一种三层反射镜的制作方法

本技术涉及光路构件设备领域，具体涉及一种三层反射镜。

背景技术：

1、激光直写技术是一种将激光束会聚成极小的光点对光敏或热敏薄膜材料进行作用，直接生成微纳图形的技术，相对于其它微纳加工手段，具有成本低、加工周期短、使用灵活、环境要求低等诸多优点。激光直写技术在微电子、集成光学(does)、微机电系统(mems)、混合集成电路、微波集成电路制作方面获得广泛应用，是一种具有广阔发展前景的实用技术。

2、纳米级三维激光直写系统就是属于激光直写技术，纳米级三维激光直写系统为了实现激光束能够作用在光敏或热敏薄膜材料上，可能需要设计多层光路，其中就包括了底层为薄膜镜，中、上两层为45°反射镜这样的三层光路。

3、由于光路的灵敏度较高，轻微的震动和温度的变化都会在很大程度上影响光路的准确度，在搭建多层光路时，现有方案多是采用分体式设计，将上中下各层镜架依次由下至上通过螺钉等部件锁紧固定在一起，采用螺钉锁紧最大的缺点就是，螺钉预紧力矩较大时，镜架会发生细小的变形，当预紧力矩较小时，会导致镜架连接不到位，这两种情况都会使光路发生偏差，而且震动和温度变化都会对螺钉连接处产生影响。

技术实现思路

1、本实用新型针对上述背景技术中分体式设计容易使光路发生偏差、震动和温度变化都会对螺钉连接处产生影响的问题，提供了一种三层反射镜，以解决上述问题。

2、本实用新型为达到上述技术效果所采用的技术方案是：一种三层反射镜，包括顶层直角光学调整架，顶层直角光学调整架的下端固定连接有双层光学调整架，双层光学调整架由上至下依次为激光光束反射镜架层和薄膜镜固定架层，激光光束反射镜架层设置有中层直角光学调整架，薄膜镜固定架层安装有薄膜镜固定架。中层直角光学调整架和薄膜镜固定架安装在双层光学调整架上，中层光学调整架和薄膜镜固定架进行一体化设计，可以实现光路的准确传递，避免了震动、温度等对于光路准确性的影响，中层光学调整架和薄膜镜固定架没有螺钉等部件锁紧固定，避免了因螺钉预紧力矩过大和过小而导致光路发生偏差的问题。

3、进一步的，顶层直角光学调整架倾斜安装有第一45°反射镜，中层直角光学调整架倾斜安装有第二45°反射镜。

4、进一步的，顶层直角光学调整架的左侧面开设有第一通光孔，顶层直角光学调整架的下底面开设有第二通光孔，中层直角光学调整架的后侧面上部开设有第三通光孔，中层直角光学调整架的下底面开设有第四通光孔。

5、进一步的，薄膜镜固定架层的右侧面开设有第五通光孔，薄膜镜固定架层的左侧面开设有第六通光孔。第二45°反射镜装置可以反射激光光束用以搭建光路，第一通光孔、第二通光孔、第三通光孔、第四通光孔、第五通光孔和第六通光孔可以作为光线的进出口。

6、进一步的，第一通光孔、第五通光孔和第六通光孔的孔壁上均设置有用于连接转接件的螺纹。

7、进一步的，双层光学调整架下端固定连接有物镜调整架，物镜调整架下端螺纹连接有下盖板，物镜调整架下端还连接有压电装置，压电装置下端螺纹连接有物镜。

8、进一步的，薄膜镜固定架层的后侧面下部开设有三个螺纹孔，三个螺纹孔为倒等腰直角三角形的顶点，薄膜镜固定架上设置有两个第一安装孔，薄膜镜固定架的两个第一安装孔中的其中一个与下部的螺纹孔通过螺栓连接，另一个第一安装孔可以与上部的两个螺纹孔中的任一个通过螺栓连接。薄膜镜固定架在安装的时候有两个安装的角度，可以根据实际需要更换安装的角度。

