一种掩膜版晾干装置的制作方法

本技术属于掩膜版，具体是一种掩膜版晾干装置。

背景技术：

1、光刻掩膜版(又称光罩，英文为photomask)，简称掩膜版，是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构，再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。

2、掩膜版的生产过程其中一个工序是干燥，通常采用风刀干燥法对掩膜版进行干燥，但需要买对应设备，成本比较高。对于低端掩膜版的制作，为了节约成本和缩短清洗时间，一般都会选择使用手工清洗，而手工清洗的版，在干燥这个环节，操作不好，会出现很多问题，由于自然晾干，完全是靠水份的自然蒸发，干燥的时间比较长，很容易出现灰尘掉到上面，灰尘掉到上面后，在灰尘周围就会出现白点，而且在整个版面的风的流速是不一样的，而且风速的方向也是多变的，且风向也不是垂直向下吹，又因为整个掩膜版表面表面张力也不是一样的，则亲水性也不一样，那么就很容易出现某些区域先干燥，而掩膜版的干燥必须是从上到下，均匀的向下干燥，直至整体完全干燥，某些区域先干燥，就会出现水印；出现上述问题，还需要重新清洗，且晾干效率差。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种掩膜版晾干装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种掩膜版晾干装置，包括晾版架、pvc背板、pvc底板和层流罩，pvc背板、pvc底板和层流罩分别固定设置在晾版架上，pvc背板竖直布置，pvc底板水平布置，所述的pvc背板上等间距开设有若干排小孔，两排小孔间设置有pvc三角条；所述的pvc底板上等间距开设有若干排小孔，两排小孔间设置有pvc三角条；所述的层流罩位于pvc底板的正上方。

4、掩膜版清洗完成后，放置到此晾版架上，可以用手垂直让掩膜版适当停留15-20秒，再将掩模板背面靠设在pvc背板的pvc三角条上，底面设置在pvc底板的pvc三角条上，层流罩吹出来的风垂直向下，且风速是一致的、均匀的，可以保证出现的空气是绝对干净的，不会出现灰尘，加快掩膜版表面的干燥，在短时间内使掩膜版整个版面有序的从上到下干燥。解决了白点和水印的问题，同时结构简单、成本低。

5、本实用新型进一步改进，还包括接水槽，接水槽可拆卸式的设置在晾版架上，接水槽设置在pvc底板的正下方，以收集掩膜版晾干过程中的废水。

6、本实用新型进一步改进，pvc三角条上还间隔设置有若干隔断，以防止掩膜版滑动。

7、本实用新型所提出的一种掩膜版晾干装置，有效解决了掩膜版晾干过程中白点，水印的问题，同时结构简单，成本低，易于实现，利于推广使用。

技术特征：

1.一种掩膜版晾干装置，其特征在于：包括晾版架、pvc背板、pvc底板和层流罩，pvc背板、pvc底板和层流罩分别固定设置在晾版架上，pvc背板竖直布置，pvc底板水平布置，所述的pvc背板上等间距开设有若干排小孔，两排小孔间设置有pvc三角条；所述的pvc底板上等间距开设有若干排小孔，两排小孔间设置有pvc三角条；所述的层流罩位于pvc底板的正上方。

2.根据权利要求1所述的一种掩膜版晾干装置，其特征在于：还包括接水槽，接水槽可拆卸式的设置在晾版架上，接水槽设置在pvc底板的正下方。

3.根据权利要求1所述的一种掩膜版晾干装置，其特征在于：pvc三角条上还间隔设置有若干隔断。

技术总结
本技术公开了一种掩膜版晾干装置，包括晾版架、PVC背板、PVC底板和层流罩，PVC背板、PVC底板和层流罩分别固定设置在晾版架上，PVC背板竖直布置，PVC底板水平布置，所述的PVC背板上等间距开设有若干排小孔，两排小孔间设置有PVC三角条；所述的PVC底板上等间距开设有若干排小孔，两排小孔间设置有PVC三角条；所述的层流罩位于PVC底板的正上方。本技术所提出的一种掩膜版晾干装置，有效解决了掩膜版晾干过程中白点，水印的问题，同时结构简单，成本低，易于实现，利于推广使用。

技术研发人员：鄢红军
受保护的技术使用者：深圳清溢光电股份有限公司
技术研发日：20230107
技术公布日：2024/1/12