一种可翻转的掩膜版检查装置的制作方法

本技术属于掩膜版生产用辅助设备领域，更具体的说涉及一种可翻转的掩膜版检查装置。

背景技术：

1、掩膜版业内又称光掩模版、光罩等，掩膜版是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻。所以，掩膜版主要制备材料为石英玻璃、金属铬和感光胶，这使得掩膜版十分沉重，日常掩膜版加工过程中尤其是检查作业时，多是通过人工将掩膜版抬放至平台上并将其放平，这种人工将掩膜版抬放上平台并放平的方式，操作不便，劳动强度大，并且容易磕碰对掩膜版造成损伤，也容易压到操作人员手部，存在人身安全风险。同时，部分掩膜版尺寸较大，检查人员对平放的掩膜版检查时，难以观察到掩膜版中间区域，或者中间区域不能平视检查，易造成检查误差。若是垂直固定待查掩膜版，虽然便于对掩膜版进行观察检查，但会增加人工抬版的难度，也极易造成摔版的发生。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种可翻转的掩膜版检查装置，解决现有技术中掩膜版检查时中间部位难以平视观察检查的问题，解决现有技术中掩膜版需要搬运至检查台上的问题。

2、本实用新型技术方案一种可翻转的掩膜版检查装置，包括安装底座和设置在所述安装底座上用于安装待查掩膜版的安装装置，所述安装装置包括连接底架和固定在所述连接底架上表面上的安装机构，所述连接底架上连接有翻转驱动装置，所述翻转驱动装置包括穿过所述连接底架的转轴，所述转轴与所述连接底架固接并转动安装在所述安装底座上，所述转轴一端连接有蜗轮减速机；所述连接底架上设置有初始限位固定组件和翻转限位固定组件，所述安装底座上设置有限位固定器；所述限位固定器与所述初始限位固定组件配合时，连接底架呈水平状态；所述限位固定器与所述翻转限位固定组件配合时，连接底架呈翻转倾斜状态。

3、优选地，所述安装机构包括固定在所述连接底架上的两x轴导轨和搭接在两所述x轴导轨上的两y轴导轨；两所述x轴导轨呈平行状设置，两所述y轴导轨呈平行状设置，两所述y轴导轨上均分别设置有两支撑托块组件，所述待查掩膜版置于四所述支撑托块组件上。

4、优选地，所述连接底架为矩形框架，两所述x轴导轨分别设置在所述连接底架的上表面两端位置，两所述y轴导轨底部两端均分别固接有x轴滑块，所述x轴滑块套设在所述x轴导轨上；所述y轴导轨上设置有两y轴滑块，所述y轴滑块与所述y轴导轨可拆固定，四所述支撑托块组件分别固定在四所述y轴滑块上。

5、优选地，所述支撑托块组件包括设置在所述y轴滑块的第一连接孔和第二连接孔，所述第一连接孔和所述第二连接孔沿所述y轴导轨轴线设置，且第二连接孔位于所述第一连接孔后部，所述第一连接孔或第二连接孔上可拆卸固定有支撑托块，所述y轴滑块上还固接有l型限位块，所述l型限位块设置在所述y轴滑块外侧且高度高于支撑托块上表面。

6、优选地，所述矩形框架两端的侧面上分别安装有限位条，所述限位条上设置有若干第一限位孔，所述限位条下方设置有标尺，两所述y轴导轨两端均分别固接有限位板，所述限位板呈竖向设置且穿过有第一限位螺杆，所述第一限位螺杆插入所述第一限位孔内。

7、优选地，所述连接底架上设置有两均与所述x轴导轨平行的导向齿条；两所述y轴导轨上分别连接有一连接杆，所述连接杆与y轴导轨平行，且两端分别搭接在两所述导向齿条上；所述连接杆两端分别固接有导向齿轮，所述导向齿轮置于所述导向齿条上并与所述导向齿条啮合。

