一种封闭式光罩拆卸设备的制作方法

本发明涉及光罩拆卸，特别是涉及一种封闭式光罩拆卸设备。

背景技术：

1、光罩一般也称光掩膜版(photo mask简称mask)、掩膜版，是半导体制造中光刻工艺所使用的图形母版，通常由基板、遮光层及保护膜三部分组成。

2、目前，光罩在半导体生产线转移时需要将其放置在光罩传输盒内，到达目的设备后，通过开盒设备将光罩传输盒上盖向上打开，将光罩整体暴露出来，然后再通过人工手动将光罩从盒中取出放入目的设备，完成后还需通过人工将光罩放入光罩盒内，这种方式，污染粒子很容易附着于该光罩表面，造成芯片良率下，并且人工取放光罩的操作方式，也容易导致光罩放置方向错误的情况发生。

3、因此，针对现有技术不足，提供一种封闭式光罩拆卸设备以解决现有技术不足甚为必要。

技术实现思路

1、本发明的目的在于避免现有技术的不足之处而提供一种封闭式光罩拆卸设备，该封闭式光罩拆卸设备通过开盒机构、检测移动机构和防尘外罩体的配合完成光罩的拆卸、检测和取出动作，并且整体动作流程保证光罩始终处于封闭洁净的环境下，防止污染粒子附着于光罩表面，提高芯片良率，并且为满足不同设备对取片角度的要求，光罩可在本光罩的装卸设备中进行旋转。

2、本发明的上述目的通过如下技术手段实现。

3、提供一种封闭式光罩拆卸设备，包括移动锁止底板，移动锁止底板上固定安装有一个定位侧板，定位侧板的顶部固定安装有开盒定位板，移动锁止底板和开盒定位板安装有与定位侧板连接配合的防尘外罩体，开盒定位板的下方在定位侧板上固定安装有检测定位板，检测定位板和移动锁止底板之间安装有用于光罩检测和取出时移动的检测移动机构，开盒定位板上安装有拆卸光罩运输盒的开盒机构，开盒定位板上开设有与检测移动机构活动配合的定位开口，检测移动机构上活动安装光罩运输盒；

4、开盒机构包括短行程直线模组，短行程直线模组固定安装在开盒定位板的底部，开盒定位板的底部还活动安装有移动框架，移动框架和短行程直线模组的输出端固定连接，开盒定位板的底部还转动安装有若干个l型连接杆，开盒定位板上开设有与l型连接杆对应的若干个开盒活动槽，l型连接杆的一端通过第一轴承转动安装有开盒销，开盒销活动安装在活动槽内部，l型连接杆的另一端通过第二轴承转动安装在移动框架上，移动框架通过l型连接杆带动开盒销在活动槽内部活动。

5、具体而言的，开盒定位板上还安装有检测光罩运输盒是否到位的运输盒有无检测器，光罩运输盒上安装有锁舌，锁舌与开盒销活动配合，当开盒销插入至锁舌的内部时，运输盒有无检测器发出运输盒到位信号。

6、优选的，检测移动机构包括低尘直线模组，低尘直线模组固定安装在检测定位板和移动锁止底板之间，低尘直线模组的输出端固定安装有升降支架，升降支架上固定安装升降托盘，升降托盘上固定安装有伺服电机，伺服电机的输出端位于升降托盘的上方且固定安装有旋转托盘，旋转托盘和定位开口活动配合，旋转托盘上表面安装有奇数个运输盒定位销，光罩运输盒的底部开设有若干个固定孔，固定孔和运输盒定位销插接配合实现光罩运输盒的定位承托。

7、具体而言的，检测定位板上固定安装有用于光罩检测的激光传感器。

8、进一步的，定位侧板上开设有用于取出光罩的取片口并连接取片设备。

9、优选的，固定销分别位于旋转托盘的相对的两边缘。

10、优选的，光罩运输盒包括运输盒底壳和运输盒上盖，运输盒底壳上承托有光罩本体，运输盒底壳上开设若干个固定孔，运输盒上盖上活动安装若干个与运输盒底壳锁定配合的锁舌。