9、进一步的，双层光学调整架的左右两侧面的下部设置有安装板，安装板上设置有第二安装孔。安装板可以用于与面包板连接。

10、进一步的，双层光学调整架的左右两侧面的上部安装有侧盖板，双层光学调整架的前侧面安装有前盖板。侧盖板和前盖板可以为光路提供一个密闭的环境。

11、从以上技术方案可以看出本实用新型具有以下有益效果：

12、(1)采用将中层光学调整架和薄膜镜固定架一体化的设计，增加了光路传递的准确性，避免了采用分体式设计会遇到的因为震动、温度等外界因素影响光路传递的准确性。

13、(2)侧盖板和前盖板为光路创造了一个密闭的环境，避免了其它光束的影响。

14、(3)薄膜镜固定架可以根据实际需要转变角度，增加了装置的适用范围。

技术特征：

1.一种三层反射镜，包括顶层直角光学调整架（1），其特征在于，顶层直角光学调整架（1）的下端固定连接有双层光学调整架（2），双层光学调整架由上至下依次为激光光束反射镜架层和薄膜镜固定架层，激光光束反射镜架层设置有中层直角光学调整架（10），薄膜镜固定架层安装有薄膜镜固定架（12）。

2.根据权利要求1所述的一种三层反射镜，其特征在于，顶层直角光学调整架（1）倾斜安装有第一45°反射镜（3），中层直角光学调整架（10）倾斜安装有第二45°反射镜（11）。

3.根据权利要求1或2所述的一种三层反射镜，其特征在于，顶层直角光学调整架（1）的左侧面开设有第一通光孔（4），顶层直角光学调整架（1）的下底面开设有第二通光孔（5），中层直角光学调整架（10）的后侧面上部开设有第三通光孔（6），中层直角光学调整架（10）的下底面开设有第四通光孔（7）。

4.根据权利要求3所述的一种三层反射镜，其特征在于，薄膜镜固定架层的右侧面开设有第五通光孔（8），薄膜镜固定架层的左侧面开设有第六通光孔（9）。

5.根据权利要求4所述的一种三层反射镜，其特征在于，第一通光孔（4）、第五通光孔（8）和第六通光孔（9）的孔壁上均设置有用于连接转接件的螺纹。

6.根据权利要求1或2所述的一种三层反射镜，其特征在于，双层光学调整架（2）下端固定连接有物镜调整架（13），物镜调整架（13）下端螺纹连接有下盖板（14），物镜调整架（13）下端还连接有压电装置（15），压电装置（15）下端螺纹连接有物镜（16）。

7.根据权利要求1或2所述的一种三层反射镜，其特征在于，薄膜镜固定架层的后侧面下部开设有三个螺纹孔（17），三个螺纹孔（17）为倒等腰直角三角形的顶点，薄膜镜固定架（12）上设置有两个第一安装孔（18），一个第一安装孔（18）与下部的螺纹孔（17）通过螺栓连接，另一个第一安装孔（18）可以与上部的两个螺纹孔（17）中的任一个通过螺栓连接。

8.根据权利要求1或2所述的一种三层反射镜，其特征在于，双层光学调整架（2）的左右两侧面的下部设置有安装板（19），安装板上设置有第二安装孔（20）。

9.根据权利要求1或2所述的一种三层反射镜，其特征在于，双层光学调整架（2）的左右两侧面的上部安装有侧盖板（21），双层光学调整架（2）的前侧面安装有前盖板（22）。

技术总结
本技术涉及光路构件设备领域，具体涉及一种三层反射镜，包括顶层直角光学调整架，顶层直角光学调整架的下端固定连接有双层光学调整架，双层光学调整架由上至下依次为激光光束反射镜架层和薄膜镜固定架层，激光光束反射镜架层设置有中层直角光学调整架，薄膜镜固定架层安装有薄膜镜固定架。中层直角光学调整架和薄膜镜固定架安装在双层光学调整架上，中层光学调整架和薄膜镜固定架进行一体化设计，可以实现光路的准确传递，避免了震动、温度等对于光路准确性的影响，中层光学调整架和薄膜镜固定架没有螺钉等部件锁紧固定，避免了螺钉预紧力矩过大和过小产生的光路发生偏差的问题。

技术研发人员：史强,张俊,朱林伟
受保护的技术使用者：烟台魔技纳米科技有限公司
技术研发日：20230209
技术公布日：2024/1/12