8、优选地，所述转轴由连接底架的长边中轴线位置穿过，所述翻转限位固定组件包括与所述连接底架上表面固接的翻转固定块，所述翻转固定块上设置有翻转限位长圆孔，所述翻转固定块设置在转轴轴线上方，所述翻转限位长圆孔轴线垂直于连接底架上表面；

9、所述初始限位固定组件包括与所述连接底架上表面固接的初始固定块，所述初始固定块上设置有初始限位圆孔，所述初始限位圆孔中心位于翻转限位长圆孔旋转的圆周轨迹上；

10、所述限位固定器包括固定在所述安装底座上的限位柱和设置在所述限位柱上的第二限位孔，所述第二限位孔轴线与所述初始限位圆孔轴线重合，所述第二限位孔内穿过有第二限位螺杆，所述第二限位螺杆前端插入所述初始限位圆孔或翻转限位长圆孔内。

11、优选地，所述初始固定块和翻转固定块沿连接底架的长边方向设置，所述翻转限位长圆孔随所述转轴旋转75°后与所述第二限位孔位置相适应；所述第二限位螺杆插入所述初始限位圆孔内时，被所述安装装置安装的待查掩膜版呈水平状态，所述第二限位螺杆插入所述翻转限位长圆孔内时，被所述安装装置安装的待查掩膜版呈75°倾斜状态。

12、优选地，所述安装底座包括支撑底座和固接在所述支撑底座上的第一支撑架和第二支撑架，所述第一支撑架和所述第二支撑架相对设置，所述转轴两端分别通过轴承与所述第一支撑架和第二支撑架连接，所述限位固定器设置在所述第二支撑架上，所述蜗轮减速机设置在所述第二支撑架上并通过联轴器与所述转轴连接；所述第一支撑架和所述第二支撑架高度大于所述二分之一连接底架长度。

13、优选地，所述支撑底座底部设置有两对接导轨和到位传感器，两所述对接导轨呈平行状设置且相距距离与转运车行走轮间距相适应，所述到位传感器与转运车底部距离传感器相对。

14、本实用新型技术方案一种可翻转的掩膜版检查装置的有益效果是：通过设置安装装置实现对掩膜版进行安装，通过翻转驱动装置将安装后的掩膜版进行旋转，使得掩膜版呈倾斜状态，便于检查操作人员对掩膜版进行平视检查，确保掩膜版检查准确度。

技术特征：

1.一种可翻转的掩膜版检查装置，其特征在于，包括安装底座和设置在所述安装底座上用于安装待查掩膜版的安装装置，所述安装装置包括连接底架和固定在所述连接底架上表面上的安装机构，所述连接底架上连接有翻转驱动装置，所述翻转驱动装置包括穿过所述连接底架的转轴，所述转轴与所述连接底架固接并转动安装在所述安装底座上，所述转轴一端连接有蜗轮减速机；所述连接底架上设置有初始限位固定组件和翻转限位固定组件，所述安装底座上设置有限位固定器；所述限位固定器与所述初始限位固定组件配合时，连接底架呈水平状态；所述限位固定器与所述翻转限位固定组件配合时，连接底架呈翻转倾斜状态。

2.根据权利要求1所述的可翻转的掩膜版检查装置，其特征在于，所述安装机构包括固定在所述连接底架上的两x轴导轨和搭接在两所述x轴导轨上的两y轴导轨；两所述x轴导轨呈平行状设置，两所述y轴导轨呈平行状设置，两所述y轴导轨上均分别设置有两支撑托块组件，所述待查掩膜版置于四所述支撑托块组件上。

3.根据权利要求2所述的可翻转的掩膜版检查装置，其特征在于，所述连接底架为矩形框架，两所述x轴导轨分别设置在所述连接底架的上表面两端位置，两所述y轴导轨底部两端均分别固接有x轴滑块，所述x轴滑块套设在所述x轴导轨上；所述y轴导轨上设置有两y轴滑块，所述y轴滑块与所述y轴导轨可拆固定，四所述支撑托块组件分别固定在四所述y轴滑块上。