11、本发明通过开盒机构、检测移动机构和防尘外罩体的配合完成光罩的拆卸、检测和取出动作，并且整体动作流程保证光罩始终处于封闭洁净的环境下，防止污染粒子附着于光罩表面，提高芯片良率，并且为满足不同设备对取片角度的要求，光罩可在本光罩的装卸设备中进行旋转。

技术特征：

1.一种封闭式光罩拆卸设备，其特征在于：包括移动锁止底板，所述移动锁止底板上固定安装有一个定位侧板，所述定位侧板的顶部固定安装有开盒定位板，所述移动锁止底板和所述开盒定位板安装有与所述定位侧板连接配合的防尘外罩体，所述开盒定位板的下方在所述定位侧板上固定安装有检测定位板，所述检测定位板和所述移动锁止底板之间安装有用于光罩检测和取出时移动的检测移动机构，所述开盒定位板上安装有拆卸光罩运输盒的开盒机构，所述开盒定位板上开设有与所述检测移动机构活动配合的定位开口，所述检测移动机构上活动安装所述光罩运输盒；

2.根据权利要求1所述的一种封闭式光罩拆卸设备，其特征在于：所述开盒定位板上还安装有检测所述光罩运输盒是否到位的运输盒有无检测器，所述光罩运输盒上安装有锁舌，所述锁舌与所述开盒销活动配合，当所述开盒销插入至所述锁舌的内部时，所述运输盒有无检测器发出运输盒到位信号。

3.根据权利要求2所述的一种封闭式光罩拆卸设备，其特征在于：所述检测移动机构包括低尘直线模组，所述低尘直线模组固定安装在所述检测定位板和所述移动锁止底板之间，所述低尘直线模组的输出端固定安装有升降支架，所述升降支架上固定安装升降托盘，所述升降托盘上固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端位于所述升降托盘的上方且固定安装有旋转托盘，所述旋转托盘和所述定位开口活动配合，所述旋转托盘上表面安装有奇数个运输盒定位销，所述光罩运输盒的底部开设有若干个固定孔，所述固定孔和所述运输盒定位销插接配合实现所述光罩运输盒的定位承托。

4.根据权利要求3所述的一种封闭式光罩拆卸设备，其特征在于：所述检测定位板上固定安装有用于光罩检测的激光传感器。

5.根据权利要求4所述的一种封闭式光罩拆卸设备，其特征在于：所述定位侧板上开设有用于取出光罩的取片口并连接取片设备。

6.根据权利要求5所述的一种封闭式光罩拆卸设备，其特征在于：所述固定销分别位于所述旋转托盘的相对的两边缘。

7.根据权利要求6所述的一种封闭式光罩拆卸设备，其特征在于：所述光罩运输盒包括运输盒底壳和运输盒上盖，所述运输盒底壳上承托有光罩本体，所述运输盒底壳上开设若干个所述固定孔，所述运输盒上盖上活动安装若干个与所述运输盒底壳锁定配合的所述锁舌。

技术总结
本发明属于光罩拆卸技术领域，具体为一种封闭式光罩拆卸设备，包括移动锁止底板，移动锁止底板上固定安装有一个定位侧板，定位侧板的顶部固定安装有开盒定位板，移动锁止底板和开盒定位板安装有防尘外罩体，开盒定位板的下方在定位侧板上固定安装有检测定位板，检测定位板和移动锁止底板之间安装有检测移动机构，开盒定位板上安装有开盒机构，开盒定位板上开设有定位开口，检测移动机构上活动安装光罩运输盒，本发明通过开盒机构、检测移动机构和防尘外罩体的配合完成光罩的拆卸、检测和取出动作，并且整体动作流程保证光罩始终处于封闭洁净的环境下，防止污染粒子附着于光罩表面，提高芯片良率，光罩可在本光罩的装卸设备中进行旋转。

技术研发人员：任意,谷德君,陈桐
受保护的技术使用者：沈阳超夷微电子设备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/8