）通过所开设通风孔（322）固定连接有固定架（324），所述固定环（323）一侧固定连接有密封环（325），所述固定环（323）内设有密封气门钉（326），所述密封气门钉（326）贯穿固定架（324），所述固定架（324）远离固定环（323）的一侧固定连接有橡胶块（327），所述橡胶块（327）呈锥台形设置，所述橡胶块（327）外侧设有第四弹簧（329），所述第四弹簧（329）另一端设有固定球（328），所述固定球（328）内靠近橡胶块（327）的一侧与密封气门钉（326）固定连接，所述密封气门钉（326）贯穿橡胶块（327）。

技术总结
本发明涉及光刻机光源组件技术领域，尤其为一种光刻机光源头组件，包括光源装置、直准模组、风冷装置和水冷装置，所述光源装置后方与水冷装置固定连接，所述光源装置内设置有风冷装置，所述光源装置内一侧设置有直准模组，所述光源装置包括后板、卡合主体和夹持装置，所述后板一侧设有前板，所述前板内设有呈均匀分布的螺栓，本发明中，通过设置的固定块、连接杆、卡合杆、安装块、滑槽、固定板、定位杆、第一弹簧和夹持主体，可以直接推动卡合杆，通过卡合杆推动夹持主体移动，在卡合杆底部与安装块相接触后，松开卡合杆，夹持主体可以在第一弹簧的作用下对卡合杆进行卡合，同时推动卡合杆移动，实现对固定壳的快速安装。

技术研发人员：谭军,庞超群,曹彬,朱晓春
受保护的技术使用者：张家港奇点光电科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14