本申请涉及半导体，具体涉及一种光罩正位识别方法、系统和识别终端。
背景技术：
1、集成电路制造过程中，在光罩接收阶段（即光罩正式进入主机台前），光罩需要以正确的姿态和方向进入主机台，主机台才能顺利开展后续工作。因而在光罩接收阶段，识别光罩是否正位至关重要。
2、传统方案往往需要通过工程人员肉眼目检的方式来定位光罩的准确位置。如果因目检人员失误未发现光罩的摆放位置问题，则会导致光罩在进入主机台时因位置问题而导致主机台宕机，影响正常生产。可见，传统的光罩正位识别方案存在不稳定性。
技术实现思路
1、鉴于此，本申请提供一种光罩正位识别方法、系统和识别终端，以解决现有的光罩正位识别方案存在不稳定性的问题。
2、本申请提供一种光罩正位识别方法，包括如下步骤：
3、获取光罩图像，在所述光罩图像中确定多个候选区域；
4、获取各个所述候选区域对应的第一黑白图像；
5、计算各个所述第一黑白图像中第一像素值出现的比率；
6、将所述第一像素值出现的比率在第一预设范围内的第一黑白图像确定为含有正位标记的候选区域；
7、根据各个所述候选区域是否含有正位标记识别光罩是否正位。
8、可选地，所述光罩图像为矩形；多个所述候选区域分别位于所述光罩图像的各个拐角位置。
9、可选地，所述获取光罩图像，在所述光罩图像中确定多个候选区域，包括：获取光罩图像，确定所述光罩图像上各个像素的像素坐标；确定各个所述候选区域的坐标范围；根据各个所述坐标范围在所述光罩图像中确定各个所述候选区域。
10、可选地，所述获取各个所述候选区域对应的第一黑白图像，包括：获取所述光罩图像对应的灰度图像；将所述灰度图像进行图像二值化处理，得到初始黑白图像；根据所述初始黑白图像获取各个所述候选区域对应的所述第一黑白图像。
11、可选地，所述将所述灰度图像进行图像二值化处理，包括：将所述灰度图像中灰度值大于或者等于127的像素的像素值置为255，灰度值小于127的像素的像素值置为0。
12、可选地，所述光罩正位识别方法还包括：将第二像素值出现的比率在第二预设范围内的第一黑白图像确定为未含正位标记的候选区域。
13、可选地，所述第一预设范围和所述第二预设范围的确定方法包括：获取包括正位标记的光罩的图像，得到样本图像；分别获取所述样本图像中各个候选区域对应的第二黑白图像；在所述第二黑白图像中确定含有所述正位标记的第一子图像和未含所述正位标记的第二子图像；根据所述第一像素值在所述第一子图像中出现的比率确定所述第一预设范围；根据所述第二像素值在所述第二子图像中出现的比率确定所述第二预设范围。
14、可选地，所述根据各个所述候选区域是否含有正位标记识别光罩是否正位，包括：若设定的所述候选区域含有正位标记，其他所述候选区域未含正位标记，则判定所述光罩正位。
15、本申请还提供一种光罩正位识别系统，包括：
16、第一获取模块，用于获取光罩图像，在所述光罩图像中确定多个候选区域；
17、第二获取模块，用于获取各个所述候选区域对应的第一黑白图像；
18、第一计算模块，用于计算各个所述第一黑白图像中第一像素值出现的比率；
19、确定模块，用于将所述第一像素值出现的比率在第一预设范围内的第一黑白图像确定为含有正位标记的候选区域；
20、识别模块，用于根据各个所述候选区域是否含有正位标记识别光罩是否正位。
21、本申请还提供一种识别终端，所述识别终端包括：存储器、处理器，其中，所述存储器上存储有光罩正位识别程序，所述光罩正位识别程序被所述处理器执行时实现如上述任一种光罩正位识别方法的步骤。
22、本申请上述光罩正位识别方法、系统和识别终端，通过获取光罩图像的多个候选区域，获取各个候选区域对应的第一黑白图像，以放大标记符号区域和非标记符号区域图像通道值的差异、利用标记符号要么存在要么不存在这一排中特性，结合各个第一黑白图像中第一像素值出现的比率，准确识别出含有正位标记的候选区域，从而根据各个候选区域是否含有正位标记识别光罩是否正位，能够巧妙地实现对光罩位置的判断，避免了人为判断的失误，同时也避免了对于标记符号的内容直接进行识别的复杂性，可以提升对应光罩正位识别方案的稳定性。本申请还可以避免当前集成电路制造领域中，光罩在进入主机台时因光罩的位置问题而导致的机器故障，能够优化对应的工艺流程，在提升工艺效率的基础上，大幅度降低了故障率，进一步提升了机台效能。
技术特征：1.一种光罩正位识别方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的光罩正位识别方法，其特征在于，所述光罩图像为矩形；多个所述候选区域分别位于所述光罩图像的各个拐角位置。
3.根据权利要求1所述的光罩正位识别方法，其特征在于，所述获取光罩图像，在所述光罩图像中确定多个候选区域，包括：
4.根据权利要求1所述的光罩正位识别方法，其特征在于，所述获取各个所述候选区域对应的第一黑白图像，包括：
5.根据权利要求4所述的光罩正位识别方法，其特征在于，所述将所述灰度图像进行图像二值化处理，包括：
6.根据权利要求1所述的光罩正位识别方法，其特征在于，所述光罩正位识别方法还包括：
7.根据权利要求6所述的光罩正位识别方法，其特征在于，所述第一预设范围和所述第二预设范围的确定方法包括：
8.根据权利要求1所述的光罩正位识别方法，其特征在于，所述根据各个所述候选区域是否含有正位标记识别光罩是否正位，包括：
9.一种光罩正位识别系统，其特征在于，包括：
10.一种识别终端，其特征在于，所述识别终端包括：存储器、处理器，其中，所述存储器上存储有光罩正位识别程序，所述光罩正位识别程序被所述处理器执行时实现如权利要求1至8任一项所述的光罩正位识别方法的步骤。
技术总结本申请公开一种光罩正位识别方法、系统和识别终端，其中光罩正位识别方法包括如下步骤：获取光罩图像，在所述光罩图像中确定多个候选区域；获取各个所述候选区域对应的第一黑白图像；计算各个第一黑白图像中第一像素值出现的比率；将所述第一像素值出现的比率在第一预设范围内的第一黑白图像确定为含有正位标记的候选区域；根据各个所述候选区域是否含有正位标记识别光罩是否正位。本申请能够巧妙地实现对光罩位置的判断，避免了人为判断的失误，同时也避免了对于标记符号的内容直接进行识别的复杂性，可以提升对应光罩正位识别方案的稳定性。
技术研发人员：张星星
受保护的技术使用者：粤芯半导体技术股份有限公司
技术研发日：技术公布日：2024/1/16