4.根据权利要求3所述的可翻转的掩膜版检查装置，其特征在于，所述支撑托块组件包括设置在所述y轴滑块的第一连接孔和第二连接孔，所述第一连接孔和所述第二连接孔沿所述y轴导轨轴线设置，且第二连接孔位于所述第一连接孔后部，所述第一连接孔或第二连接孔上可拆卸固定有支撑托块，所述y轴滑块上还固接有l型限位块，所述l型限位块设置在所述y轴滑块外侧且高度高于支撑托块上表面。

5.根据权利要求3所述的可翻转的掩膜版检查装置，其特征在于，所述矩形框架两端的侧面上分别安装有限位条，所述限位条上设置有若干第一限位孔，所述限位条下方设置有标尺，两所述y轴导轨两端均分别固接有限位板，所述限位板呈竖向设置且穿过有第一限位螺杆，所述第一限位螺杆插入所述第一限位孔内。

6.根据权利要求3所述的可翻转的掩膜版检查装置，其特征在于，所述连接底架上设置有两均与所述x轴导轨平行的导向齿条；两所述y轴导轨上分别连接有一连接杆，所述连接杆与y轴导轨平行，且两端分别搭接在两所述导向齿条上；所述连接杆两端分别固接有导向齿轮，所述导向齿轮置于所述导向齿条上并与所述导向齿条啮合。

7.根据权利要求1所述的可翻转的掩膜版检查装置，其特征在于，所述转轴由连接底架的长边中轴线位置穿过，所述翻转限位固定组件包括与所述连接底架上表面固接的翻转固定块，所述翻转固定块上设置有翻转限位长圆孔，所述翻转固定块设置在转轴轴线上方，所述翻转限位长圆孔轴线垂直于连接底架上表面；

8.根据权利要求7所述的可翻转的掩膜版检查装置，其特征在于，所述初始固定块和翻转固定块沿连接底架的长边方向设置，所述翻转限位长圆孔随所述转轴旋转75°后与所述第二限位孔位置相适应；所述第二限位螺杆插入所述初始限位圆孔内时，被所述安装装置安装的待查掩膜版呈水平状态，所述第二限位螺杆插入所述翻转限位长圆孔内时，被所述安装装置安装的待查掩膜版呈75°倾斜状态。

9.根据权利要求1所述的可翻转的掩膜版检查装置，其特征在于，所述安装底座包括支撑底座和固接在所述支撑底座上的第一支撑架和第二支撑架，所述第一支撑架和所述第二支撑架相对设置，所述转轴两端分别通过轴承与所述第一支撑架和第二支撑架连接，所述限位固定器设置在所述第二支撑架上，所述蜗轮减速机设置在所述第二支撑架上并通过联轴器与所述转轴连接；

10.根据权利要求9所述的可翻转的掩膜版检查装置，其特征在于，所述支撑底座底部设置有两对接导轨和到位传感器，两所述对接导轨呈平行状设置且相距距离与转运车行走轮间距相适应，所述到位传感器与转运车底部距离传感器相对。

技术总结
本技术公开了一种可翻转的掩膜版检查装置，包括安装底座和安装装置，安装装置包括连接底架和安装机构，连接底架上连接有翻转驱动装置，翻转驱动装置包括穿过连接底架的转轴，转轴与连接底架固接并转动安装在安装底座上，转轴一端连接有蜗轮减速机；连接底架上设置有初始限位固定组件和翻转限位固定组件，安装底座上设置有限位固定器；限位固定器与初始限位固定组件配合时，连接底架呈水平状态；限位固定器与翻转限位固定组件配合时，连接底架呈翻转倾斜状态。本技术的可翻转的掩膜版检查装置，解决现有技术中掩膜版检查时中间部位难以平视观察检查的问题，解决现有技术中掩膜版需要搬运至检查台上的问题。

技术研发人员：熊启龙,蔡舫
受保护的技术使用者：深圳清溢光电股份有限公司
技术研发日：20230418
技术公布日：2024/1/14