一种增强型线扫相机及其角度校正方法与流程

本发明涉及晶圆检测，尤其涉及一种增强型线扫相机及其角度校正方法。

背景技术：

1、半导体作为战略性的基础产业，已经高度渗透与融合到多个领域。在芯片的制造过程中，通常设有芯片检测工序，以在制造过程中及时发现晶圆的表面缺陷，并及时改进工艺，使得晶圆的良率得以提高。

2、目前，通常采用线扫相机(也可称线扫描相机)对晶圆表面的缺陷进行检测。线扫相机是一种使用线阵传感器的相机。线扫相机中的感光芯片具有特殊的形状，其长度极长，例如有几千像素的长度，而宽度例如仅有一个像素。线扫相机用于被测物体和相机之间有相对运动的场合，通过线扫相机进行高速扫描，每次扫描完一条线后晶圆正好运动到下一个单位长度，继续下一条线的扫描。

3、在对晶圆的检测过程中，晶圆放置于运动台上，由运动台高频触发线扫相机在行进过程中进行连续线扫描。在此过程中，需要严格控制线扫相机相对于运动台的安装角度。具体地，线扫相机的安装角度决定了靶面(线)方向，线扫描方向则由运动台决定，而靶面方向与线扫描方向必须正交，若有角度偏差，则线扫成像将出现畸变。

4、现有线扫相机的转角接口通常为顶丝配合锥面的调整接口，松动顶丝即可手动转动接口，转动到位后再紧固顶丝。然而，该转角接口难以精确调整线扫相机的安装角度。

技术实现思路

1、针对上述现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种增强型线扫相机及其角度校正方法，以便实现对线扫相机安装角度的精确调整。

2、为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

3、第一方面，本发明提供一种增强型线扫相机，包括相机主体、光路组件以及连通于所述相机主体与所述光路组件之间的转台组件；

4、所述转台组件包括定子部件、第一转子部件及第二转子部件，所述定子部件与所述光路组件固定连接，所述第一转子部件与所述相机主体固定连接，所述第一转子部件及所述第二转子部件配置为能够相对于所述定子部件转动，且所述第一转子部件及所述第二转子部件之间具有可操作的第一锁定件；

5、其中，所述定子部件、第一转子部件及第二转子部件还具有同轴的通孔，以在所述相机主体与所述光路组件之间形成光路通道，且所述第一转子部件的外周面上设有手柄，所述第二转子部件的外周面上设有突出部，所述定子部件的外周面上设有与所述突出部配合的微分头组件。

6、进一步地，所述微分头组件包括：

7、安装于所述定子部件的外周面上的安装座；以及

8、安装于所述安装座一侧的微分头，所述微分头用于与所述突出部配合。

9、进一步地，所述微分头组件还包括：

10、第二锁定件，其安装于所述安装座的远离所述微分头的一侧，以使所述突出部位于微分头与所述第二锁定件之间。

11、进一步地，所述第一转子部件通过一相机接口与所述相机主体固定连接；

12、所述定子部件通过一光路组件接口与所述光路组件固定连接。

13、进一步地，所述光路组件接口包括：

14、与所述定子部件固定连接且中间开设有法兰孔的法兰盘；以及

15、连接于所述法兰盘与所述光路组件之间的连接筒；

16、进一步地，所述连接筒与所述光路组件之间螺纹连接，并且能够通过锁紧螺母锁紧。

17、进一步地，所述第一转子部件通过轴承组件与所述定子部件转动连接。

18、进一步地，所述第二转子部件套设于所述第一转子部件上，并且所述第一转子部件能够相对于所述第二转子部件转动。

19、进一步地，所述定子部件的外周面设置有刻度盘，所述第一转子部件的外周面设置有刻度线。

20、第二方面，本发明提供一种用于前述增强型线扫相机的角度校正方法，包括：

21、获取所述线扫相机连续扫描得到的两行扫描图像；

22、将所述两行扫描图像进行拼接，得到拼接图像；

23、基于所述拼接图像，检测所述两行扫描图像之间的错位长度是否超过预定偏差阈值；

24、当所述两行扫描图像之间的错位长度超过预定偏差阈值时，转动所述手柄及所述调节微分头组件，以调整所述相机主体的角度，而后返回获取所述线扫相机连续扫描得到的两行扫描图像的步骤，直至所述两行扫描图像之间的错位长度在预定偏差阈值以内。

25、通过采用上述技术方案，本发明具有以下有益效果：

26、本发明通过在所述相机主体与所述光路组件之间增加转台组件，且该转台组件包括定子部件、第一转子部件及第二转子部件，所述第一转子部件及所述第二转子部件配置为能够相对于所述定子部件转动，所述第一转子部件上设有手柄，所述第二转子部件上设有突出部，所述定子部件上设有与所述突出部配合的微分头组件，所述第一转子部件及所述第二转子部件之间具有可操作的锁定件。如此，当需要调节相机主体的安装角度(即靶面延伸方向)时，可以首先拧松第一锁定件，并转动手柄以通过转动第一转子部件带动相机主体转动，以实现相机主体角度的粗略调整；而后再拧紧第一锁定件，并调节微分头组件，以使微分头组件带动突出部转动，进而带动第二转子部件及第一转子部件转动，由于微分头组件的精度高，因而能够实现相机主体安装角度的精细调整，从而提高线扫相机安装角度的精确性。

技术特征：

1.一种增强型线扫相机，其特征在于，包括相机主体、光路组件以及连通于所述相机主体与所述光路组件之间的转台组件；

2.如权利要求1所述的增强型线扫相机，其特征在于，所述微分头组件包括：

3.如权利要求2所述的增强型线扫相机，其特征在于，所述微分头组件还包括：

4.如权利要求1所述的增强型线扫相机，其特征在于，所述第一转子部件通过一相机接口与所述相机主体固定连接；

5.如权利要求1所述的增强型线扫相机，其特征在于，所述光路组件接口包括：

6.如权利要求5所述的增强型线扫相机，其特征在于，所述连接筒与所述光路组件之间螺纹连接，并且能够通过锁紧螺母锁紧。

7.如权利要求1所述的增强型线扫相机，其特征在于，所述第一转子部件通过轴承组件与所述定子部件转动连接。

8.如权利要求7所述的增强型线扫相机，其特征在于，所述第二转子部件套设于所述第一转子部件上，并且所述第一转子部件能够相对于所述第二转子部件转动。

9.如权利要求1所述的增强型线扫相机，其特征在于，所述定子部件的外周面设置有刻度盘，所述第一转子部件的外周面设置有刻度线。

10.一种用于前述权利要求1-9任一项所述的增强型线扫相机的角度校正方法，其特征在于，包括：

技术总结
本发明提供一种增强型线扫相机及其角度校正方法，该线扫相机包括相机主体、光路组件以及连通于相机主体与光路组件之间的转台组件；转台组件包括定子部件、第一转子部件及第二转子部件，定子部件与光路组件固定连接，第一转子部件与相机主体固定连接，第一转子部件及第二转子部件能够相对于定子部件转动，且第一转子部件及第二转子部件之间具有可操作的第一锁定件；其中，定子部件、第一转子部件及第二转子部件还具有同轴的通孔，以在相机主体与光路组件之间形成光路通道，且第一转子部件的外周面上设有手柄，第二转子部件的外周面上设有突出部，定子部件的外周面上设有与突出部配合的微分头组件。本发明能够实现对线扫相机安装角度的精确调整。

技术研发人员：李明瑞,汤庚,王学振
受保护的技术使用者：魅杰光电科技（上海）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15